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[实用新型]晶片检测装置-CN200820041142.2无效
发明人：任先林;宋秦川 -专利权人：常州松晶电子有限公司
申请日： 2008-07-30 - 公布日： 2009-05-13 - 主分类号： G01B5/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种检测装置，特别涉及一种晶片检测装置。晶片定位平板上设有连接大度轮的安装孔，所述晶片定位平板为耐磨的氧化锆陶瓷平板，晶片定位平板上设有多个吸气孔。本实用新型能够避免晶片遭受磨损，并且还便于放置晶片，以及能使晶片紧贴于平板上的优点。
晶片检测装置

[发明专利]晶片检测装置-CN200810228479.9有效
发明人：侯宪华 -专利权人：沈阳芯源微电子设备有限公司
申请日： 2008-10-31 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及半导体晶片加工过程中对晶片扫描记录的技术，具体的说是一种晶片检测装置，对被加工晶片片盒内晶片数量及其位置的记录，解决现有技术中存在的对片盒扫描时间长，影响设备产能等问题。该装置设有承片台、接近开关、压力开关、支架、码盘装置、丝杠传动装置，承片台为承片台I、承片台II相对设置于底座上，底座的底部设有丝杠传动装置，丝杠传动装置为配套使用的滚珠丝杠与螺母构成，底座与丝杠传动装置的螺母连接采用这种晶片检测方式可减少检测时间，提高产能。
晶片检测装置

[实用新型]晶片检测装置-CN200820001279.5无效
发明人：许宗寅 -专利权人：源程科技股份有限公司
申请日： 2008-02-01 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本实用新型的晶片检测装置，在一机台上设有一架体供插入检测接口，在相对应于架体的下方设有一可受第一驱动组件带动而与架体相对水平横向位移的滑台，于滑台上设有一可受第二驱动组件带动而与架体相对上下位移的载台供放置晶片；俾构成一种方便更换检测接口，以及尤适合搭配自动取放料设备达到完全自动化运作的晶片检测装置；尤其，架体的下方与载台的上方分别设有相对应配置的锥孔与锥块，藉以提升整体晶片检测以及读取晶片中讯息与内容的准确度
晶片检测装置

[发明专利]晶片检测装置-CN202011227944.4在审
发明人：傅廷明 -专利权人：华邦电子股份有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本申请提供一种晶片检测装置，包括一夹持具与一探针卡。夹持具用以夹持一晶片。探针卡设置于一地面，并位于夹持具与地面之间，且位于夹持具的下方，且探针卡的一检测侧背向地面。夹持具夹持晶片朝向探针卡移动，并使晶片的一检测面接触探针卡。本申请能够提升检测工艺的时间以及效率，可降低操作风险，大幅提升工艺品质。
晶片检测装置

[发明专利]石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置-CN201310022826.3有效
发明人：唐劲;张帮岭 -专利权人：铜陵晶越电子有限公司
申请日： 2013-01-22 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了石英晶片尺寸与缺陷视觉检测装置，它包括依次设在检测平台上的晶片承载装置、晶片检测段（1）、晶片收取装置和晶片拾取装置，所述晶片拾取装置从所述晶片承载装置内拾取晶片并移动至所述晶片检测段内进行检测，根据检测结果晶片拾取装置把晶片投入晶片收取装置内。本发明的有益效果是使整个检测石英晶片的流程由机械完成，提高了检测速度，消除了人工误差，减少了误判，提高了工作效率。
石英晶片尺寸缺陷视觉检测装置

[发明专利]晶片位置检测装置-CN201310407311.5有效
发明人：张孟湜 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2013-09-09 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶片位置检测装置。其包括多个检测单元，每个检测单元用以检测其与晶片之间的相对位置关系；晶片位置检测装置根据多个检测单元与晶片的预设标准位置之间的相对位置关系，以及多个检测单元检测的多个检测单元与晶片之间的相对位置关系，判断晶片是否处于晶片的预设标准位置本发明提供的晶片位置检测装置，其通过每个检测单元检测其与晶片之间的相对位置关系，并结合多个检测单元与晶片的预设标准位置之间的相对位置关系，可以确定晶片是否处于晶片的预设标准位置，使操作人员可以在晶片位置检测装置检测出晶片未处于晶片的预设标准位置时对晶片的位置进行修正，防止晶片在其传输过程中从机械手上脱落。
晶片相对位置关系检测预设标准检测装置晶片位置单元检测位置检测装置传输过程种晶修正

