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[发明专利]时序InSAR干涉像对的选取方法及装置-CN202211150664.7在审
发明人：李佳;段平;张志科 -专利权人：云南师范大学
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01B7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种时序InSAR干涉像对的选取方法及装置，其中该方法包括：获取覆盖研究区域在研究时段内的SAR单视复数影像；将该影像两两配对得到若干干涉像对；基于干涉像对计算每个像素的干涉相干系数得到干涉相干系数图；计算每一幅干涉图的平均相干系数；将干涉图依据主影像的获取日期按月份分类，计算总及每个月的月平均相干系数；将干涉图以月为单位区分为高和低相干月份；以高平均相干系数为阈值选取高相干月份内的干涉像对，以低平均相干系数为阈值选取低相干月份内的干涉像对，选取的干涉像对用于时序InSAR分析。本发明顾及相干系数月份差异进行时序InSAR干涉像对选取，可以实现间断性相干区域干涉像对优化选取。
时序 insar 干涉选取方法装置

[发明专利]一种移相干涉仪的抗振动方法-CN201710045037.X有效
发明人：刘乾;袁道成;何华彬;何建国 -专利权人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
申请日： 2017-01-22 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种移相干涉仪的抗振动方法，该方法中的移相干涉仪相机在打开和关闭像素组合功能下以高速采集第一组移相干涉图和以低速采集第二组移相干涉图。第二组移相干涉图经过均匀采样后的得到与第一组移相干涉图分辨率相同的第三组移相干涉图。使用修正三步迭代算法从第一组移相干涉图中提取低分辨率位相分布，并以其作为初始值利用修正三步迭代算法从第三组移相干涉图中计算时间相关参量。按比例缩放时间相关参量后，结合第二组移相干涉图构造最小二乘方程，计算高分辨率位相分布，最终重构被测表面高度。本发明方法充分利用了移相干涉仪相机的像素组合功能和修正三步迭代算法的特点，使用较低硬件成本较好地达到了移相干涉仪对抗振动的目的。
一种相干振动方法

[发明专利]一种动态干涉仪干涉图参数失配的相位提取的方法-CN202210736139.7在审
发明人：郑东晖;胡晨辉;陈磊;王云涛;张喆;马致遥 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2022-06-27 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种动态干涉仪同步移相干涉图参数失配的相位提取方法，该方法为：首先采集参数失配的空间同步移相干涉图，分割为四幅子干涉图；然后使用条纹细化法计算各干涉图的对比度和载频误差，将对比度、载频误差和预设的移相间隔的初值代入线性方程组计算干涉图的相位、背景以及调制度；接着设定干涉图间的相位、背景、调制度正确，根据方程组计算的对比度、载频误差以及移相间隔的偏差值，更新初值。本发明降低了动态干涉仪相位提取的约束性，干涉图参数失配相位提取的准确性和可靠性高，简单高效、适用范围广。
一种动态干涉仪干涉参数失配相位提取方法

[发明专利]转换均匀或非均匀采样干涉图产生光谱数据的方法和设备-CN201811476928.1有效
发明人： A·黑格伊 -专利权人：帕洛阿尔托研究中心公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：所述重建矩阵的每一行对应于选定波长，并且每一列对应于干涉仪的选定延迟。所述周期函数具有所述对应行的作为参数的所述选定波长，并以所述对应列中的每一列的所述选定延迟进行采样。获得干涉图数据立方体并且所述干涉图数据立方体包含一个或多个同时测量的干涉图的阵列。所述干涉图数据立方体的每一行对应于所述选定延迟中的一个，并且每一列对应于与所述同时测量的干涉图不同的干涉图。通过将所述重建矩阵与所述干涉图数据立方体的列相乘来形成针对所述干涉图中的每一个的一组矩阵向量积，从而形成所述高光谱数据立方体。
转换均匀采样干涉产生光谱数据方法设备

[发明专利]一种基于四向虚光栅的二维干涉图相位提取方法-CN201410642147.0有效
发明人：刘克;陈晨;李艳秋 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2014-11-11 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种基于四向虚光栅二维干涉图的相位提取方法，具体步骤为：步骤101、设定两个参考频率，基于所述参考频率生成四种含一定相移量的多幅参考干涉图，将所述参考干涉图称为虚光栅；步骤102、将待处理干涉图与每一虚光栅相乘，得到多幅莫尔条纹图；步骤103、针对每一莫尔条纹图提取其低频部分，获得低频莫尔条纹强度图，对低频莫尔条纹强度图进行移相计算，获取待处理干涉图的相位。该方法能够处理所采集到的二维干涉图并得到四个方向的相位，不仅具有较高的提取精度，而且具有较强的抗噪性。
一种基于光栅二维干涉相位提取方法

