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- [发明专利]高倍短筒望远镜-CN03128347.0无效
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赵斌
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华中科技大学
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2003-07-18
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2004-03-10
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G02B23/00
- 本发明公开了一种高倍短筒望远镜,包括物镜和目镜,在物镜前设置有微透镜列阵型角扩束器。在满足下述条件时,本发明具有更好的技术效果:微透镜列阵型角扩束器尽可能靠近物镜,但两者不接触;微透镜列阵型角扩束器的孔径大于其后望远镜的物镜孔径;微透镜列阵型角扩束器的板面与望远镜的光轴垂直。该望远镜的总角放大倍数由于微透镜列阵角扩束器的角放大和普通望远镜的角放大的共同贡献而增大。加上了微透镜列阵角扩束器,在望远镜总长度基本不增大了情况下,总角放大率成倍增大,这样,就可以用一个低倍短筒望远镜配一个N倍的微透镜列阵角扩束器,得到一个高倍短筒望远镜。
- 高倍望远镜
- [实用新型]高倍短筒望远镜-CN03254885.0无效
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赵斌
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华中科技大学
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2003-07-18
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2004-07-21
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G02B23/04
- 本实用新型公开了一种高倍短筒望远镜,包括物镜和目镜,在物镜前设置有微透镜列阵型角扩束器。在满足下述条件时,本实用新型具有更好的技术效果:微透镜列阵型角扩束器尽可能靠近物镜,但两者不接触;微透镜列阵型角扩束器的孔径大于其后望远镜的物镜孔径;微透镜列阵型角扩束器的板面与望远镜的光轴垂直。该望远镜的总角放大倍数由于微透镜列阵角扩束器的角放大和普通望远镜的角放大的共同贡献而增大。加上了微透镜列阵角扩束器,在望远镜总长度基本不增大的情况下,总角放大率成倍增大,这样,就可以用一个低倍短筒望远镜配一个N倍的微透镜列阵角扩束器,得到一个高倍短筒望远镜。
- 高倍望远镜
- [发明专利]远距高倍短筒显微镜-CN03128348.9无效
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赵斌
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华中科技大学
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2003-07-18
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2004-03-10
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G02B21/02
- 本发明公开了一种远距高倍短筒显微镜,包括准直透镜和目镜,准直透镜和目镜之间依次放置有微透镜列阵型角扩束器和聚焦透镜,显微镜的物平面位于准直透镜的焦平面上。满足以下条件其效果更好:角扩束器靠近但不接触准直透镜,聚焦透镜靠近但不接触角扩束器;角扩束器的孔径大于聚焦透镜的孔径。角扩束器的板面与显微镜的光轴垂直。由于加上了角扩束器,在系统总长度基本不增大了情况下,使显微镜放大率成倍增大,这样,就可以将一个远距低倍显微镜配一个N倍的微透镜列阵角扩束器,改造成一个远距高倍短筒显微镜。
- 高倍显微镜
- [实用新型]远距高倍短筒显微镜-CN03254884.2无效
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赵斌
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华中科技大学
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2003-07-18
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2004-09-22
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G02B21/02
- 本实用新型公开了一种远距高倍短筒显微镜,包括准直透镜和目镜,准直透镜和目镜之间依次放置有微透镜列阵型角扩束器和聚焦透镜,显微镜的物平面位于准直透镜的焦平面上。满足以下条件其效果更好:角扩束器靠近但不接触准直透镜,聚焦透镜靠近但不接触角扩束器;角扩束器的孔径大于聚焦透镜的孔径。角扩束器的板面与显微镜的光轴垂直。由于加上了角扩束器,在系统总长度基本不增大了情况下,使显微镜放大率成倍增大,这样,就可以将一个远距低倍显微镜配一个N倍的微透镜列阵角扩束器,改造成一个远距高倍短筒显微镜。
- 高倍显微镜
- [发明专利]一种激光准直扩束系统-CN201410019186.5无效
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范真节;邢廷文;林妩媚;廖志杰;张海波
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中国科学院光电技术研究所
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2014-01-15
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2014-04-09
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G02B27/30
- 本发明提供一种激光准直扩束系统,解决了高NA光刻技术中激光光束在不同传输距离时,光束口径和发散角不能满足使用需求的问题。所述激光准直扩束系统由一块球面镜和两块柱面镜组成,其中两块柱面镜光焦度分别为y方向和x方向,球面镜分别与两块柱面镜组成两组准直扩束器,一组准直扩束器实现对y方向光束进行准直扩束,另一组准直扩束器实现对x方向光束进行准直扩束。通过调节球面镜与两柱面镜之间的距离,补偿光束在不同传输距离时光束口径和发散角所发生的变化,从而满足使用需求。该激光准直扩束系统结构简单,易于加工装调,同时在传输距离变化时,球面镜与柱面镜之间调节距离变化小,易于机械控制。
- 一种激光准直扩束系统
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