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[发明专利]一种耐高温线烧蚀量测量装置及飞行器表面结构-CN202010882461.1在审
发明人：刘丽娟;宋逍潇;梁添勇 -专利权人：北京千河空间科技有限公司
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B64G1/66 文献下载
摘要：本发明提供了一种耐高温线烧蚀量测量装置，包括：监测元件和烧蚀元件，所述监测元件用于测量线烧蚀量，所述烧蚀元件包括第一烧蚀件和第二烧蚀件，所述监测元件设置在所述第一烧蚀件和第二烧蚀件之间，一侧与所述第一烧蚀件相连接，另一侧与所述第二烧蚀件相连接。所述监测元件设置在所述第一烧蚀件和第二烧蚀件之间，一方面避免了将监测元件暴露在测量装置外侧，导致监测元件自身烧蚀过快影响监测精确度；另一方面，将监测元件设置于所述烧蚀元件中间，为监测元件提供保护，保证监测元件的运行本发明提供了一种飞行器表面结构，包括上述的耐高温线烧蚀量测量装置，所述耐高温线烧蚀量测量装置设置于所述飞行器表面结构内部，提高测量精确度。
一种耐高温线烧蚀量测量装置飞行器表面结构

[发明专利]用于制备光致抗蚀剂图案的方法-CN201010517468.X无效
发明人：畑光宏;桥本和彦 -专利权人：住友化学株式会社
申请日： 2010-10-19 - 公布日： 2011-05-04 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供用于制备光致抗蚀剂图案的方法，所述方法包括步骤(1)至(11)：(1)在基底上涂覆第一光致抗蚀剂组合物，接着进行干燥，由此形成第一光致抗蚀剂膜，(2)预焙烘第一光致抗蚀剂膜，(3)将预烘焙的第一光致抗蚀剂膜曝光于辐射，(4)烘焙曝光的第一光致抗蚀剂膜，(5)用第一碱性显影液将烘焙的第一光致抗蚀剂膜显影，由此形成第一光致抗蚀剂图案，(6)在第一光致抗蚀剂图案上形成涂层，(7)在涂层上涂覆第二光致抗蚀剂组合物，接着进行干燥，由此形成第二光致抗蚀剂膜，(8)预焙烘第二光致抗蚀剂膜，(9)将预烘焙的第二光致抗蚀剂膜曝光于辐射，(10)烘焙曝光的第二光致抗蚀剂膜，和(11)用第二碱性显影液将烘焙的第二光致抗蚀剂膜显影，由此形成第二光致抗蚀剂图案
用于制备光致抗蚀剂图案方法

[发明专利]制造半导体器件的方法及图案形成方法-CN201010219713.9无效
发明人：宫本宏之 -专利权人：索尼公司
申请日： 2010-06-29 - 公布日： 2011-01-12 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：制造半导体器件的方法包括：第一抗蚀剂膜形成工艺，使用正型光致抗蚀剂材料在处理的目标表面上形成第一抗蚀剂膜；第一抗蚀剂图案形成工艺，在曝光之后进行显影而形成第一抗蚀剂图案，在曝光中曝光光照射到第一抗蚀剂膜上；第二抗蚀剂膜形成工艺，使用光致抗蚀剂材料在形成有第一抗蚀剂图案的处理的目标表面上形成第二抗蚀剂膜；以及第二抗蚀剂图案形成工艺，通过进行曝光并然后进行显影来形成第二抗蚀剂图案，在曝光中曝光的光照射到第二抗蚀剂膜上该方法还包括不溶解化处理工艺，用于使第一抗蚀剂图案不溶解于第二抗蚀剂图案形成工艺中使用的显影剂和光致抗蚀剂材料的溶剂。
制造半导体器件方法图案形成

[发明专利]一种含铜微蚀废液回收装置与方法-CN201410145030.1在审
发明人：胡庶鼎 -专利权人：清英实业有限公司
申请日： 2014-04-11 - 公布日： 2015-10-14 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本发明公开一种含铜微蚀废液回收装置，包括:一微蚀废液储存槽，用于储存含铜微蚀废液；一马达，用于驱动含铜微蚀废液；一电解槽，其经由一配管连接至该微蚀废液储存槽，用于将该含铜微蚀废液电解以析出铜；一微蚀药水感测器，其连接至该微蚀废液储存槽，用于感测该含铜微蚀废液的浓度。本发明也公开了一种含铜微蚀废液回收方法。本发明含铜微蚀废液回收装置与方法可以达成从微蚀废液回收铜作业自动化的目的，其中含铜微蚀废液浓度的感测与微蚀药水添加完全自动化，在整个铜回收过程中无须人为介入，可节省人工，并提升回收作业效率与准确度。借助此种设计，此含铜微蚀废液可以循环重复使用不必排出，不会造成环境污染。
一种含铜微蚀废液回收装置方法

