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- [实用新型]多参量声表面波传感器-CN202320196029.6有效
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张建;毛兴;高兴琼;张方荣;尹娟
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成都高斯电子技术有限公司
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2023-02-13
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2023-08-08
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G01D21/02
- 本实用新型提供了一种多参量声表面波传感器,包括主基板,主基板上设置有通信接口、声表面波谐振器和单基片多参量声表面波传感器,通信接口、声表面波谐振器、单基片多参量声表面波传感器并联,单基片多参量声表面波传感器包括基片,基片上设置有主叉指电极,主叉指电极的第一侧设置有阻抗测试叉指电极和/或温度测试反射珊,主叉指电极的第二侧设置有多个气体组分测试子叉指电极和气体组分参考校准叉指电极。本实用新型将阻抗测试叉指电极、温度测试反射珊与气体组分测试子叉指电极分别设置到主叉指电极的两侧,且在两侧呈非对称结构,在声表面波时域反射上属于不交叉无混叠的结构,因此可以高精度的区分出多参数测量问题。
- 参量表面波传感器
- [发明专利]一种声表面波温湿度传感器-CN201810399536.3有效
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赵一宇;刘宇鹏;张志彦
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北京机械设备研究所
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2018-04-28
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2020-09-25
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G01D21/02
- 本发明涉及一种声表面波温湿度传感器,属于温度、湿度测试领域,解决了现有传感器不能同时测量温度、湿度,而且不能再多个传感器情况下实现传感器信号区分的问题。一种声表面波温湿度传感器,温湿度传感器通过设置在延迟线上的叉指换能器进行声表面波和电磁波的相互转换,并通过声表面波在延迟线上传播时间差来计算得出温度和湿度。本发明通过无线方式测量温湿度信息,减少了复杂布线的后期维护;本发明的传感器器件本身是无源器件,使用寿命没有电池电源限制,适用于密闭、高速旋转等极端条件;本发明的传感器本身集成编码信息,可方便得到监测点与监测信息的对应关系
- 一种表面波温湿度传感器
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