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- [发明专利]一种微纳结构固化方法-CN201811640086.9在审
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李勇滔;景玉鹏
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中国科学院微电子研究所
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2018-12-29
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2020-07-07
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G03F7/40
- 本发明提供一种微纳结构固化方法,所述方法包括,将经显影后具有微纳图形结构的晶圆放置于去离子水的溶液中,用去离子水置换出晶圆上的显影液;将置换完成的晶圆放置在微波干燥腔室内的载片台上,开启真空吸附装置以便将晶圆固定在载片台上;启动微波功率源,通过微波耦合匹配器将微波功率完全施加至微波干燥腔室内,对晶圆上的微纳图形结构进行微波干燥固化;微波功率源开启一段时间后,启动与微波干燥腔室连接的真空泵组,将腔室内的水汽排除至腔室外,直至固化完毕本发明微纳固化方法能够有效彻底地清除晶圆上的水分,进而干燥固化微纳结构,并且固化过程不会导致这些微纳结构塌陷。
- 一种结构固化方法
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