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[发明专利]自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工的装置-CN201310177071.4有效
发明人：王波;李娜;姚英学;李国;金会良;辛强;金江;李铎 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2013-05-14 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： B23K10/00 文献下载
摘要：自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工的装置，它属于等离子体加工大口径非球面光学零件的技术领域。它是为了解决高精度大口径非球面光学零件的加工效率和表面质量问题。它的五轴联动数控机床的绝缘工作架上安装有大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬；将待加工光学零件装卡在地电极上；大口径的等离子体炬或中口径的等离子体炬或小口径的等离子体炬分别对待加工光学零件待加工表面进行大气等离子体数控加工本发明能采用不同类型的等离子体炬进行大气等离子体加工。
自由曲面光学零件大气等离子体数控加工装置

[发明专利]大气压等离子体射流杀菌消毒装置及方法-CN202110615217.3在审
发明人：鲁志松;庞磊;乔琰 -专利权人：西南大学
申请日： 2021-06-02 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了大气压等离子体射流杀菌消毒装置及方法，该装置由大气压等离子体射流发生器和三维非平面基底组成，三维非平面基底上设有用于容纳待杀菌物体的凹坑，凹坑具有用于反射大气压等离子体射流的倾斜面，可使大气压等离子体射流反射不同角度，通过增加待杀菌物体表面的大气压等离子体射流暴露面积，从而增强等离子体对物体的杀菌效率。通过设计具有不同倾斜角度的凹坑构建不同类型的基底，可显著提升实际生活中大气压等离子体射流对不同物体的杀菌效率。本发明绿色环保，方便快捷、方法简单，在食品杀菌方面具有很大的应用潜力。
大气压等离子体射流杀菌消毒装置方法

[发明专利]加工工具中的集成大气等离子体处理站-CN202280005283.1在审
发明人：纳瓦尼塔·克里希南·苏巴扬;帕特里克·利特尔;丹尼尔·马克·丁南;尚蒂纳特·古艾迪 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：大气等离子体处理站集成在半导体加工工具中。大气等离子体处理站直接与半导体加工工具的沉积室相接，而不增加半导体加工工具的占地面积或形状因数。大气压等离子体处理站包括可移动的大气压等离子体源，例如用于扫描衬底表面的线性头。大气等离子体处理站在受控环境中提供封闭空间，非反应性气体流经该封闭空间。
加工工具中的集成大气等离子体处理

[发明专利]用于医疗器械灭菌设备中的大气等离子体灭菌器-CN201611267458.9在审
发明人：滕海燕 -专利权人：合肥优亿科机电科技有限公司
申请日： 2016-12-31 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： A61L2/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于医疗器械灭菌设备中的大气等离子体灭菌器，包括等离子体发生电源、等离子体喷射机头和安装件，该安装件为C字型，等离子体喷射机头与安装件的一端相连，等离子体喷射机头通过高压绝缘线缆与等离子体发生电源的一极连接，等离子体发生电源的另一极连接安装台；所述等离子体喷射机头由依次连接的喷嘴、机头外壳和后筒所形成的圆柱形壳体、其内部的等离子发生装置及两者之间的绝缘层构成，该后筒与等离子体灭菌器的安装件连接。本发明提供的用于医疗器械灭菌设备中的大气等离子体灭菌器，可以在大气状态下进行灭菌消毒，不需低气压环境，只要将医疗器械的被处理表面置于等离子体流的喷射之下即可完成消毒灭菌过程。
用于医疗器械灭菌设备中的大气等离子体

[发明专利]大气压等离子体装置-CN201880027449.3有效
发明人：金圣宁;姜信德 -专利权人：株式会社科比福来特
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于改善各种皮肤过敏问题或用于皮肤美容的等离子体装置，公开了一种等离子体喷涂装置独立地连接至主体控制器的远程等离子体装置。在室温下在大气压下产生等离子体。本公开的等离子体装置包括介电阻挡层，并且可以维持稳定的辉光放电。大气压等离子体通过接地电极喷射，因此对皮肤没有电刺激。
大气压等离子体装置

