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[实用新型]一种硅微针基板-CN201621393213.6有效
发明人：郭文平;赵科研;许南发 -专利权人：山东元旭光电股份有限公司
申请日： 2016-12-19 - 公布日： 2018-01-05 - 主分类号： A61M37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅微针基板，包括硅基板，硅基板上设有硅微针，硅微针是利用湿法腐蚀腐蚀硅基板得到的硅微针图形制成，并且本实用新型的硅微针呈两段式分布，硅微针下段呈多角锥状，硅微针上段为棱锥状结构。本实用新型的硅微针基板制备工艺简单，仅需湿法刻蚀便可制得所需硅微针，避免了干法刻蚀带来的环境污染和大量资金使用，经济实惠，所制硅微针耐用性好，特别适合用于美容、医疗器械和生物医疗领域，尤其是透皮给药的异平面硅微针基板的制备
一种硅微针基板

[发明专利]柔性衬底硅基薄膜太阳电池-CN200810052621.9有效
发明人：张晓丹;赵颖;魏长春;耿新华;熊绍珍 -专利权人：南开大学
申请日： 2008-04-07 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： H01L31/075 文献下载
摘要：本发明公开了一种柔性衬底硅基薄膜太阳电池，包括衬底S为不透明和透明柔性材料，且太阳电池的结构为P型硅基薄膜/I型硅基薄膜/N型硅基薄膜，所述P型硅基薄膜、I型硅基薄膜和N型硅基薄膜皆采用微晶硅基或纳米硅基薄膜，其中，P型硅基薄膜采用微晶硅、微晶硅碳或微晶硅氧，也可为纳米硅、纳米硅碳或纳米硅氧、非晶硅、非晶硅碳或非晶硅氧，I型硅基薄膜采用微晶硅、微晶硅锗或纳米硅、纳米硅锗，N型硅基薄膜采用微晶硅、微晶硅碳或微晶硅氧，也可为纳米硅、纳米硅碳或纳米硅氧。本发明利用微晶硅基或纳米硅基薄膜材料电子和空穴迁移率具有相同数量级的特性，将目前应用于玻璃衬底上比较成熟的P/I/N电池技术合理转移到柔性衬底上，较容易实现工艺的转移。
柔性衬底薄膜太阳电池

[发明专利]提高单室沉积微晶硅基薄膜太阳电池效率的制备方法-CN200910069034.5有效
发明人：张晓丹;孙福和;赵颖;许盛之;王光红;魏长春;孙建;耿新华;熊绍珍 -专利权人：南开大学
申请日： 2009-05-27 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种提高单室沉积微晶硅基(纳米硅基)薄膜太阳电池效率的制备方法。本发明在传统的微晶硅基(纳米硅基)薄膜太阳电池的p/i界面引入高晶化率的界面层来实现降低硼污染的影响，进而提高单室沉积微晶硅基(纳米硅基)薄膜太阳电池的光电转换效率。电池的类型针对本征i层而言，即包括微晶硅基(微晶硅、微晶硅锗、微晶硅碳或微晶硅氧等)、也包括纳米硅基(纳米硅、纳米硅锗、纳米硅碳或纳米硅氧等)的薄膜太阳电池。此微晶硅基(纳米硅基)电池的类型即包括单结微晶硅基(纳米硅基)电池，也适用于由其构成的双结或三结叠层太阳电池。该方法不需增加新的设备改造投资成本，又降低了污染，同时有效提高电池效率。
提高沉积微晶硅基薄膜太阳电池效率制备方法