[发明专利]一种缸槽晶片检测系统-CN201910891341.5在审
发明人：冯德利 -专利权人：和舰芯片制造（苏州）股份有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： G01S15/89 文献下载
摘要：本发明涉及一种缸槽晶片检测系统，该缸槽晶片检测系统包括声纳装置，控制器以及缸槽，声纳装置设置在缸槽的缸壁上，且该声纳装置与控制器相互联接。在晶片移动装置将缸槽中的晶片取出后，声纳装置检测缸槽中是否存在晶片破片残留。若在晶片移动装置将缸槽中的晶片取出后，声纳装置检测到缸槽中存在晶片破片残留，则锁定晶片移动装置，使晶片移动装置停止将后续的晶片继续放入缸槽中。本发明提出的缸槽晶片检测系统可以检测缸槽中的晶片破片残留，并实现在缸槽中存在晶片破片的情况下自动使晶片移动装置停机，以防止晶片破片与后续放入的晶片发生二次碰撞造成更大的危害。
一种晶片检测系统

[发明专利]晶片输送压紧检测装置-CN201810902493.6在审
发明人：江一宇;范长宏 -专利权人：江苏天奇氢电装备有限公司
申请日： 2018-08-09 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片输送压紧检测装置，属于输送设备领域，包括用于输送晶片的输送轨道、用于检测晶片的检测位、用于放置废品的废品摆放机构、用于移动晶片进行检测的移栽装置和用于压检测晶片的检测装置；所述移栽装置将待晶片从所述输送轨道移动至所述检测位，所述移栽装置将检测后的有效晶片从所述检测位移动至所述输送轨道，所述移栽装置将检测后的废弃晶片从所述检测位移动至废品摆放机构。该发明有效解决了现有技术中检测晶片时需要停止生产线和晶片检测过程中易损坏的问题，能够在生产线持续输送的同时对晶片进行检测，缩减整个生产工艺时间，合理优化资源配置，提高了生产效率，有效保证了晶片的产能和良品率
检测移栽装置晶片输送轨道废品压紧检测装置检测晶片位移动优化资源配置摆放废弃晶片检测装置晶片检测晶片输送生产效率输送设备移动晶片有效解决有效晶片良品率产能种晶生产工艺移动保证

[实用新型]晶片输送压紧检测装置-CN201821279972.9有效
发明人：江一宇;范长宏 -专利权人：江苏天奇氢电装备有限公司
申请日： 2018-08-09 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片输送压紧检测装置，属于输送设备领域，包括用于输送晶片的输送轨道、用于检测晶片的检测位、用于放置废品的废品摆放机构、用于移动晶片进行检测的移栽装置和用于压检测晶片的检测装置；所述移栽装置将待晶片从所述输送轨道移动至所述检测位，所述移栽装置将检测后的有效晶片从所述检测位移动至所述输送轨道，所述移栽装置将检测后的废弃晶片从所述检测位移动至废品摆放机构。该实用新型有效解决了现有技术中检测晶片时需要停止生产线和晶片检测过程中易损坏的问题，能够在生产线持续输送的同时对晶片进行检测，缩减整个生产工艺时间，合理优化资源配置，提高了生产效率，有效保证了晶片的产能和良品率
检测移栽装置晶片输送轨道废品压紧检测装置检测晶片位移动优化资源配置摆放本实用新型废弃晶片检测装置晶片检测晶片输送生产效率输送设备移动晶片有效解决有效晶片良品率产能种晶生产工艺移动保证

[发明专利]一种晶片贯穿型缺陷的检测方法及装置-CN202111332605.7在审
发明人：陈豆;潘刘晨;方秀亮;潘尧波 -专利权人：中电化合物半导体有限公司
申请日： 2021-11-11 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G01N21/91 文献下载
摘要：本发明提供一种晶片贯穿型缺陷的检测方法及装置，具体涉及半导体缺陷的检测领域。本发明的检测方法包括以下步骤：提供一晶片容纳装置；将涂覆有第一溶液和第二溶液的待检测晶片置于所述晶片容纳装置中；对装有待检测晶片的晶片容纳装置抽真空并在真空状态下保持一段时间；取出所述待检测晶片并观察其表面的颜色变化利用晶片两侧溶液的颜色变化来判定晶片中贯穿型缺陷的位置。该方法简单易操作，可提高晶片的检测效率。本发明还提供一种晶片贯穿型缺陷的检测装置，该装置结构简单、操作方便。
一种晶片贯穿缺陷检测方法装置

