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[发明专利]一种微半环凹模阵列微细超声分级研抛方法-CN201510802001.2在审
发明人：赵军;袁巨龙;杭伟 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：一种微半环凹模阵列微细超声分级研抛方法，包括如下步骤：1)制作精密球阵列研抛模；2)第一级研抛：采用阵列微细工具，研抛模在衬底片上方微小距离内做高频微细超声振动并沿着Z方向向下进给，XY平台配合加工要求带动工件运动，先去除一层材料，之后，Z轴继续向下进给，使得轨迹点在XY平面的投影内收，再去除下一层材料，依此类推，直至加工出具有阶梯递进的和加工形状及其相似的微凹模阵列；3)第二级研抛：采用精密球阵列研抛模，实现微半环凹模阵列的材料脆性去除；3)第三级研抛：精密球阵列研抛模的微细超声振动，采用纳米级磨粒，对微凹模进行修形和降低表面粗糙度。
一种微半环凹模阵列微细超声分级方法

[发明专利]一种微半环凹模阵列化学-机械分级复合制造方法-CN201510802005.0在审
发明人：赵军;袁巨龙;杭伟 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：一种微半环凹模阵列化学-机械分级复合制造方法，包括如下步骤：1)制作精密球阵列研抛模；2)第一级研抛：采用精密球阵列研抛模，通过化学-机械加工方法实现微凹模阵列的形状构型；3)第二级研抛：采用所述精密球阵列研抛模进行第二次研抛，通过调整超声振动的参数和Z向进给参数，使得工件的材料去除形式转变为材料塑性去除，降低研抛液中HNA溶液的浓度，减缓HNA溶液对功能材料的化学腐蚀速度；第二次研抛材料去除形式是微细超声振动下的材料塑性去除和HNA溶液对衬底材料的缓慢化学腐蚀作用，可以对微凹模进行修形和表面质量提升。
一种微半环凹模阵列化学机械分级复合制造方法

[发明专利]嵌入式球模复合磨粒研抛硅微凹模阵列方法-CN201910462778.7在审
发明人：赵军;吕经国;黄金锋;王睿 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了嵌入式球模复合磨粒研抛硅微凹模阵列方法，制作研抛模，所述研抛模包括工具连杆、激光测距传感器和球体，工具头下端端面加工有阵列孔，单个凹模的直径等于球体直径；球体的一半嵌入孔内，每个孔径与球体之间有一层均匀的防水粘结剂；在研抛模与工件表面之间充满研抛液，研抛液中的磨粒为复合磨粒，研抛模在工件上表面做高频微细超声振动，超声振动激发裸露在工具头外部的半个球体与磨粒一起持续冲击工件表面，形成与球体尺寸相吻合的微半球凹坑。本发明通过微超声研抛模的振动，激发球体与研抛液中纳米级磨粒对硅工件表面的高频冲击，以实现对材料的去除。极大地提高微半球凹模阵列的加工效率，保证了凹模的形状一致性。
球体复合磨粒工件表面磨粒超声振动工具头模阵列嵌入式凹模球模微凹激光测距传感器防水粘结剂形状一致性半球凹坑半球凹模高频冲击工具连杆加工效率下端端面纳米级嵌入孔上表面微超声阵列孔微细激发去除裸露吻合外部加工制作保证

[发明专利]微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法-CN201910462790.8有效
发明人：赵军;吕经国;黄金锋;王睿 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2019-05-30 - 公布日： 2020-12-15 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了微超声阵列球体发射仿形恒力研抛方法，其工具头的端面上加工微半球凹模阵列，工具头下端与球模导向板相连接，单个凹模的直径大于或等于发射球体直径，在工件放置台装有实时监控的恒力装置，球体做研抛模与工件之间的Z轴方向的运功或者沿着自身球心转动；在研抛模与工件表面之间充满研抛液，研抛模在导向板上表面做高频微细超声振动，超声振动激发球提与磨粒高速冲击工件表面，形成微半球凹坑。本发明通过微超声研抛模的振动，激发球体与研抛液中纳米级磨粒对碳化硅工件表面的高频冲击，以实现对材料的去除。极大地提高微半球凹模阵列的加工效率，并通过气泡调控的方式，保证了凹模的形状一致性。
超声阵列球体发射恒力方法