[发明专利]同心环芯纳米硅微盘微腔器件及其制备方法-CN201210217253.5无效
发明人：钱波;李永垒;蒋春萍 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2012-06-28 - 公布日： 2012-10-10 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种同心环芯纳米硅微盘微腔器件及其制备方法，属于半导体光电子器件技术领域。该同心环芯纳米硅微盘微腔器件包括硅衬底和微盘，所述微盘包括同轴设置的外围微盘和内围微盘，内围微盘直接形成于外围微盘上，外围微盘与内围微盘的边缘部熔合形成环状盘腔结构，其中，内围微盘为含有硅纳米量子点结构的薄膜层本发明将纳米硅量子点结构和微盘微腔结构有机结合，同时又把纳米硅发光区域与微盘环芯结构相分离，既利用了纳米硅良好的光增益特性，又减少了谐振过程中的非辐射自由载流子吸收，实现纳米硅同心环芯微腔的高效率的光发射，同时，该同心环芯纳米硅微盘微腔器件制备工艺简单，参数精确可调，与现行成熟的硅工艺相兼容。
同心纳米硅微盘微腔器件及其制备方法

[发明专利]叠层布线和利用该叠层布线的半导体器件及其制造方法-CN200710088746.2有效
发明人：田中淳;加纳博司 -专利权人：日本电气株式会社;NEC液晶技术株式会社
申请日： 2007-03-22 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： H01L29/49 文献下载
摘要：提供一种由微晶硅薄膜和金属薄膜构成的叠层布线，该叠层布线能够抑制微晶硅薄膜和金属薄膜之间的过多硅化物生成反应，由此防止发生薄膜脱落。在利用叠层布线的多晶硅TFT(薄膜晶体管)中，微晶硅薄膜被构造，使得微晶硅薄膜中的、在微晶硅薄膜的膜厚度方向上的长度为微晶硅薄膜的膜厚度的60％或更大的晶粒，总计为晶粒总数的15％或更少；或者使得微晶硅薄膜中的、在微晶硅薄膜的膜厚度方向上的长度为微晶硅薄膜的膜厚度的50％或更小的晶粒，总计为构成微晶硅薄膜的晶粒总数的85％或更多。
布线利用半导体器件及其制造方法

[发明专利]一种多晶硅料中微硅粉含量的测定方法-CN202110583682.3在审
发明人：李豪杰;刘翠;于生海;何泳;王蕾 -专利权人：新疆大全新能源股份有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01N21/17 文献下载
摘要：本发明为一种多晶硅料中微硅粉含量的测定方法。一种多晶硅料中微硅粉含量的测定方法，包括以下步骤：(1)将多晶硅料完全浸泡在水里，使多晶硅料中的微硅粉进入水中后，再去除多晶硅料，得溶液1；(2)采用浊度法测定溶液1中的微硅粉含量。本发明所述的一种多晶硅料中微硅粉含量的测定方法，方法简单，可以更加准确的测定多晶硅料中微硅粉含量。
一种多晶硅料中微硅粉含量测定方法

[发明专利]硅碳负极材料制备方法及多孔硅碳微球负极材料-CN201810396791.2有效
发明人：袁雪亚;王宇航;白岩;成信刚;马书良 -专利权人：北方奥钛纳米技术有限公司;银隆新能源股份有限公司
申请日： 2018-04-27 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明公开了硅碳负极材料制备方法及多孔硅碳微球负极材料，涉及电池制造技术领域。一种硅碳负极材料制备方法，包括：研磨硅粉浆料，得到磨后硅粉浆料。对碳微粉进行石墨化处理，得到石墨化碳微粉。搅拌磨后硅粉浆料，在搅拌过程中持续向磨后硅粉浆料中加入石墨化碳微粉，加入包覆碳源，并进行超声处理，并同时搅拌，然后进行喷雾干燥，得到硅碳微球。对硅碳微球进行碳化处理，得到碳化硅碳微球。对碳化硅碳微球进行刻蚀处理，然后对碳化硅碳微球洗涤干燥，得到多孔硅碳微球负极材料。一种多孔硅碳微球负极材料，其通过上述方法制造。本发明能制造出克容量高的多孔硅碳微球，并且其多次循环之后容量保持率高。
负极材料制备方法多孔硅碳微球

