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[发明专利]一种核聚变装置的移动式射频辉光电极-CN201310467028.1在审
发明人：蔡潇;曹曾;黄向玫;崔成和 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2013-10-09 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明属于一种核聚变装置真空室器壁处理装置，具体涉及一种核聚变装置的移动式射频辉光电极，它包括螺旋式射频电极、伸缩驱动机构，伸缩驱动机构上设有螺旋式射频电极。其优点是，射频电极采用碟形波纹管运动机构进行驱动，可根据实验要求方便快速调整电极位置。螺旋式结构电极工作在高频交变电场作用下，增加了电子与气体分子发生碰撞的几率增加，对清除真空室器壁表面的低质量数杂质效率更高。电极冷却采用了水冷结构，降低了电极因长时间使用发生变形的几率。
一种聚变装置移动式射频辉光电极

[发明专利]电子-核双共振谐振器-CN201410796330.6有效
发明人：刘朝阳;陶泉;贺玉贵 -专利权人：中国科学院武汉物理与数学研究所
申请日： 2014-12-19 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： G01R33/343 文献下载
摘要：本发明公开了电子-核双共振谐振器，包括裂隙腔和细长导线；裂隙腔由若干个弧形导板构成，细长导线将弧形导体连接成射频线圈；裂隙腔谐振于电子共振频率，射频线圈谐振于原子核共振频率；使用裂隙腔结构能够促使电磁场的分离，保证谐振腔内部磁场与电场的比值最大化；使用细长导线是为了尽量使其不会影响裂隙腔的谐振频率及模式，同时又可利用裂隙腔的导体将其连接成射频线圈。本发明利用细长导线巧妙的将裂隙腔和射频线圈合二为一，在保证两个谐振模式效率的同时，大大简化了电子-核双共振谐振器的结构。
电子共振谐振器

[实用新型]一种核聚变装置的移动式射频辉光电极-CN201320620485.5有效
发明人：蔡潇;曹曾;黄向玫;崔成和 -专利权人：核工业西南物理研究院
申请日： 2013-10-09 - 公布日： 2014-04-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型属于一种核聚变装置真空室器壁处理装置，具体涉及一种核聚变装置的移动式射频辉光电极，它包括螺旋式射频电极、伸缩驱动机构，伸缩驱动机构上设有螺旋式射频电极。其优点是，射频电极采用碟形波纹管运动机构进行驱动，可根据实验要求方便快速调整电极位置。螺旋式结构电极工作在高频交变电场作用下，增加了电子与气体分子发生碰撞的几率增加，对清除真空室器壁表面的低质量数杂质效率更高。电极冷却采用了水冷结构，降低了电极因长时间使用发生变形的几率。
一种聚变装置移动式射频辉光电极

[发明专利]线型离子束缚装置及其阵列结构-CN201210090725.5有效
发明人：蒋公羽;孙文剑 -专利权人：岛津分析技术研发(上海)有限公司
申请日： 2012-03-30 - 公布日： 2013-10-23 - 主分类号： H01J49/42 文献下载
摘要：该线型离子束缚装置包含沿该线型离子束缚装置的中轴线两侧相对设置的一对沿轴向伸展的主射频电极，每一个主射频电极在垂直于该中轴线的各截平面上的截面图形，都对通过该中轴线的一主对称平面保持对称，其中该对主射频电极上附加的射频电压相位相同在至少一个主射频电极上设有离子引出槽。并且在该对主射频电极两侧设置至少一对辅助电极，这些辅助电极对偶于该主对称平面放置。其中至少一个辅助电极具有有限个对称平面，且各对称平面与该对主射频电极的对称平面之间存在一大于0度并小于90度的最小夹角。通过这种方式，离子束缚装置内的离子束缚射频电场的四极场成分可以得到加强。
线型离子束缚装置及其阵列结构

[发明专利]用于高速检测来自射频等离子体处理设备的射频信号的装置-CN202111581363.5在审
发明人： M·霍普金斯;P·斯卡林;J·列侬;T·吉尔摩 -专利权人：安平丹斯有限责任公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于监测从等离子体处理系统发出的电磁辐射的感测设备，该感测设备包括(i)用于检测时变射频电场的第一探头，(ii)用于检测时变射频磁场的第二探头，和(iii)用于检测调制光发射的光学探头；并且感测设备进一步包括信号处理单元
用于高速检测来自射频等离子体处理设备信号装置

