专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种工件台质量测校方法-CN201110193001.9有效
  • 吴立伟;董俊清 - 上海微电子装备有限公司
  • 2011-07-11 - 2013-01-16 - G01G19/00
  • 一种工件台质量测校方法,包括设定工件台的设定加速度、工件台与平衡质量的设定质量比,规划工件台的匀加速运动轨迹;闭环控制工件台和平衡质量,工件台根据规划的匀加速运动规划轨迹做匀加速运动,平衡质量受到工件台的作用力相应做匀加速运动;根据工件台的光栅尺闭环计算获得工件台相对于平衡质量的加速度,根据平衡质量做匀加速运动时的平衡质量控制器输出力计算获得平衡质量的加速度偏差;根据平衡质量的加速度偏差、工件台的设定加速度、工件台与平衡质量的设定质量比、平衡质量的质量及工件台相对于平衡质量的加速度计算获得工件台和平衡质量的实际质量比、工件台的质量。
  • 一种工件质量校方
  • [发明专利]光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质-CN202010152302.6有效
  • 贾松涛;李猛 - 固高科技股份有限公司
  • 2020-03-06 - 2023-04-04 - G03F7/20
  • 本申请涉及一种光刻机运动轨迹规划方法、装置、计算机设备和存储介质。方法包括:获取预设运动轨迹的预设规划值和约束条件;根据预设规划值和三阶扫描运动轨迹轮廓,确定预设运动轨迹中加加速度的初始时长;三阶扫描阶段轨迹轮廓包括加加速运动阶段、匀加速运动阶段、减加速运动阶段和匀速运动阶段;根据约束条件对初始时长进行处理,得到预设运动轨迹中加加速度的目标时长;根据目标时长和三阶扫描运动轨迹轮廓中加加速度与时间的初始函数关系,确定加加速度与时间的目标函数关系式;通过计算目标函数关系式的三重积分,确定预设运动轨迹的位移随时间变化的曲线。采用本方法能够提高光刻机的运动精度以及光刻精度。
  • 光刻机运轨迹规划方法装置计算机设备存储介质
  • [发明专利]一种飞秒激光激活有益细菌加速运动的装置-CN201711465286.0在审
  • 林建宝 - 漳浦县建金智能科技有限公司
  • 2017-12-28 - 2018-04-13 - C12M1/42
  • 本发明提供了一种飞秒激光激活有益细菌加速运动的装置,属于细菌激活装置技术领域,包括箱体,箱体为矩形结构,箱体内部设有细菌盛放机构、细菌照射机构和细菌旋转加速运动机构,细菌旋转加速运动机构位于箱体的底部,细菌照射机构位于箱体的上部,所述细菌盛放机构包括内筒,内筒带有转轴,转轴上设有盛放盘,盛放盘上设有多个细菌瓶,细菌瓶均匀布置,照射盘的底部设有多个激光发射器,所述激光发射器与所述细菌瓶可以相互对正,所述细菌旋转加速运动机构为用于驱动转轴转动的驱动机构该装置能够实现对不同种类的细菌进行不同波长的激光照射,利于激活,并且可加速实现细菌的运动,有利于激活。
  • 一种激光激活有益细菌加速运动装置

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