[发明专利]等离子体处理装置、半导体制造装置及半导体装置的制造方法-CN201810154971.X在审
发明人：吉水康人;安井祐之 -专利权人：东芝存储器株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2019-02-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种等离子体处理装置、半导体制造装置及半导体装置的制造方法。实施方式提供一种能够缓和在大气压下的环境中对被处理物的限制的等离子体处理装置、半导体制造装置及半导体装置。实施方式的等离子体处理装置具备：放电部，在大气压下生成等离子体；以及非金属管，能够供在所述放电部中生成的等离子体行进；且从所述管向大气压下的环境释放等离子体。
等离子体处理装置等离子体半导体制造装置半导体装置放电部被处理物非金属管环境释放制造行进缓和

[发明专利]利用大气压低温等离子体提高电容器储能密度的方法-CN201710370080.3有效
发明人：邵涛;王瑞雪;林浩凡;章程;张帅 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2017-05-23 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H01G4/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用大气压低温等离子体提高电容器储能密度的方法，包括：将待处理的电容器薄膜清洗、干燥；选定大气压低温等离子体产生设备，将所述电容器薄膜放置于大气压低温等离子体产生设备的等离子体产生区域；选定高压电源、前驱物和工作气体的种类，并调整放电参数和工作气体流速；进行等离子体沉积处理。本发明利用大气压低温等离子体处理电容器薄膜，电容器薄膜表面击穿场强可提高17％及以上,储能密度提高23％及以上。
利用大气压低温等离子体提高电容器密度方法

[发明专利]大气常压低温等离子体镀制抗刮疏水层的方法-CN201910599547.0在审
发明人：林永森 -专利权人：逢甲大学
申请日： 2019-07-02 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种大气常压低温(非平衡)等离子体镀制抗刮疏水层的方法，其步骤包含：将一物体表面进行大气常压低温等离子体表面预处理；通入一压缩空气于一等离子体头中，通过该等离子体头的该压缩空气经常压等离子体源产生等离子体喷流并通入一有机含氟的气体或液体及/或一有机含碳硅烷的气体或液体，使抗刮疏水层形成于该物体表面；再以大气常压低温等离子体进行后处理加工；本发明利用大气常压低温等离子体处理使抗刮疏水层得牢固地附着于物体表面不易被刮除或损坏，且大气常压低温等离子体技术可大幅降低制造成本
大气常压低温等离子体镀制抗刮疏水方法

[发明专利]一种针对半球陀螺质量调平的等离子体加工装置及方法-CN202311045274.8在审
发明人：王波;金宇安;张炳才;高明洋;吴开济 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B23K10/00 文献下载
摘要：区别于激光质量调平和离子束加工质量调平，大气等离子体加工是一种基于化学反应的加工方法，具有加工确定性强、效率高、成本低，不会对工件表面造成亚表面损伤等优点。大气等离子体加工是一种很有前景的对半球谐振陀螺进行质量调平的方法。本发明的加工装置包括五轴龙门机床、大气等离子体发生装置、大气等离子体炬、可调载物平台组成，其中五轴龙门机床用于满足加工工具的运动要求，大气等离子体发生装置和大气等离子体炬(CCP或ICP)用于对半球谐振子进行加工
一种针对半球陀螺质量等离子体加工装置方法

[发明专利]用于大气环境下电子束等离子体的诊断探针及诊断方法-CN201010620044.6有效
发明人：余虔;谭畅;邓永锋 -专利权人：中国航天科技集团公司第六研究院第十一研究所
申请日： 2010-12-31 - 公布日： 2011-07-27 - 主分类号： G01T1/29 文献下载
摘要：本发明涉及用于大气环境下电子束等离子体的诊断探针及诊断方法，其中诊断探针，包括朗缪尔探针，其特征在于：还包括设置在朗缪尔探针表面的氮化钛薄膜。本发明克服现有等离子体诊断技术在大气环境下难以准确、可靠获得电子束等离子体特性的难题，提供一种用于大气环境下电子束等离子体的诊断探针及诊断方法，可以在大气环境下对任意区间的高能电子束流进行测量，并获得电子能谱，从而实现等离子体的特性诊断。
用于大气环境电子束等离子体诊断探针方法