[发明专利]一种超高精度微球研抛一体机-CN202211501786.6有效
发明人：余家欣;朱波;段涛;叶嘉豪;赵斐;张玲;包琢钰 -专利权人：西南科技大学
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B24B11/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高精度微球研抛一体机，包括机架以及设置在所述机架上的加压机构，下研抛机构，其滑动设置在所述机架上；平移驱动机构，其设置在所述机架上，且所述平移驱动机构与所述下研抛机构传动连接；公转机构，其设置在所述加压机构上，且所述公转机构传动连接有多个上研抛机构，多个所述上研抛机构与所述下研抛机构对应设置；多个保持架，其放置在所述下研抛机构上，且多个所述保持架分别与多个所述上研抛机构套设连接。本发明，通过三驱三偏心的设置加强微小球体的自转，对微小球体的抛光轨迹进行全包络，从而实现了对微小球体的超精密研抛，具有提升加工质量、提升加工精度的有益效果。
一种超高精度微球研抛一体机

[发明专利]一种微槽结构的超精密表面光整加工方法-CN201310675792.8在审
发明人：谌祖辉;范恽;郑小红;范敏;霍登平;龙龙 -专利权人：中国航空工业第六一八研究所
申请日： 2013-12-11 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： B24B19/02 文献下载
摘要：本发明属于微槽结构的超精密表面光整加工方法，提供一种微槽结构的超精密表面光整加工方法，包括：研抛轮与工件微槽部位相对运动，研抛轮与工件接触时，微力传感器产生电压信号，记录微力传感器产生电压信号时研抛轮与工件的运动坐标，确定研抛轮与工件的相对运动范围；然后在所述研抛轮与工件的相对运动范围内，使研抛轮相对工件加工面往复运动，进行研抛加工。本发明将微细超精密研抛加工技术应用到微槽结构件上，提供了一种微槽结构件表面光整加工方法，解决了金属薄壁微槽结构件表面光整的难题。
一种结构精密表面光加工方法

[发明专利]快速玻璃圆球透镜研抛机-CN201410827002.8在审
发明人：蔡志明 -专利权人：常州市润昌光电科技有限公司
申请日： 2014-12-25 - 公布日： 2015-05-06 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明属于光学仪器领域，特别涉及一种快速玻璃圆球透镜研抛机，包括两个玻璃球压紧轮、两个压紧轮支架和研抛机械臂；所述玻璃球压紧轮为圆柱形，中间设有压紧轮旋转轴和动力装置；所述研抛臂包括研抛头、连接臂、摆轴和动力装置，研抛头通过连接臂与摆轴连接，摆轴的一端与连接臂通过转轴连接，能够发生相对转动，摆轴的另一端连接动力装置，能够主动进行摆动。本发明的快速玻璃圆球透镜研抛机使用两个同向旋转的玻璃球压紧轮使得工件匀速转动，同时用于打磨的研抛头进行摆动，使得工件的表面能够进行快速均匀高精度的研抛，以简单易维护的设备实现了光学设备上所用的玻璃球透镜的快速高精度研抛，产品的真球度可以达到0.001-0.005mm。
快速玻璃圆球透镜研抛机