[发明专利]一种使用波长移相法测量超表面形貌分布的方法-CN202210134027.4有效
发明人：何婷婷;常林;于瀛洁;魏启宇;王陈 -专利权人：上海大学
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明方法操作步骤：利用波长移相干涉技术对超表面进行干涉图的采集处理：干涉图的移相采集及加权平均化处理、干涉图筛选有效区域、干涉图去除背景噪声。基于时域离散傅里叶变换校正移相值：抽取干涉图特征信号、基于多点时域光照互相关系数剔除无效特征信号、时域傅里叶变换求解移相频率。
一种使用波长移相法测量表面形貌分布方法

[发明专利]一种提高激光干涉测量精度的方法和装置-CN202310627796.2有效
发明人：李敬轩;杨立军;梁炫烨;张玥 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种提高激光干涉测量精度的方法和装置，涉及激光干涉的技术领域，包括：利用第一载波条纹和第二载波条纹分别对激光进行干涉，得到第一干涉图和第二干涉图，其中，第一载波条纹的方向与第二载波条纹的方向之间的夹角为直角；分别对第一干涉图和第二干涉图进行傅里叶变换，得到第一频谱图和第二频谱图；分别计算第一频谱图和第二频谱图的相位集中度，得到第一相位集中度和第二相位集中度；基于二分法、第一相位集中度和第二相位集中度，确定出直角内目标方向的载波条纹，并利用目标方向的载波条纹对激光进行干涉，其中，目标方向的载波条纹为直角内相位集中度最大的载波条纹，解决了现有的激光干涉测量的精度较低的技术问题。
一种提高激光干涉测量精度方法装置

[发明专利]一种二维干涉图的相位提取方法-CN201410350553.X有效
发明人：刘克;陈晨;李艳秋 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2014-07-22 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种二维干涉图的相位提取方法，具体过程为设定参考频率，基于所述参考频率生成含一定相移量的多幅参考干涉图，将所述参考干涉图称为虚光栅；将待处理干涉图与每一虚光栅相乘，得到多幅莫尔条纹图；对每一幅莫尔条纹图进行傅里叶变换，得到莫尔条纹图的频谱；采用低通滤波器滤出每一频谱中的低频部分，再对低频部分进行逆傅里叶变换，得到多幅低频莫尔条纹强度图；对多幅低频莫尔条纹强度图进行移相计算，获取待处理干涉图x方向和y方向所要求的相位该方法能够处理所采集到的二维干涉图，不仅具有较高的提取精度，而且具有较强的抗噪性。
一种二维干涉相位提取方法

[发明专利]基于激光干涉成像和同轴全息的粒子形状判别系统及方法-CN201610356405.8在审
发明人：张红霞;周叶;李姣;贾大功;刘铁根;张以谟 -专利权人：天津大学
申请日： 2016-05-26 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： G01N15/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于激光干涉成像和同轴全息的粒子形状判别系统及方法，属于光学测量技术领域。搭建激光干涉成像和同轴全息成像系统，通过粒子产生的不同形式的干涉条纹图和全息图对应，实现粒子球形与非球形状的准确测量。利用片状激光束照明粒子，粒子散射光在离焦像面上形成干涉条纹像，通过观察到的不同条纹图推断出粒子形状。通过另一光路系统获得发生干涉粒子的同轴全息图并且对全息图进行重建，进而得到粒子轮廓。然后通过全息重建图与对应的粒子干涉条纹图进行匹配，进而得到准确的粒子形状判断结果。此方法应用于云粒子测量中，通过离焦干涉条纹图和同轴全息图的处理，可以判别粒子形状，实施性强。
基于激光干涉成像同轴全息粒子形状判别系统方法

[发明专利]基于D-InSAR技术与图像加权叠加的沉降监测方法-CN202110086848.0在审
发明人：杨学志;李克冲;董张玉 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： G01C5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于D‑InSAR技术与图像加权叠加的沉降监测方法，包括：从SAR影像数据库中选取多幅公共主影像，对处理后的SAR影像进行基线估算并生成连接图，对校正后的SAR影像进行处理并生成若干幅干涉图，对所有干涉图进行滤波处理并计算其相干性，对每幅滤波处理后的干涉图进行相位解缠，再对解缠后的干涉图剔除相干性差的干涉图，对剔除后的干涉图进行轨道精炼和重去平处理，对干涉图加权叠加，最后相位图进行相位转形变的处理并经过地理编码后生成形变图
基于 insar 技术图像加权叠加沉降监测方法

