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- [发明专利]曝光方法和工具-CN200680009658.2无效
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N·赛克斯;R·阿洛特
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奥尔利康巴尔策斯涂料(英国)有限公司
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2006-01-30
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2008-04-23
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G03F7/20
- ,包括步骤:将抗蚀剂涂敷在待处理基板的表面上;在所涂敷的抗蚀剂上压印通过将其暴露于紫外(UV)光束而形成的图案,致使该紫外光穿过描绘该图案的合适掩模并随后穿过聚焦透镜到该抗蚀剂上,从而引起该抗蚀剂中的化学变化,其中该化学变化使得该抗蚀剂更多或更少溶解于合适的显影溶液;该压印步骤实施如下:在重复的一系列离散曝光步骤中,使用仅代表基板总面积的小区域且相对于该光束和透镜保持静止的掩模,并在每个步骤使用紫外辐射的单一短脉冲来照射该掩模从而形成包括多个像素的完整结构;使用显影剂处理该曝光的抗蚀剂以致使曝光区域(对于正抗蚀剂)或未曝光区域(对于负抗蚀剂)溶解,且随后通过显影剂溶液将其清洗掉以展现由剩余抗蚀剂形成的图案;使用除去无抗蚀剂区域内的基板的合适化学蚀刻溶液
- 曝光方法工具
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