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- [实用新型]一种用于识别焊垫的器件结构-CN201420815870.X有效
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李英伟;高健
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中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
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2014-12-18
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2015-04-08
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H01L23/58
- 本实用新型提供一种用于识别焊垫的器件结构,至少包括:金属互连层和位于其上的顶层介质层;该金属互连层由若干相互堆叠的介质层和嵌于每一介质层中的金属组成;位于所述顶层介质层中且穿透其上下表面的顶层金属结构;所述顶层金属结构包括上表面位于同一水平面内的第一、第二金属结构;该第二金属结构位于第一金属结构两侧;所述第二金属结构与位于其下方的介质层中的金属连接;所述顶层介质层之上设有钝化层;所述钝化层设有完全暴露出第一金属结构上表面的凹槽本实用新型的器件结构中的所述第一金属结构使得金属焊垫在光学显微镜下的亮度提高,并能有效分辨出用于引线的金属焊垫来提高产品的良率。
- 一种用于识别器件结构
- [发明专利]金属间介质层及其制造方法及半导体器件-CN202010289992.X在审
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冯冰;张建栋
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无锡华润上华科技有限公司
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2020-04-14
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2021-10-22
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H01L21/48
- 本发明涉及一种金属间介质层及其制造方法及半导体器件,所述金属间介质层的制造方法包括:获取形成有金属结构的基底结构,金属结构的表面被SRO层覆盖;在金属结构侧壁的SRO层表面形成具有压应力的氮化硅层;填充含氟硅玻璃使其覆盖金属结构、SRO层及氮化硅层作为金属间介质层。本发明在SRO层与含氟硅玻璃之间设置一氮化硅层,由于该氮化硅层具有压应力,因此能够抑制热过程造成的金属结构微观形变(金属结构的膨胀系数比含氟硅玻璃的膨胀系数大,所以在温度变化过程中金属结构微观形变量大)进一步地,由于氮化硅的强度较大,因此新增的氮化硅层能够防止金属结构形变造成SRO层断裂,避免后续含氟硅玻璃中游离的氟离子进入并腐蚀金属结构造成空洞。
- 金属介质及其制造方法半导体器件
- [发明专利]真木镶金属结构及其的制作方法-CN202111026549.4在审
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苏建加;杨桂响
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昆山金运新材料科技有限公司
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2021-09-02
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2021-12-14
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B44C5/00
- 本发明公开了一种真木镶金属结构及其的制作方法,真木镶金属结构,包括具有上下贯穿的镶嵌口的加强基体、固定复合于加强基体上的真木木皮和固定镶嵌于镶嵌口内的金属件,真木木皮上设有镂空图案,金属件上设有凸起图案,凸起图案对齐嵌设于镂空图案内,其制作方法为先将真木木皮固定于加强基体上表面,然后在真木木皮上激光雕刻镂空图案,制作金属件并在金属件上端加工凸起图案,给加强基底镶嵌口内侧壁和真木木皮底面刷胶后,将金属件插入镶嵌口内粘牢,最后去除残胶,本发明实现了真木内饰镶嵌金属结构,且金属件在真木内饰中的镶嵌牢固,大大提升了汽车内饰整体美观性。
- 镶金结构及其制作方法
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