[发明专利]用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期扰动的光谱仪系统和方法-CN201580070440.7有效
发明人： S·K·安徒生;M·L·安徒生 -专利权人：福斯分析仪器公司
申请日： 2015-02-02 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01J3/45 文献下载
摘要：光谱仪系统和用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期性扰动的方法。光谱仪系统(2)包括：扫描干涉仪(4)；驱动系统(6)，其机械耦合到扫描干涉仪(4)的可移动反射器元件(14)并且可操作以实现多个，优选地多于两个，例如三个不同的扫描速度下可移动反射器元件(14)的往复运动；检测器装置(8)，被配置为以等距时间间隔对由扫描干涉仪(2)形成的干涉图进行采样以产生采样干涉图；以及数据处理器(10)，适于在所述多个不同扫描速度中的每一个处获取采样的干涉图，并且执行如此获取的多个采样干涉图的内容的相对比较
用于补偿光谱仪系统产生干涉时间周期扰动方法

[发明专利]光干涉测定装置及光干涉测定方法-CN202080037306.8在审
发明人：椴山誉;佐佐木芳彰;吉峯功;大谷知行;汤浅哲也 -专利权人：株式会社拓普康;国立研究开发法人理化学研究所
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明使光干涉测定中的干涉图的噪声降低。光干涉测定装置(1)具有：测定部(2)，向测定对象物及参照面照射电磁波，使来自测定对象物的反射面的反射波和来自所述参照面的反射波干涉，获取干涉波的干涉图；以及信号处理部(8)，通过对干涉图进行傅里叶变换)具有第一噪声去除部(301)，通过从强度特性曲线中，将以测定对象物设置位置为基准的区域作为通过区域，将通过区域以外的区域的数据删除从而进行滤波，对滤波后的所述强度特性曲线进行傅里叶逆变换，由此重建为干涉图
干涉测定装置方法

[发明专利]宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质-CN202210160959.6在审
发明人：张为国;孙艳林;熊欣;邓晓洲;杜春雷 -专利权人：珠海迈时光电科技有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质，该宽光谱干涉显微测量方法包括：获取待测样品的干涉图；确定干涉图的调制度，通过调制度标识干涉图的第一区域，第一区域用于表征符合设定阈值的相位展开区域；对第一区域执行相位展开，得到干涉图多个焦面的真实相位图；对多个焦面的真实相位图相位拼接，得到干涉图的相位分布；根据相位分布确定待测样品的表面高度分布。本发明的有益效果为：以干涉条纹调制度量化条纹质量，以相位展开方法获得在设定区域的样品高度分布；将不同焦面位置获取的样品高度进行拼接，可获得扩展量程的高精度形貌测量结果，适用用于高精度、大量程宽光谱干涉显微测量
光谱干涉显微测量方法装置电子设备介质

[发明专利]亚波长光刻的实施相平衡散射条放置模型的方法及其装置-CN200410099792.9无效
发明人： X·施;J·F·陈;T·莱迪;K·E·瓦姆普勒;D·范登布洛克 -专利权人： ASML蒙片工具有限公司
申请日： 2004-09-06 - 公布日： 2005-09-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种产生其中布置有光学邻近校正特征的掩模设计的方法，该方法包括步骤：获得具有将被成像在基片上的特征的希望的目标图案；根据该目标图案确定第一干涉图，第一干涉图定义了该将被成像的特征中的至少一个特征和邻近该至少一个特征的场区之间的相长干涉的区域；基于由所述第一干涉图确定的相长干涉区域，在掩模设计中放置具有第一相的第一组辅助特征；基于该第一组辅助特征确定第二干涉图，该第二干涉图定义该第一组辅助特征的辅助特征和邻近该第一组辅助特征的辅助特征中的至少一个的场区域之间的相长干涉的区域；和基于由该第二干涉图确定的相长干涉区域在掩模设计中放置具有第二相的第二组辅助特征，其特征在于第一相不等于第二相。
波长光刻实施相平衡散射放置模型方法及其装置

[发明专利]振动场合中的相移干涉-CN200980154403.9有效
发明人：莱斯利.L.德克 -专利权人：齐戈股份有限公司
申请日： 2009-11-10 - 公布日： 2011-12-07 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种相移干涉测量(PSI)方法和对应的系统，包括：(i)在测试表面反射回来的测试光与参考表面反射回来的参考光之间记录相位序列中的每个相位的干涉图，该干涉图对于腔的每个不同横向位置定义干涉信号，所述腔由测试表面与参考表面定义；(ii)基于至少一些记录的干涉图，计算腔的初始相位图；(iii)基于初始相位图与至少一些记录的干涉图，计算至少一些相移增量的每一个的估计；以及(iv)基于所述估计与至少一些记录的干涉图
振动场合中的相移干涉