[发明专利]微晶硅薄膜沉积工艺的研究方法及其应用-CN202310330648.4在审
发明人：高磊;张衡;屈庆源;王青松;吴海红 -专利权人：苏州迈为科技股份有限公司;苏州迈正科技有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/65 文献下载
摘要：本发明提供了一种微晶硅薄膜沉积工艺的研究方法，采用微晶硅薄膜晶化率测试样品作为拉曼基底进行拉曼光谱测试，所述微晶硅薄膜晶化率测试样品按照待研究的微晶工艺条件沉积在测试基底上的。所述微晶硅薄膜晶化率测试样品包括衬底和层叠于衬底上的本征氢化非晶硅膜。区别于传统衬底，本发明微晶硅薄膜晶化率测试基底具有本征氢化非晶硅膜，能够有效解决传统衬底影响微晶硅薄膜生长或诱导微晶硅薄膜结晶的缺点。从而本发明微晶硅薄膜晶化率测试样品能够准确地测定微晶硅薄膜的晶化率，进而监控微晶太阳电池硅薄膜的晶化率，为工艺调试中提供数据支撑，从而制备出高光电转化效率的太阳能电池。
微晶硅薄膜沉积工艺研究方法及其应用

[发明专利]一种新型微晶-晶硅叠层异质结电池结构及其制备方法-CN202111490927.4在审
发明人：白焱辉;杨立友;王继磊;黄金;鲍少娟;师海峰;杨文亮;冀杨洲;高英杰;潘国鑫;贾慧君 -专利权人：晋能清洁能源科技股份公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H01L31/0747 文献下载
摘要：本发明提供一种新型微晶‑晶硅叠层异质结电池结构及其制备方法，包括硅衬底，所述硅衬底的一面依次叠加设置正面本征非晶硅层、正面掺杂微晶硅/纳米晶硅/非晶硅层、正面TCO层，所述硅衬底的另一面依次叠加设置背面本征非晶硅层、背面掺杂微晶硅/纳米晶硅/非晶硅层、背面TCO层，在所述正面本征非晶硅层和所述正面掺杂微晶硅/纳米晶硅/非晶硅层之间设置正面本征微晶硅/纳米晶硅层，和/或在所述背面本征非晶硅层和所述背面掺杂微晶硅/纳米晶硅/非晶硅层之间设置背面本征微晶硅/纳米晶硅层。
一种新型晶硅叠层异质结电池结构及其制备方法

[发明专利]一种微晶硅薄膜太阳能电池及其制备方法-CN201410321489.2有效
发明人：李新利;毛志平;马战红;李武会;任凤章;王宇飞;许荣辉;柳勇 -专利权人：河南科技大学
申请日： 2014-07-07 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明公开了一种微晶硅薄膜太阳能电池及其制备方法，该电池包括衬底、透明导电薄膜、p型微晶硅薄膜窗口层、本征微晶硅薄膜吸收层、n型微晶硅层和背反射电极，所述p型微晶硅薄膜窗口层与本征微晶硅薄膜吸收层之间设有pi界面层，所述本征微晶硅薄膜吸收层与n型微晶硅层之间设有in界面层。本发明的微晶硅薄膜太阳能电池，在掺杂层与本征层之间设置过渡界面层，改善了电池的界面性能和能带结构，有利于载流子的输出和收集，从而提高了电池的效率。
一种微晶硅薄膜太阳能电池及其制备方法

[发明专利]一种流化床法除去微硅粉中游离碳的方法-CN201210296109.5无效
发明人：铁生年;姜子炎;汪长安 -专利权人：铁生年
申请日： 2012-08-20 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： C01B33/12 文献下载
摘要：一种流化床法除去微硅粉中游离碳的方法，取一定质量的微硅粉原料置于流化床反应器中，通以反应气氛，使其在最佳流化状态下进行反应，用于除去微硅粉中的游离碳。本发明，一种流化床法除去微硅粉中游离碳的方法，可以有效的除去微硅粉中的游离碳，微硅粉中游离碳的含量范围为2%-5%（质量分数），过处理后得到微硅粉中游离碳含量小于0.05%（质量分数），从而提高了微硅粉的使用价值，本发明能实现微硅粉提纯生产的连续操作，除碳工艺操作简单，有很大的市场前景。
一种流化床除去微硅粉中游离方法

