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- [发明专利]运动机构-CN96195786.7无效
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柳泽健
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柳泽健
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1996-07-17
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2000-10-11
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B25J9/02
- 一对移动体(14a、14b)可沿导杆(12a、12b)向第1方向(X)移动。第1、第2旋转导杆(18a、18b)设置在各移动体上。第1、第2卷挂构件(20、22)受到张力并卷挂在第1、第2旋转导杆上,第1卷挂构件的一端部(20a)从第1旋转导杆拉出并固定于基座(10a)上,另一端部(20b)从第2旋转导杆向与一端部相反的方向拉出并固定在基座(10b)上。第2卷挂构件的一端部从第1旋转导杆向与第1卷挂构件一端部的拉出方向相反的方向拉出并固定在基座上,另一端部(22b)从经2旋转导杆向与一端部相反的方向拉出并固定在基座上。驱动装置(11)使移动体向第1方向移动。
- 运动机构
- [实用新型]运动机构-CN202223359502.2有效
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刘俊丰;姜保彧;张豹
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北京华卓精科科技股份有限公司
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2022-12-12
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2023-05-30
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H01L21/68
- 本实用新型提供了一种运动机构,包括:底座;运动台,位于底座的上方,运动台能够在底座的上方运动;限位结构,设置在运动台上,限位结构能够将运动台悬浮在底座上方,并限定运动台在底座上方的移动轨迹;驱动组件,设置在底座上,且与运动台连接,驱动组件用于驱动运动台沿移动轨迹移动。基于本实用新型的技术方案,由于限位结构能够将运动台悬浮在底座上方,这样避免了运动台与底座直接接触,从而降低了运动台移动时的阻力,进而提高了运动台的移动效率,以满足运动机构对晶圆进行高精度的微小移动的要求而且,限位结构能限定运动台在底座上方的移动轨迹,这样能够实现对晶圆进行高精度的微小移动。
- 运动机构
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