[发明专利]检测用于射频应用的半导体基板的方法和装置-CN201380005587.9有效
发明人： F·阿利贝尔 -专利权人：苏泰克公司
申请日： 2013-01-15 - 公布日： 2017-03-01 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种对用于射频应用的半导体基板(1)进行检测的方法，其特征在于，测量所述基板的作为深度的函数的电阻率分布，并使用所述分布来计算由公式(I)限定的标准(I)，其中，D为积分深度，σ(x)为在基板的深度x处测量的电导率，L为基板中的电场的特征衰减长度。本发明还涉及—种对用于射频应用的半导体基板(1)进行选择的方法以及实施所述方法的装置。
检测用于射频应用半导体方法装置

[发明专利]一种三维各向异性射频大地电磁自适应有限元正演方法-CN201910457480.7有效
发明人：陈煌;任政勇;汤井田;杨智;周峰 -专利权人：中南大学
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： G01V3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维各向异性射频大地电磁自适应有限元正演方法，包括：构建表示求解区域的三维地电几何模型，并获取不同区域的控制参数；将三维地电几何模型剖分为若干个互不相交的四面体单元；获取三维各向异性射频大地电磁对应的积分弱形式，并构建稀疏线性方程组，再在地表引入两种不同极化方向的入射场获得两种稀疏线性方程组中的不同右端项，并求解所述两种稀疏线性方程组得到两种极化方向上的每条棱边上的近似电场切向分量；最后基于两种极化方向上每条棱边的近似电场切向分量获取测点处的电场
一种三维各向异性射频大地电磁自适应有限元方法

[实用新型]串联质谱的轴向加速碰撞池-CN202222694771.8有效
发明人：华道柱;王涛;方奕彪;张立琛;吉海泉 -专利权人：谱视科技（杭州）有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01J49/42 文献下载
摘要：本实用新型串联质谱的轴向加速碰撞池，包括绝缘外腔、碰撞气入口、轴向直流加速电场及电源模块，绝缘外腔的前端设有入口电极，后端设有出口电极；碰撞气入口设置在绝缘外腔或入口电极或出口电极上；轴向直流加速电场沿着碰撞池的轴向方向设置，且非均匀变化，其场强线性变小；电源模块提供直流电压及射频电压。本实用新型的碰撞池构建了非均匀的轴向加速直流电场，沿着碰撞池的轴向方向上，离子动能逐渐降低，加速电场场强逐渐降低，即整个轴向方向上离子被施加的电场和本身的动能匹配，确保离子传输效率相对提高。
串联轴向加速碰撞

[发明专利]用于组合消融模态的导管和系统-CN202310948832.5在审
发明人： T·夏尔马;A·戈瓦里;A·C·阿尔特曼;C·T·比克勒 -专利权人：伯恩森斯韦伯斯特（以色列）有限责任公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： A61B18/14 文献下载
摘要：该导管能够包括末端电极，该末端电极被控制以向生物组织发射脉冲电场或射频信号并且消融肺静脉的该生物组织的一个或多个位置。该处理器被配置为测量在脉冲电场消融期间由该末端电极相对于生物组织经受的接触力，以及确定作为所测量的接触力和该一个或多个位置中的每个位置的脉冲电场施加次数的函数的脉冲场消融指数，使得能够确定消融灶是否足够持久
用于组合消融导管系统

[发明专利]模块式射频感应电场粮库含水温度检测装置及方法-CN201510158618.5在审
发明人：孟敏 -专利权人：江苏麦赫物联网科技有限公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2015-06-17 - 主分类号： G01N22/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种含水温度检测装置及方法，尤其是一种模块式射频感应电场含水温度检测装置及方法，属于粮食含水率检测的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述模块式射频感应电场粮库含水温度检测装置，包括主模块以及用于引导进入粮库中粮食内的钻杆，所述主模块与钻杆间设置至少一个用于测量粮库内含水率以及温度值的从模块，从模块与主模块电连接
模块射频感应电场粮库含水温度检测装置方法