[发明专利]微晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法-CN201310332660.5无效
发明人：张津燕;胡安红;曲铭浩;郁操;杨少飞;徐希翔 -专利权人：福建铂阳精工设备有限公司
申请日： 2013-08-02 - 公布日： 2013-12-11 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本发明公开了一种微晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法，包括：提供基板，在所述基板表面沉积导电层，在所述导电层表面沉积至少包括微晶硅电池的电池层，采用分步式阶梯沉积法沉积所述微晶硅电池的微晶硅薄膜发电层。本发明的微晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法，通过多步沉积、优化微晶硅薄膜质量，能够在7A/s以上的沉积速率下，制备出转换效率在12％以上的非晶硅/微晶硅叠层电池。
微晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法

[发明专利]纳米硅同心微环芯掺铒激光器件及其制备方法-CN201310432239.1在审
发明人：李永垒;钱波;蒋春萍 -专利权人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
申请日： 2013-09-22 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： H01S5/04 文献下载
摘要：本发明公开一种纳米硅同心微环芯掺铒激光器件及其制备方法。所述激光器件包括硅衬底和微盘，所述微盘经形成于所述硅衬底上的微盘支柱与所述硅衬底连接，所述微盘包括同轴设置的外围微盘和内围微盘，所述内围微盘直接形成于外围微盘上，所述外围微盘的边缘烧熔形成微环芯结构，所述外围微盘为边缘掺铒的氧化硅薄膜层，所述内围微盘为含有硅纳米量子点结构的薄膜层。本发明的纳米硅同心微环芯掺铒激光器件利用纳米硅良好的光增益特性，对铒离子进行较高效的光泵浦，既提高了自发辐射几率，同时又不会把纳米硅中载流子的吸收和其他损耗因素引入到微环芯边缘铒离子的增益激光模式中去，从而可以获得高品质的通讯波段微腔模式发射光。
纳米同心微环芯掺铒激光器件及其制备方法

[发明专利]一种基于硅微纳米结构的太赫兹调制器及其制备方法-CN201910420676.9在审
发明人：刘竞博;凌东雄;莫晨 -专利权人：东莞理工学院
申请日： 2019-05-20 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： G02F1/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于硅微纳米结构的太赫兹调制器，包括硅基底，硅微纳米结构和二维薄膜材料；硅微纳米结构位于硅基底表面；二维薄膜材料设置于硅微纳米结构上；并且公开了其制备方法。本发明在硅基底上设置硅微纳米结构，利用泵浦光在硅微纳米结构中的陷光效应与多次震荡反馈激发效应，有效提高调制器件对泵浦光激励的光电转化效率，在极低的泵浦光功率下实现对太赫兹波的调控。
硅微纳米结构二维薄膜材料太赫兹调制器泵浦光硅基制备光电转化效率泵浦光功率硅基底表面调制器件太赫兹波陷光震荡反馈调控激发

[发明专利]一种工业硅微硅粉除杂活化的方法及装置-CN201711439350.8有效
发明人：徐伟;陈建材;朱尔明 -专利权人：昌吉吉盛新型建材有限公司
申请日： 2017-12-27 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： C01B33/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种工业硅微硅粉除杂活化的方法及装置，所述方法将从工业硅冶炼烟气中分离收集得到的微硅粉预热至560～650℃，再将预热好的微硅粉以静态或动态的方式在富氧气氛中进行720～1100℃下的高温焙烧，焙烧15～90分钟后出料并冷却、分离得到除杂活化微硅粉。所述装置则用于实现工业硅微硅粉的除杂活化，包括第一除尘单元、预热换热单元、焙烧单元、冷却换热单元、第二除尘单元、微硅粉储存单元和空气加热单元。本发明通过去除微硅粉中煤焦油、碳等有机挥发份来避免其对后续产品生产和质量的影响，并在保证微硅粉反应活性的条件下调整微硅粉密度和粒度以利于后续产品的反应和过滤，从而实现后续水玻璃产品的工业化生产。
一种工业硅微硅粉杂活方法装置

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