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- [实用新型]一种化学液处理回收装置-CN202022586253.5有效
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徐权锋
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芯米(厦门)半导体设备有限公司
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2020-11-10
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2021-11-05
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B01D29/50
- 一种化学液处理回收装置,包括预处理罐、进液装置、导管、泵体、第一输送管、第一容器、第二容器、第一滤网、回收池、罐盖、连接件、卡块和导流板,所述预处理罐顶端设置有进液装置,预处理罐右侧设置有导管,所述导管上设置有泵体,导管一端与预处理器相通,另一端设置有三通管,所述三通管一端设置有第一输送管,所述第一输送管上设置有第一止回阀,所述三通管另一端设置有第二输送管,第二输送管与第二容器相通,本实用新型的化学液处理回收装置,可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理,并且在整个处理过程中,化学液均处于密封状态的情况下进行回收,很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问。
- 一种化学处理回收装置
- [实用新型]半导体基板烘烤装置-CN202022586357.6有效
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徐权锋
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芯米(厦门)半导体设备有限公司
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2020-11-10
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2021-08-31
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H01L21/67
- 本实用新型涉及半导体领域,具体为一种半导体基板烘烤装置,包括箱体,所述箱体包括烘烤槽、烘烤板、基板固定装置、门板、烘烤机以及转动机,所述烘烤槽位于箱体内部,且所述烘烤槽设有多个,所述烘烤板设置在箱体内部,且位于烘烤槽的上端以及下端,所述转动机安装在箱体的外侧,且转动机位于烘烤槽的外侧,所述转动机设有多个,所述转动机上设有转动轴,所述转动轴贯穿箱体伸入烘烤槽内,所述基板固定装置安装在转动轴伸入烘烤槽内的一端,所述基板烘烤槽内设有安装槽,箱体的底部设有安装箱,所述烘烤机安装在安装箱内,所述烘烤板内设有烘烤管,所述烘烤机与烘烤管之间设有导热管连接,所述导热管上设有调温块。
- 半导体烘烤装置
- [发明专利]一种化学液处理回收装置-CN202011248895.2在审
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徐权锋
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芯米(厦门)半导体设备有限公司
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2020-11-10
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2021-03-16
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B01D29/50
- 一种化学液处理回收装置,包括预处理罐、进液装置、导管、泵体、第一输送管、第一容器、第二容器、第一滤网、回收池、罐盖、连接件、卡块和导流板,所述预处理罐顶端设置有进液装置,预处理罐右侧设置有导管,所述导管上设置有泵体,导管一端与预处理器相通,另一端设置有三通管,所述三通管一端设置有第一输送管,所述第一输送管上设置有第一止回阀,所述三通管另一端设置有第二输送管,第二输送管与第二容器相通,本发明的化学液处理回收装置,可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理,并且在整个处理过程中,化学液均处于密封状态的情况下进行回收,很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问。
- 一种化学处理回收装置
- [发明专利]半导体基板烘烤装置-CN202011246618.8在审
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徐权锋
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芯米(厦门)半导体设备有限公司
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2020-11-10
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2021-02-26
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H01L21/67
- 本发明涉及半导体领域,具体为一种半导体基板烘烤装置,包括箱体,所述箱体包括烘烤槽、烘烤板、基板固定装置、门板、烘烤机以及转动机,所述烘烤槽位于箱体内部,且所述烘烤槽设有多个,所述烘烤板设置在箱体箱体内部,且位于烘烤槽的上端以及下端,所述转动机安装在箱体的外侧,且转动机位于烘烤槽的外侧,所述转动机设有多个,所述转动机上设有转动轴,所述转动轴贯穿箱体伸入烘烤槽内,所述基板固定装置安装在转动轴伸入烘烤槽内的一端,所述基板烘烤槽内设有安装槽,箱体的底部设有安装箱,所述烘烤机安装在安装箱内,所述烘烤板内设有烘烤管,所述烘烤机与烘烤管之间设有导热管连接,所述导热管上设有调温块。
- 半导体烘烤装置
- [实用新型]一种晶圆对中机构-CN202021184582.0有效
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徐权锋
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芯米(厦门)半导体设备有限公司
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2020-06-23
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2021-01-19
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种晶圆对中机构,包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件,本实用新型通过优化设置了调控组件,利用外置控制把、转动盘简易控制传递杆位置,使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯上阻隔件位置变动,结构简单,高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径,使用效果好;通过优化设置了遮控组环件,简易的第一半环、阻隔环片配合结构在L架片被带动转动,能够利用简易的第一半环、第二半环配合阻隔局部光源向上传递,内部配合结构配合效果好。
- 一种机构
- [实用新型]一种承载晶圆的防翘曲装置-CN202021185088.6有效
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徐权锋
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芯米(厦门)半导体设备有限公司
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2020-06-23
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2021-01-19
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一种承载晶圆的防翘曲装置,其结构包括晶圆盒、凹槽、放置槽、底板、通槽和调节定位装置,本实用新型通过将调节定位装置设置于通槽内侧中部,便可通过第一旋钮带动第一螺纹杆在螺纹座上进行转动,使得连接座上的固定夹沿着限位座进行前后滑动,实现对固定的直径距离进行调节,再对活动夹沿着横杆上的滑槽上进行左右滑动,并且通过第二旋钮带动第二螺纹杆进行螺纹固定,实现对固定的左右间距进行调节,便于调节,固定性强,通过横杆前端中部设置有限位槽,并且限位槽内径表面与活动夹进行滑动配合,便于进行限位滑动,保证滑动的稳定性。
- 一种承载防翘曲装置
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