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[发明专利]一种单层多孔气敏膜、其制备方法及用途-CN201711171904.0在审
发明人：韩宁;王颖;周新愿;陈运法 -专利权人：中国科学院过程工程研究所
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种气敏膜、其制备方法及用途。本发明的气敏膜是一种单层多孔网状气敏膜，本发明所述的方法为掩膜溅射法，具体包括：首先在整片传感器基底上平铺单层有机微球作为掩膜板，然后沉积氧化物气敏薄膜后，最后去除单层有机微球掩膜板，得到单层多孔气敏膜本发明的方法还可以进一步采用传统背刻蚀工艺得到悬空结构的气敏传感器晶圆，并采用激光切割及裂片封装得到气敏传感器器件。同时利用溅射法制作的气敏膜性能一致性、批次稳定性较好，具有良好的应用前景。
气敏膜单层气敏传感器有机微球掩膜板制备多孔网状结构致密沉积氧化物批次稳定性性能一致性多孔网状二维薄膜激光切割刻蚀工艺气敏薄膜悬空结构灵敏度传感器溅射法孔隙率基底溅射晶圆裂片敏膜平铺去除掩膜整片薄膜封装切割应用

[发明专利]以棉花纤维为生物模板的多孔ZnFe2-CN202210418648.5在审
发明人：何利芳;胡靖洁 -专利权人：安徽工业大学
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明涉及气敏传感材料技术领域，具体涉及一种以棉花纤维为生物模板的多孔ZnFe2O4纳米气敏材料、气敏传感器、制备方法及应用经过溶剂热反应，最后置于空气中于500℃～700℃高温下煅烧，得到同时具有管状和片状的多孔ZnFe2O4纳米材料粉末，将合成的气敏材料用松油醇涂覆在装载铂金电极的氧化铝陶瓷管上制成气敏传感器，经过高温老化之后检测其气敏性能。本发明提供了一种制备成本低廉，方法简单，制备同时具有管状和片状的多孔ZnFe2O4气敏材料的方法，该气敏材料传感器对丙酮具有较高的灵敏度
棉花纤维生物模板多孔 znfe base sub

[发明专利]一种对气体传感器或半导体器件性能进行测试的系统-CN200610112883.0无效
发明人：王晓亮;王新华;冯春;王保柱;马志勇;王军喜;胡国新;肖红领;冉军学;王翠梅 -专利权人：中国科学院半导体研究所
申请日： 2006-09-06 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种对气体传感器或半导体器件性能进行测试的系统，该系统包括：配气单元，用于为测试气体传感器气敏性能提供可控浓度且均匀混合的测试用气体，并在对气体传感器气敏性能测试完成后排出测试用气体；加热单元，用于控制测试温度，满足对气体传感器或半导体器件性能进行测试的不同温度条件需要；测试单元，用于测试在不同温度和不同浓度测试用气体下气体传感器或半导体器件电流电压特性的变化，实现对气体传感器或半导体器件性能进行的测试利用本发明，实现了在高温下对气体传感器的气敏性能和半导体器件的电学性能进行测试，满足了对气体传感器和半导体器件研究测试的需要。
一种气体传感器半导体器件性能进行测试系统

[实用新型]一种气敏性能密封测试装置-CN201821701317.8有效
发明人：张晓;苑鹏;徐瑶华;魏峰 -专利权人：有研工程技术研究院有限公司
申请日： 2018-10-19 - 公布日： 2019-07-12 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了属于气体检测领域的一种气敏性能密封测试装置。包括气密罩、密封帽、检测台、密封垫和底托；其中，气密罩筒状内层、筒状外层、进气口、出气口、密封帽安装口。气密罩、检测台与底托通过螺纹相对装配，并且气密罩与底托之间有密封垫；此外，密封帽与气密罩的密封帽安装口通过螺纹相对装配，进气口通过流量计与惰性气体气瓶相连。可用本实用新型提供的气敏性能密封测试装置对不同气体传感器气敏性能进行测试。本实用新型具有结构简单，操作易行，可靠性高等优点。
气密罩密封帽密封测试装置本实用新型底托进气口气敏性能安装口检测台密封垫螺纹装配流量计惰性气体气瓶气体传感器气体检测筒状内层筒状外层出气口可用测试

[发明专利]一种气敏材料、气敏传感器及其制备方法和应用-CN202210516566.4在审
发明人：张振兴;王旭坤;盛英卓;张文键 -专利权人：兰州大学
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明提供一种气敏材料、气敏传感器及其制备方法和应用，涉及气体传感器领域。该气敏材料的制备方法包括：将橘络在硝酸镍溶液中浸泡，得到表面有金属镍络合物纳米阵列的复合材料；将复合材料进行热处理使其氧化，得到表面有氧化镍纳米阵列的气敏材料。本发明以橘络为原料，生长的氧化镍纳米线相比于一般煅烧后团聚形成的微球具有更小的尺寸，实现了纳米材料与微米材料的结合，具有丰富的微纳结构和反应活性位点，有利于提升材料的气敏性能；制备原料具有无毒绿色、来源丰富易得、成本低廉的优点；制备工艺简单，易操作；利用该气敏材料制备的气敏传感器对乙二醇气体有优异的选择性和较高的传感响应，可以满足乙二醇气体探测的需求。
一种材料传感器及其制备方法应用

