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- [发明专利]一种声表面波单端对谐振器-CN201810653646.8有效
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刘建生;齐晓琳;何世堂
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中国科学院声学研究所
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2018-06-22
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2020-11-06
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H03H9/25
- 本发明涉及一种声表面波单端对谐振器，所述单端对谐振器包括：压电基片、第一叉指换能器、第一反射栅和第二反射栅；第一叉指换能器设置在压电基片上，第一反射栅和第二反射栅的结构相同，且对称的设置在第一叉指换能器的两端；还包括：敏感膜和第二叉指换能器；第二叉指换能器设置在第一反射栅和第二反射栅之间，第二叉指换能器与第一叉指换能器的上下回流条相连接；敏感膜设置在第一叉指换能器和第二叉指换能器的中间位置。本发明的谐振器，通过增加一个叉指换能器，保证了谐振器高品质因子和低损耗的优点，有助于提升传感器检测灵敏度、一致性与稳定性。同时在两个叉指换能器之间内置敏感膜，克服敏感膜成膜区域问题，很容易应用到传感器领域。
- 一种表面波谐振器
- [发明专利]声表面波谐振器-CN201310072277.0无效
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惠国华;陈丹妮;尹芳缘
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浙江工商大学
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2013-03-07
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2013-05-22
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H03H9/25
- 本发明提供一种声表面波谐振器，包括压电基片、叉指换能器、两个反射栅和两个吸声件。压电基片为ST切型石英。叉指换能器刻蚀于压电基片。叉指换能器发出433.92MHz的中心频率，周期节长度M=7.2μm，叉指宽度a=1.9μm，叉指间距b=1.7μm，指条对数N=100，声孔径W=720μm，叉指指条的铝条厚度H=200nm。两个反射栅分别刻蚀于叉指换能器的两侧，每侧的反射栅指条数目Nref=200，两侧的反射栅与叉指换能器之间的距离s=9.0μm。两个吸声件分别设置于两个反射栅远离叉指换能器的一侧。
- 表面波谐振器
- [发明专利]一种声表面波滤波器-CN201711334862.8在审
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罗艳
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四川九鼎智远知识产权运营有限公司
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2017-12-14
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2018-05-08
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H03H9/64
- 其包括压电基片以及设置在压电基片上的第一叉指换能器组、第二叉指换能器组和多个反射栅，第一叉指换能器组和第二叉指换能器组连接成凸字形结构，第一叉指换能器组包括四个串联的叉指换能器，第二叉指换能器组包括两个并联的叉指换能器，每一叉指换能器的两侧设置有反射栅，第一叉指换能器组中的叉指换能器的厚度大于第二叉指换能器组的叉指换能器的厚度，叉指换能器包括两个汇流排和多根电极条，多根电极条互相间隔交错设置并与两侧的汇流排电连接，反射栅的一端与相邻的叉指换能器的汇流排电连接，第一叉指换能器组两端的叉指换能器的汇流排分别连接有输入电极和输出电极。
- 一种表面波滤波器
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