专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]半导体光伏器件级纳米硅薄膜的制备方法-CN200510027059.0无效
  • 孟凡英;崔容强;徐林;于化丛;林书铨;唐敦乙;周之斌;赵占霞;赵百川 - 上海交通大学
  • 2005-06-23 - 2005-11-16 - H01L31/18
  • 一种属于半导体光伏器件材料制备技术领域的半导体光伏器件级纳米硅薄膜的制备方法,本发明采用物理的方法-即溅射系统来制备光伏器件级纳米硅薄膜,靶材选用硅片,工作气体可以有氢气、氩气无毒且安全的气体,在低温条件下沉积硅薄膜,此外,通过更换不同导电类型的靶材可以获得相应导电类型的纳米硅薄膜,通过调整气体的比例来控制薄膜的晶化度和有序程度。本发明在低温的环境下采用物理的沉积方法制备光伏器件级薄膜材料,而且这种方法可以达到较高的真空度,可以长时间连续进行镀膜工作,提高系统的利用率,具有简单方便,成本低廉,实用的特点,能直接制备各种导电类型的纳米硅薄膜
  • 半导体器件纳米薄膜制备方法
  • [发明专利]结合工具及结合方法-CN202210232600.5在审
  • 黄彦豪;陈君仪;王乙翕;周银铜;纪元兴;林生元 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2022-03-09 - 2022-07-05 - H01L21/67
  • 本发明实施例的一种结合工具包括气体供应管线,所述气体供应管线可直接在和一个或多个气体供应罐相关联的阀门与处理腔室之间延伸,使得气体供应管线在无任何中间阀门或其他类型的结构的情况下不间断,否则所述中间阀门或其他类型的结构可能会导致在处理腔室与和所述一个或多个气体供应罐相关联的阀门之间的气体供应管线中的压力累积气体供应管线中的压力可维持在处理腔室中的压力或接近处理腔室中的压力,使得经由气体供应管线被提供到处理腔室的气体不会导致处理腔室中的压力不平衡,否则所述压力不平衡可能会导致将在处理腔室中结合的半导体衬底之间的提早接触或过早接触
  • 结合工具方法
  • [发明专利]超级结的沟槽填充方法-CN201710519221.3有效
  • 伍洲 - 上海华虹宏力半导体制造有限公司
  • 2017-06-30 - 2020-02-07 - H01L29/06
  • 本发明公开了一种超级结的沟槽填充方法,包括如下步骤:步骤一、提供表面形成有第一导电类型外延层的半导体晶圆。步骤二、进行光刻刻蚀形成多个所述沟槽。步骤三、将半导体晶圆放置到外延生长设备的反应腔中。步骤四、在生长气体流量均匀分布的条件下增加边缘区域的刻蚀气体流量并以此气体条件进行外延生长形成第二导电类型外延层将各沟槽完全填充,并列形成所述超级结。
  • 超级沟槽填充方法
  • [发明专利]储能电池安全运行在线监测方法-CN202110138830.0在审
  • 夏向阳;贺懿冰;陈凌彬 - 长沙理工大学
  • 2021-02-02 - 2021-08-31 - G01R31/367
  • 本方法目的在于对储能电池的安全运行进行实时在线监测并进行故障判断,根据磷酸铁锂电池在不同应用条件下电池产气类型及速率不同,可通过在线监测电池内部气体种类及浓度变化速率,判断电池所处应用环境的异常。实现方法步骤:实时监测电池组内部气体种类和浓度变化速率,将在线监测电池组各气体参数转换成电信号输入至中心控制器,得到在线监测电池组的状态标记,根据磷酸铁锂电池在不同应用条件下电池产气类型及速率不同,在中心控制器预置电池组气体参数和状态标记、状态标记和状态结果的关联关系模型,将电池产气类型及速率与不同应用条件相对应。
  • 电池安全运行在线监测方法

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