[发明专利]一种MOFs/GO复合气敏材料及其制备方法和应用-CN202110561887.1在审
发明人：高春苹;吕宜春;王恒磊 -专利权人：山东化工职业学院
申请日： 2021-05-23 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本发明涉及气敏材料技术领域，特别涉及一种MOFs/GO复合气敏材料及其制备方法和应用。通过原位合成法，将球形的Cu(INA)2颗粒附着于片状结构的氧化石墨烯表面，并经过用循环伏安法修饰，将氧化石墨烯还原为还原氧化石墨烯，得到MOFs/GO复合氨气气敏材料。本发明以自制的Cu(INA)2/GO为气敏复合材料，将其涂在叉指电极(IDE)上，对低浓度的氨气进行气敏性检测，该复合材料对低浓度的氨气体表现出良好的气敏传感性能。
一种 mofs go 复合材料及其制备方法应用

[实用新型]一种基于柔性衬底的气敏传感器-CN202321217794.8有效
发明人：李静;程金生;邓勇辉;黄俊豪;雷文韬;林嘉怡;侯观娣;吴诗妍;张誉铃;林婉琪;郑捷亭;孙文滢;陈晓娜 -专利权人：韶关学院
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于柔性衬底的气敏传感器，包括衬底，所述衬底的上端开设有凹槽一，所述凹槽一内固定连接有下电极，所述下电极的上端通过气敏薄膜固定连接有上电极，所述上电极的下端开设有凹槽二，且所述凹槽二内固定连接有气敏薄膜有益效果：通过设置的衬底为柔性衬底，使衬底具有高介电性能、高尺寸稳定性等优点，而在衬底上设置的下电极和上电极之间的气敏薄膜，可以通过气敏薄膜对空气中的特定气体进行吸附，通过导电率的改变计算空气中的气体成分，并且设置的多种吸附不同气体的气敏薄膜，可以对空气中的成分含量进行检测，使气敏传感器检测更加灵敏。
一种基于柔性衬底传感器

[发明专利]一种中空球铁酸锌气体传感器及其制备方法-CN201810008130.8有效
发明人：田健;杨鸿儒;孙本腾;徐雪松;梁嫜倩;崔洪芝 -专利权人：山东科技大学
申请日： 2018-01-04 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： C01G49/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种中空球铁酸锌气体传感器及其制备方法，所述气体传感器由直热式陶瓷管、导热丝、基座和气敏材料组成；其中，气敏材料为中空球结构的铁酸锌，铁酸锌的直径约为5μm；直热式陶瓷管表面覆盖有中空球结构的铁酸锌本发明利用水热法得到一种具有优异气敏性能的铁酸锌中空球结构气体传感器，中空球的结构增大了比表面积，有效增加了活性位点，用铁酸锌中空球结构气敏材料制备成的气体传感器对于乙二醇等气体具有优异的灵敏度和良好的选择性，有效改善了传感器的气敏性能。
一种中空球铁酸锌气体传感器及其制备方法

[发明专利]一种贵金属改性氧化铟气敏材料的制备方法-CN202210586352.4在审
发明人：杨黎;张德起;郭胜惠;高冀芸;侯明;杜倩;麻艳佳;朱烨 -专利权人：昆明理工大学
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种贵金属改性氧化铟气敏材料的制备方法，属于气敏材料技术领域；将贵金属溶液加入In2O3中，然后进行热处理，即得贵金属改性氧化铟气敏材料；本发明制备的贵金属改性In2O3气敏材料，具有工作温度低，选择性好，能耗低和气敏响应性能更好的优点，对低浓度NO2气体依然具有高气敏响应；本发明的制备方法工艺简单，所制备贵金属改性的In2O3气敏材料可用于低浓度NO2的检测，完全满足室内环境和工业安全等领域的NO2低浓度检测精度要求，非常具有实际应用价值
一种贵金属改性氧化铟气敏材料制备方法

[发明专利]一种多孔结构氧化铟立方体气敏材料的制备方法-CN201710504898.X有效
发明人：张苏;宋鹏;王琦;杨中喜;位祺 -专利权人：济南大学
申请日： 2017-06-28 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： C01G15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种多孔结构氧化铟立方体气敏材料的制备方法。该制备方法具体包括：以四水合三氯化铟和三甲胺为原料，经过水热反应、煅烧处理，得到具有多孔结构的氧化铟立方体气敏材料。本方法生产工艺简单，不需要使用任何表面活性剂，成本较低，所得氧化铟气敏材料具有多孔结构，对三甲胺气体具有良好的气敏性能，因此在检测肉类食品新鲜度方面具有长远的应用前景。
一种多孔结构氧化立方体材料制备方法