[发明专利]一种晶片检测装置和晶片检测方法-CN200610023984.0有效
发明人：左仲;王明珠;许俊;赵庆国 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-02-20 - 公布日： 2007-08-29 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种晶片检测装置(1)，包括主体部(10)和支撑台(11)，主体部包括吸取晶片的机械手(12)、检测晶片(2)的检测器(13)，装有晶片的盒子(3)放置在所述支撑台上，支撑台可沿垂直方向上下移动，支撑台升至最高位置时，检测器的位置高于盒子顶面(31)。本发明相应提供一种晶片检测方法，包括步骤：将装有晶片的盒子置于支撑台上；支撑台上升至最高位置；将检测器的位置调整到高于所述盒子的顶面的位置；将支撑台下降到机械手能够吸取晶片的位置；机械手吸取晶片并移动到检测装置的下方；检测器检测晶片尺寸与位置；机械手将晶片放回到晶片盒子中。本发明的晶片检测装置和晶片检测方法有效避免晶片检测过程中造成晶片损坏。
一种晶片检测装置方法

[实用新型]晶片输送检测装置-CN201821277471.7有效
发明人：江一宇;范长宏 -专利权人：江苏天奇氢电装备有限公司
申请日： 2018-08-09 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片输送检测装置，属于输送设备领域，包括用于输送晶片的输送轨道、用于检测晶片的检测位、用于放置废品的废品摆放机构和用于移动晶片进行检测的移栽装置；所述移栽装置将待晶片从所述输送轨道移动至所述检测位，所述移栽装置将检测后的有效晶片从所述检测位移动至所述输送轨道，所述移栽装置将检测后的废弃晶片从所述检测位移动至废品摆放机构。该实用新型有效解决了现有技术中检测晶片时需要停止生产线的问题，能够在生产线持续输送的同时对晶片进行检测，缩减整个生产工艺时间，合理优化资源配置，提高了生产效率，有效保证了晶片的产能和良品率。
检测移栽装置晶片输送轨道废品位移动输送检测装置优化资源配置摆放本实用新型废弃晶片检测晶片检测装置晶片输送生产效率输送设备移动晶片有效解决有效晶片良品率产能种晶生产工艺移动保证

[发明专利]一种用于单晶片厚度检测设备-CN202110014496.8在审
发明人：韦沭 -专利权人：南京誉生缘商贸有限公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： B07C5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于单晶片厚度检测设备，包括检测装置，所述检测装置内还设有进行单晶片厚度检测的检测机构，所述检测装置内还设有提供装置动力的驱动机构，所述检测装置内还设有进行输送单晶片的辅助机构，该装置结构简单，操作便捷，该装置在正常使用时工作人员首先将装置放置在水平桌面上，然后再将单晶片放置在装置内，需逐个放置，之后装置会自动进行单晶片厚度的检测，当单晶片厚度位于检测合格的区间范围时，此时装置会自动将合格的单晶片放置在一起，若在此区间外，则处于不合格，此时单晶片会统一放置在不合格区，提高了单晶片厚度测量以及单晶片筛选的效率，降低了工作人员的劳动强度。
一种用于晶片厚度检测设备

[发明专利]晶片自动定位装置及晶片自动定位方法-CN202111286918.3在审
发明人：朱干慧;苏亚青;吕剑 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2021-11-02 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本申请涉及半导体集成电路制造技术领域，具体涉及一种晶片自动定位装置及晶片自动定位方法。装置包括：晶片移动通道；机械臂用于沿着晶片移动通道的延伸方向，将晶片从晶片移动通道的一端，移动并装载到位于晶片移动通道另一端的工作台上；光线检测传感幕帘设于晶片移动通道中，光线检测传感幕包括多道在同一平面上的检测光，多道检测光之间相互平行形成检测平面；检测平面垂直于晶片移动通道的延伸方向；晶片在晶片移动通道中的移动过程，能够切断光线检测传感幕帘中至少一道检测光；控制装置；在光线检测传感幕帘中至少一道检测光被切断后，控制装置能够接收到传感信息，并根据传感信息控制机械臂，使得晶片沿着预设移动路径移动。
晶片自动定位装置方法

[实用新型]一种晶片缺陷检测装置-CN202122026723.7有效
发明人：吴殿瑞;王永方;黄长航;邵红;谢新昌 -专利权人：山东天岳先进科技股份有限公司
申请日： 2021-08-26 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶片缺陷检测装置，属于晶片检测领域。该晶片缺陷检测装置包括：载物台，所述载物台用于承托待检测的晶片；背光组件，所述背光组件包括用于发出光线的光源，所述光线用于穿过放置在所述载物台的晶片；穿过所述晶片的光线相对于所述晶片延伸面的夹角能够调节该晶片缺陷检测装置使用肉眼即可清晰的检测出晶片的缺陷，且不会存在应力线干扰的情况，可以提高检测精度，降低误检率；此外，可以直接对整片晶片进行大面积检测，从而观察到整个晶片的缺陷，大大缩减了检测时间；另外
一种晶片缺陷检测装置

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