[发明专利]一种防爆型智能故障指示器-CN201811496178.4在审
发明人：徐世周;庞博;买凌云;夏雪;黄玥;马家赫;崔海洋;贾博爽 -专利权人：河南师范大学
申请日： 2018-12-07 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： G01R31/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种防爆型智能故障指示器，包括故障采集器、汇集单元和主站；故障采集器包括电流采集模块、备用电源、电源变换模块、电池电压采样及控制模块、电场采样模块、射频模块及电源控制、编程接口、保护、驱动、低功耗控制器、指示灯翻牌和复位控制模块及驱动电路；汇集单元包括太阳能电源及后备电源模块、射频通信、GPRS通信、加密、外部时钟单元、备用电源活化控制模块和外部存储功能模块；能够对配电线路故障中的相间短路故障、接地故障、瞬时性故障和永久性故障实现精准的判断，并将故障记录准确的上传至配网主站对故障精准定位分析，同时对故障发生时刻前后电流波形和对地电场电压波形上传主站供故障分析、反演及溯源。
备用电源故障采集控制模块智能故障防爆型指示器主站指示灯低功耗控制器电流采集模块电源变换模块故障发生时刻后备电源模块配电线路故障外部时钟单元瞬时性故障太阳能电源永久性故障电场编程接口采样模块电池电压电流波形电压波形电源控制对地电场复位控制故障分析故障记录接地故障精准定位驱动电路射频模块射频通信外部存储相间短路采样翻牌反演活化配网上传溯源加密驱动分析

[发明专利]射频横向双扩散场效应晶体管及其制造方法-CN201210509266.X在审
发明人：李娟娟;钱文生;韩峰;慈朋亮 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2012-12-03 - 公布日： 2014-06-11 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频横向双扩散场效应晶体管，包括P型衬底、在所述P型衬底上外延生长形成的P型外延层及位于P型外延层中离子注入形成的P阱，所述P阱用于形成沟道，所述在P型外延层中离子注入形成的P埋层。本发明所述的射频横向双扩散场效应晶体管可以有效的降低寄生双极晶体管的基区电阻，从而抑制其寄生双极晶体管导通。并且P埋层与P阱一起对轻掺杂的漂移区进行耗尽，使漂移区表面电场分部均匀，降低多晶硅栅靠近漏端边缘下方电场强度，从而抑制热载流子注入到栅靠近漏端边缘氧化层中。
射频横向扩散场效应晶体管及其制造方法

[发明专利]氮氧化硅薄膜的制造方法-CN202211187657.4在审
发明人：考可辰;谢威;张立 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H01L21/283 文献下载
摘要：步骤三、通过射频电场对氮气作用产生的氮等离子体，氮等离子体中的氮离子在射频电场的作用下通过扩散运动注入到二氧化硅层中形成氮氧化硅薄膜。
氧化薄膜制造方法

[发明专利]离子源及镀膜设备-CN202211360180.5在审
发明人：陈蓉;张殷;刘智山;孙紫娟 -专利权人：苏州岚创科技有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明涉及离子源及镀膜设备，离子源与具有第一真空度的真空室配合使用，离子源包括射频线圈及依次连通的进气管、放电室和等离子室，射频线圈套设于放电室外，用于在放电室内产生交变磁场和高频旋涡周向电场；放电室内的交变磁场和高频旋涡周向电场用于电离进气管输入的第一气体后形成电子与第一离子体
离子源镀膜设备

[发明专利]基于静电斥力的电容式射频MEMS开关-CN201410262526.7有效
发明人：李刚;李朋伟;胡杰;张文栋;桑胜波;郭兴军 -专利权人：太原理工大学
申请日： 2014-06-13 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明提出了一种基于静电斥力驱动的电容式RFMEMS开关，涉及微机电系统（MEMS）领域，特别是射频微机电开关（RFMEMS）的应用。该发明设计的射频微机电开关包括可动桥膜部分、固定驱动电极部分和传输线基底部分，工作时在固定驱动电极部分中两端固定电极上接电源正极，将在可动桥膜周围产生一个不均匀电场，此不均匀电场使得可动桥膜受力远离固定电极并向上移动
基于静电斥力电容射频 mems 开关