[发明专利]利用大气压放电冷等离子体提高酶的活性的方法-CN200910237616.X有效
发明人：李和平;王立言;李果;邢新会;乐沛思;包成玉;冯权 -专利权人：清华大学;北京思清源生物科技有限公司
申请日： 2009-11-13 - 公布日： 2010-05-05 - 主分类号： C12N9/20 文献下载
摘要：利用大气压放电的冷等离子体发生器提高酶的活性的方法，属于冷等离子体技术应用领域，其特征在于，依次含有以下步骤：制备酶溶液、选择大气压放电的冷等离子体发生器的种类并设定工作参数，用大气压放电的冷等离子体处理所述酶溶液
利用大气压放电等离子体提高活性方法

[发明专利]大气压等离子体装置-CN201780089227.X有效
发明人：神藤高广;池户俊之;丹羽阳大 -专利权人：株式会社富士
申请日： 2017-04-04 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H05H1/00 文献下载
摘要：本发明谋求一种通过压力传感器来检测气体配管内的压力并通过判断部根据气体配管内的压力偏离标准值的情况来判断装置的状态的有用的大气压等离子体装置。提供一种大气压等离子体装置，该大气压等离子体装置具备：等离子体照射头；气体配管，向等离子体照射头供给气体；流量控制计，控制向气体配管供给的气体的流量；压力传感器，配设于流量控制计的下游侧X，检测气体配管内的压力由此，能够判断大气压等离子体装置的气体泄漏。另外，能够判断是否以良好的状态产生了等离子体。
大气压等离子体装置

[发明专利]大气压介质阻挡放电等离子体枪-CN02159260.8无效
发明人：葛袁静;张广秋;张跃飞;何整风 -专利权人：北京印刷学院;北京东方盖德真空技术有限公司
申请日： 2002-12-30 - 公布日： 2003-05-07 - 主分类号： H05H1/34 文献下载
摘要：大气压介质阻挡放电等离子体枪属于等离子体应用技术领域，解决现有技术中等离子体宏观温度高，以及普通平板型电极大气压介质阻挡放电等离子体源在应用范围中存在的局限性；结构为具有枪架(1)、呈空心管状的电介质(5)，紧贴在空心管状电介质(5)外侧壁上的外电极(3)，及位于电介质(5)空心(6)内的内电极(4)，空心(6)一端有绝缘堵头(10)兼内电极(4)的定位架，流动的工作气体(7)放电产生等离子体(12)，由空心(6)的开口端(13)喷出，形成等离子体炬(14)；有益之处为使大气压介质阻挡放电等离子体向空间延伸、开放，喷出的等离子体宏观温度为常温，等离子体矩(14)可有多种形状，进一步拓宽了等离子体技术的应用范围
大气压介质阻挡放电等离子体

[实用新型]一种防止太阳能电池片切割损伤的装置-CN201922501746.1有效
发明人：王涛;丁士引;杨蕾;余波 -专利权人：通威太阳能（合肥）有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型的太阳能电池片切割损伤的装置，包括大气压微等离子体发生器、电源、等离子体气源和承载台，等离子体气源内储存用于电离为等离子的气体，电源提供电离的电压，气体在大气压微等离子体发生器内电离为等离子体，大气压微等离子体发生器组成多组的大气压微等离子体发生器阵列；承载台用于放置电池片。本实用新型可实现在硅太阳能电池片的切割过程后用等离子体进行切割位置的钝化，减少了电池片的切割损伤，防止功率的损失，同时可以保护断面，减少漏电风险，能提高切片组件的安全性，还可以对切割粉尘进行吹扫。
一种防止太阳能电池切割损伤装置

[发明专利]CVD装置以及CVD膜的制造方法-CN201280027217.0有效
发明人：楠原昌树 -专利权人：株式会社和广武
申请日： 2012-05-31 - 公布日： 2018-04-10 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：现有技术中，在太阳电池的抗反射膜中使用减压等离子体CVD形成的氮化膜。但是，在减压程序时，因为设备成本与过程成本高，所以很难降低太阳电池的制造成本。经由介电质构件施加电场或磁场产生等离子体的等离子体头多个并排设置，以此形成利用介电质阻挡放电造成的大气压等离子体CVD而形成氮化膜。利用介电放电，即使大气压也可形成稳定的辉光放电等离子体，从相邻的等离子体吹出口产生不同的等离子体，通过产生反应，可以在大气压下形成氮化膜，可实现太阳电池的低成本制造。
cvd 装置以及制造方法