[实用新型]一种气敏性能测试装置-CN201821701335.6有效
发明人：张晓;徐瑶华;苑鹏;魏峰 -专利权人：有研工程技术研究院有限公司
申请日： 2018-10-19 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了气体检测领域的一种气敏性能测试装置。包括密封罩、密封帽、密封塞、密封垫、检测台，其中，密封罩包括缓冲台、缓冲空间、进气口、出气口、线路口。密封罩与检测台通过螺纹相对装配，并且密封罩与检测台之间有密封垫；密封帽、密封塞分别与密封罩通过螺纹装配；进气口可注射液态检测气体，也可通过流量计与惰性气体气瓶相连；检测气体进入密封罩缓冲台，在缓冲空间均匀混合后，可通过缓冲台侧壁气孔扩散检测气室。本实用新型提供的气敏性能测试装置可对不同检测源气体传感器气敏性能进行测试。本实用新型具有操作简便，结构简单，密封性好，可靠性高等优点。
密封罩本实用新型缓冲台检测台进气口性能测试装置缓冲空间气敏性能密封垫密封帽密封塞流量计惰性气体气瓶气体传感器侧壁气孔测试装置螺纹装配密封性好气体检测出气口检测气检测源线路口注射液检测螺纹装配测试扩散

[发明专利]一种锰掺杂氧化铟气敏材料的快速制备方法-CN201810454582.9在审
发明人：孙永娇;陈琳;胡杰;王文达;李朋伟;李刚;张文栋;陈勇 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： C01G15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种锰掺杂氧化铟气敏材料的快速制备方法，是针对氧化铟气体传感器材料相对落后的情况，采用硝酸铟、醋酸锰、二甘醇为原料，经溶剂热合成、洗涤、抽滤、真空干燥，制成锰掺杂氧化铟气敏材料，此制备方法工艺先进、制备快速、数据精确翔实，产物纯度好、性能稳定，是先进的锰掺杂氧化铟气敏材料的快速制备方法。
氧化铟气敏材料锰掺杂快速制备制备方法工艺气体传感器溶剂热合成产物纯度醋酸锰二甘醇硝酸铟抽滤制备洗涤

[发明专利]一种印制式石墨烯基NO₂气敏元件及其制备方法-CN201410209526.0在审
发明人：黄磊;王振平;林有杰;李云香 -专利权人：上海师范大学
申请日： 2014-05-16 - 公布日： 2014-08-20 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种印制式石墨烯基NO₂气敏元件及其制备方法，充分结合凹版印刷技术与石墨烯二者的优点，依次将梳状叉指电极和石墨烯敏感层印刷在衬底上，最终得到印制式石墨烯基NO₂气敏元件。本发明具有如下优点：①基于梳状叉指电极和石墨烯基敏感层的NO₂气敏元件在室温条件下对NO₂具有好的气敏特性和灵敏度；②印制式石墨烯基NO₂气敏元件设计科学、性能运行稳定，可实现对生活环境中的NO₂浓度进行实时、准确、连续监测的需求；③采用印刷方式制备石墨烯基NO₂气敏元件工艺简单，操作方便、工艺参数易于控制
一种印制石墨 no sub 元件及其制备方法

[发明专利]一种铜和氧化锡复合的硫化氢气敏材料的制备方法-CN201510405767.7有效
发明人：何丹农;胡骏;尹桂林;葛美英;卢静;宣天美;杨帆 -专利权人：上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司
申请日： 2015-07-10 - 公布日： 2018-07-13 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种对有毒有害气体硫化氢具有良好响应性和选择性的铜和氧化锡的复合气敏材料的制备方法。通过控制反应中原料铜源和亚锡源的质量比，利用一步溶剂热法获得铜和氧化锡的复合气敏材料。气敏测试结果显示本发明中的铜和氧化锡的复合气敏材料对有毒有害气体硫化氢表现出良好的选择性和响应性，其响应温度在120℃且对其他气体几乎没有响应。本发明具有制备工艺简单易行且产物性能好等特点，使得该铜和氧化锡的复合气敏材料在气敏传感器领域具有很好的应用前景，能够在实际生产中最大程度的降低成本和保障人身安全。
氧化锡气敏材料复合气体硫化氢响应性制备硫化氢气敏材料测试结果显示一步溶剂热法气敏传感器保障人身制备工艺响应原料铜质量比亚锡应用表现安全生产

[实用新型]无引线陶瓷片式气敏元件-CN201020516245.7无效
发明人：张小水;钟克创;张开文;祁明锋;王利利 -专利权人：郑州炜盛电子科技有限公司
申请日： 2010-09-03 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： G01N27/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种无引线陶瓷片式气敏元件，它包括陶瓷基座和陶瓷片式气敏芯片；所述气敏芯片包括陶瓷基片、加热电阻、加热电极、隔离层、气敏材料和测量电极，陶瓷基片、加热电阻、隔离层、气敏材料依次印刷在一起；该气敏元件具有设计科学、性能运行稳定、灵敏度高、精度高、适于工业规模化生产的优点。
引线陶瓷片式气敏元件