[发明专利]有效提高研抛效率的微摆研抛装置-CN201811006700.6有效
发明人：周一丹;颜认;陈枫;陈小丹;马苏扬 -专利权人：南通大学
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B24B3/60 文献下载
摘要：本发明公开了一种有效提高研抛效率的微摆研抛装置，包括底座、分度盘、刀尖圆弧大小调节部件、手动主轴部件、微摆幅部件、精密燕尾槽立式十字托板、微进给部件、刀具后角调节部件、刀夹部件、CCD摄像头部件，刀具安装在刀夹部件上微摆幅部件中的压电陶瓷驱动器和微进给部件中的压电陶瓷驱动器通过导线与外部的压电陶瓷控制器相连。CCD摄像头通过数据线与外部计算机相连。本发明提供的微摆研抛装置，使圆弧刃金刚石刀具沿其理想刀尖圆弧轨迹在研磨盘上实现微摆研抛，以提高现有圆弧刃金刚石刀具研抛效率和研抛质量。
有效提高效率微摆研抛装置

[发明专利]提高研抛质量的微摆研抛装置-CN201811006717.1有效
发明人：周一丹;颜认;陈枫;陈小丹;马苏扬 -专利权人：南通大学
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高研抛质量的微摆研抛装置，包括底座、分度盘、刀尖圆弧大小调节部件、手动主轴部件、微摆幅部件、精密燕尾槽立式十字托板、微进给部件、刀具后角调节部件、刀夹部件、CCD摄像头部件，刀具安装在刀夹部件上微摆幅部件中的压电陶瓷驱动器和微进给部件中的压电陶瓷驱动器通过导线与外部的压电陶瓷控制器相连。CCD摄像头通过数据线与外部计算机相连。本发明提供的微摆研抛装置，使圆弧刃金刚石刀具沿其理想刀尖圆弧轨迹在研磨盘上实现微摆研抛，以提高现有圆弧刃金刚石刀具研抛效率和研抛质量。
提高质量微摆研抛装置

[实用新型]快速玻璃圆球透镜研抛机-CN201420843349.7有效
发明人：蔡志明 -专利权人：常州市润昌光电科技有限公司
申请日： 2014-12-25 - 公布日： 2015-08-19 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本实用新型属于光学仪器领域，特别涉及一种快速玻璃圆球透镜研抛机，包括两个玻璃球压紧轮、两个压紧轮支架和研抛机械臂；所述玻璃球压紧轮为圆柱形，中间设有压紧轮旋转轴和动力装置；所述研抛臂包括研抛头、连接臂、摆轴和动力装置，研抛头通过连接臂与摆轴连接，摆轴的一端与连接臂通过转轴连接，能够发生相对转动，摆轴的另一端连接动力装置，能够主动进行摆动。本实用新型的快速玻璃球透镜研抛机使用两个同向旋转的玻璃球压紧轮使得工件匀速转动，同时用于打磨的研抛头进行摆动，使得工件的表面能够进行快速均匀高精度的研抛，以简单易维护的设备实现了光学设备上所用的玻璃球透镜的快速高精度研抛，产品的真球度可以达到0.001-0.005mm。
快速玻璃圆球透镜研抛机

[实用新型]一种用于抛光球头工件的化学机械研抛机-CN202022786123.6有效
发明人：夏宜龙;黎秋月;魏东;李良宇;焦彬;刘圣杰 -专利权人：中船重工安谱（湖北）仪器有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B24B29/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于抛光球头工件的化学机械研抛机，采用研抛模具模块的自转运动和摆动运动的复合运动为待抛光的球头工件表面提供全方位的抛光，可以通过设置自转速度与摆动速度的比值得到最佳的抛光效果，研抛模具模块是为了研抛不同直径尺寸的球头工件的结构，通过对球头工件进行载荷的施加，利用扭矩数据采集模块是将研抛过程中的扭矩通过扭矩传感器以电压信号的方式被采集，以实现对抛光过程的监测，因此该研抛机抛光效率高，能够得到较高质量的抛光表面。
一种用于抛光工件化学机械研抛机

