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- [发明专利]一种含氯硅烷废气的回收处理装置-CN201410166914.5有效
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张旭
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新特能源股份有限公司
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2014-04-23
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2018-02-09
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C01B33/107
- 本发明提供一种含氯硅烷废气的回收处理装置，包括氯硅烷回收单元、氯硅烷淋洗单元和尾气放空单元，所述氯硅烷回收单元与氯硅烷淋洗单元相连，用于将含氯硅烷废气中的部分氯硅烷气体回收，并将剩余废气输送至氯硅烷淋洗单元；所述氯硅烷淋洗单元还与尾气放空单元相连，用于将所述剩余废气中的余下氯硅烷气体和氯化氢气体淋洗下来，以清除所述剩余废气中的氯硅烷气体和氯化氢气体，并将清除了氯硅烷气体和氯化氢气体的剩余废气输送至尾气放空单元；所述尾气放空单元用于将所述清除了氯硅烷气体和氯化氢气体的剩余废气放空。本发明所述回收处理装置既能充分回收废气中的氯硅烷资源，又能对废气中无法回收的氯硅烷进行无污染处理。
- 一种硅烷废气回收处理装置
- [实用新型]氯硅烷洗涤塔-CN201120338418.5有效
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黄小华;赵翠;曾炟;许晟
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上海森松新能源设备有限公司
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2011-09-09
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2012-08-29
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B01D47/00
- 本实用新型公开了一种氯硅烷洗涤塔，包括洗涤段、连接法兰以及换热段。洗涤段含有锥形封头、液相空间、气相空间。其中，带粉尘的高温氯硅烷气体经过锥形封头上的氯硅烷进气口进入洗涤塔；在液相空间的洗涤液中充分反应，氯硅烷气体中的粉尘杂质被留在洗涤液中，由于重力原因沉积于锥形封头的底端，由底端的排渣口定期进行排渣；洗涤后的高温氯硅烷气体进入换热段的换热管中；换热段壳体通入冷却介质；经充分换热后的氯硅烷气体由换热段上封头的气体出口进入下一工序。本实用新型提供的氯硅烷洗涤塔能够对高温的氯硅烷气体进行洗涤与换热，使其能直接进入下一生产工序，为后续的生产工序进行预处理。
- 硅烷洗涤
- [实用新型]气体管线防堵塞装置-CN201720053313.2有效
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江敏
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德山化工（浙江）有限公司
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2017-01-17
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2017-09-08
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F16L55/24
- 本实用新型公开乐了一种气体管线防堵塞装置，设置在排放含有氯硅烷气体和惰性气体的微量气体的气体管线出口的管线防堵塞装置，包括以下几个部分气体管线的出口向上设计的气体出口（Ａ）；惰性气体保有室（Ｂ），其上端和气体管线的出口（A）有间隙，其下端设置在气体管线的出口（A）的下方，其内部为在氯硅烷和惰性气体氛围；气体防扩散室（Ｃ），从外部完全包覆惰性气体保有室（Ｂ），其上部和气体吸引管线（E）连接。通过使用本实用新型中的装置，在将含有氯硅烷以及氮气的氯硅烷密封气体作为流体的管线出口，可以防止因氯硅烷水解生成二氧化硅，而导致的管线堵塞。
- 气体管线堵塞装置
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