[发明专利]微半环凹模阵列式研抛方法及装置-CN201510804387.0在审
发明人：袁巨龙;赵军;杭伟 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2015-11-19 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：一种微半环凹模阵列式研抛方法，包括如下步骤：1)制作超精密高一致性研抛模，工具连杆的上端与微细超声发生器相连接，所述工具连杆的下端与定位基板连接，在定位基板上加工出阵列孔径，孔径大小小于精密球体直径，在孔径和精密球体之间充满粘结剂，球体的一部分嵌入孔内；2)超精密高一致性研抛模与衬底片之间充满研抛液，研抛液所含磨粒的粒度尺寸为纳米级，研抛模在衬底片上方微小距离内做高频微细超声振动，超声振动激发研抛液内的磨粒高速冲击衬底片，研抛模在Z方向向下做设定速度的进给运动，实现微半环凹模阵列的材料去除。以及提供一种微半环凹模阵列式研抛装置。本发明的研抛效果：高效率、高形状精度、高形状一致性、低表面粗糙度、高表面质量。
微半环凹模阵列式研抛方法装置

[发明专利]一种空心球体内外球面研抛方法及装置-CN201710287186.7有效
发明人：彭云峰;李陈磊;潘天龙;占陈元 -专利权人：厦门大学;厦门大学深圳研究院
申请日： 2017-04-27 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： B24B37/025 文献下载
摘要：一种空心球体内外球面研抛方法及装置，涉及球面研抛方法及装置。设有可伸展的内球面研抛球工具和外球面研抛系统，内球面研抛球工具与外球面研抛系统同时加工空心球体工件，确保加工所得内外球面的球心重合度；可伸展的内球面研抛球工具由三维可伸缩球形支撑结构体、球铰链和小块柔性研抛垫构成；外球面研抛系统设有外球面研抛支撑结构、外球面研抛垫、导轮驱动系统、液压驱动系统和出水管。
一种空心球体内外球面方法装置

[发明专利]拓宽应用的加工圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧的微摆研抛装置-CN201811006719.0有效
发明人：周一丹;颜认;陈枫;陈小丹;马苏扬 -专利权人：南通大学
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种拓宽应用的加工圆弧刃金刚石刀具刀尖圆弧的微摆研抛装置，包括底座、分度盘、刀尖圆弧大小调节部件、手动主轴部件、微摆幅部件、精密燕尾槽立式十字托板、微进给部件、刀具后角调节部件、刀夹部件、CCD微摆幅部件中的压电陶瓷驱动器和微进给部件中的压电陶瓷驱动器通过导线与外部的压电陶瓷控制器相连。CCD摄像头通过数据线与外部计算机相连。本发明提供的微摆研抛装置，使圆弧刃金刚石刀具沿其理想刀尖圆弧轨迹在研磨盘上实现微摆研抛，以提高现有圆弧刃金刚石刀具研抛效率和研抛质量。
拓宽应用加工圆弧金刚石刀具刀尖微摆研抛装置

[发明专利]高效加工高精度圆弧刃金刚石刀具的微摆研抛装置-CN201811006720.3有效
发明人：周一丹;颜认;陈枫;陈小丹;马苏扬 -专利权人：南通大学
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效加工高精度圆弧刃金刚石刀具的微摆研抛装置，包括底座、分度盘、刀尖圆弧大小调节部件、手动主轴部件、微摆幅部件、精密燕尾槽立式十字托板、微进给部件、刀具后角调节部件、刀夹部件、CCD摄像头部件微摆幅部件中的压电陶瓷驱动器和微进给部件中的压电陶瓷驱动器通过导线与外部的压电陶瓷控制器相连。CCD摄像头通过数据线与外部计算机相连。本发明提供的微摆研抛装置，使圆弧刃金刚石刀具沿其理想刀尖圆弧轨迹在研磨盘上实现微摆研抛，以提高现有圆弧刃金刚石刀具研抛效率和研抛质量。
高效加工高精度圆弧金刚石刀具微摆研抛装置

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