[发明专利]抗蚀剂膜的形成方法及抗蚀剂膜-CN202210628366.8在审
发明人：池田梢 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明涉及抗蚀剂膜的形成方法及抗蚀剂膜，所述抗蚀剂膜通过上述抗蚀剂膜的形成方法形成。上述抗蚀剂膜的形成方法使用了在常温下高粘度且因加热而上述粘度降低的抗蚀剂，上述抗蚀剂膜的形成方法能够形成膜厚为300μm以上且面内膜厚变动在10％以内的抗蚀剂膜。上述抗蚀剂膜的形成方法包括：工序A，在基材上赋予23℃下的粘度为1000mPa·s～30000mPa·s的抗蚀剂，从而形成上述抗蚀剂膜；工序B，对配置在由限制上述抗蚀剂流出的限制部件包围的区域内的上述抗蚀剂膜进行热处理；及工序C，隔着片材对配置在通过设置将上述抗蚀剂膜调整为所期望厚度的调整部件而形成的区域内的、上述热处理后的上述抗蚀剂膜进行热压。
抗蚀剂膜形成方法

[发明专利]一种基于超景深显微镜的点蚀评价方法-CN202211676285.1在审
发明人：董彩常;吴凯进;高荣杰;杨万国;孙丹丹;亓云飞 -专利权人：青岛钢研纳克检测防护技术有限公司;中国海洋大学
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于超景深显微镜的点蚀评价方法，包括：采用vhx7000超景深显微镜的3D拼接功能进行矩形范围拼接，采集材料试样在多视场中的点蚀坑的深度特征；在3D显示中选择标尺，通过长宽数值计算矩形测量总面积；根据单一视场的最大点蚀深度的标准偏差，确定单一视场的最大点蚀深度，对比后筛选出材料试样中的最大的最大点蚀深度；采集不同深度的基准面下点蚀坑的截面面积和数量；引入点蚀深度权重参量，提出点蚀倾向和点蚀程度的表达式，评价点蚀情况。本发明使用vhx7000超景深显微镜多视场采集不同深度基准面下的点蚀坑数据，进而使用点蚀倾向和点蚀程度的表达式计算，更好地反映试样的点蚀情况，实现点蚀评价的量化表述。
一种基于景深显微镜评价方法

[发明专利]惰性硅铝质物料的热液蚀变预处理工艺-CN200810224502.7有效
发明人：孙恒虎;倪文;易忠来;郑永超;魏秀泉;王海霞;徐维瑞;厉超 -专利权人：清华大学;北京科技大学
申请日： 2008-10-17 - 公布日： 2009-03-25 - 主分类号： C04B7/14 文献下载
摘要：本发明公开了属于固体废弃物处理和废弃物利用工艺领域的的一种惰性硅铝质物料的热液蚀变预处理工艺，以惰性硅铝质物料为原料，采用热液蚀变方法制备出具有较高胶凝活性的蚀变物料，蚀变反应的物料由稳流仓供给，物料经过两级或多级预热器加热后进入蚀变反应器进行热液蚀变，得到粉状蚀变料和过烧粘结成块的块状蚀变料，蚀变料随着烟气进入旋风分离器，分离后的粉状蚀变物料进入冷却系统，最后蚀变料细粉进入成品库；块状蚀变料与炉渣一同排出。蚀变反应器由沸腾炉或回转窑担任。本工艺能够满足不同惰性硅铝质物料的蚀变条件，生产的蚀变料可用于制备水泥、混凝土和墙体材料，适用于规模化生产工艺，工艺具有很好的经济和社会效益。
惰性硅铝质物料热液预处理工艺

[实用新型]一种含铜微蚀废液回收装置-CN201420175781.3有效
发明人：胡庶鼎 -专利权人：清英实业有限公司
申请日： 2014-04-11 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型揭示一种含铜微蚀废液回收装置，包括:一微蚀废液储存槽，用于储存含铜微蚀废液；一马达，用于驱动含铜微蚀废液；一电解槽，其经由一配管连接至该微蚀废液储存槽，用于将该含铜微蚀废液电解以析出铜；一微蚀药水感测器，其连接至该微蚀废液储存槽，用于感测该含铜微蚀废液的浓度；一微蚀药水剂含量控制器(微处理器)，其连接该微蚀药水感测器，以接受并判断该浓度是否低于一预设临界值。本实用新型含铜微蚀废液回收装置可以达成从微蚀废液回收铜作业自动化的目的，其中含铜微蚀废液浓度的感测与微蚀药水添加完全自动化，在整个铜回收过程中无须人为介入，可节省人工，并提升回收作业效率与准确度。
一种含铜微蚀废液回收装置

[实用新型]一种回收废铜的微蚀设备的微蚀液循环装置-CN202120383352.5有效
发明人：戴春元 -专利权人：昆山市惠盛实业有限公司
申请日： 2021-02-20 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种回收废铜的微蚀设备的微蚀液循环装置，包括微蚀废液存储箱、微蚀废液箱、微蚀废液再生槽、电解槽和过滤箱，所述微蚀废液箱的一侧设有微蚀废液存储箱，所述微蚀废液存储箱与微蚀废液箱通过第一输液管连通，所述微蚀废液存储箱通过第二输液管与电解槽连接，所述微蚀废液箱的外部位于底端位置安装有第二水泵，第二水泵的上方连接有进水管，进水管的右侧连接有过滤箱，过滤箱的内部靠近上方位置设置有活性炭过滤板，活性炭过滤板的下方设置有石英砂过滤板，过滤箱的底端位于右侧通过连接槽连接有微蚀废液再生槽，微蚀废液再生槽的底端通过连接口连接有电解槽；本实用新型实现微蚀废液的循环利用，提高利用微蚀废液的利用率。
一种回收设备微蚀液循环装置

[发明专利]一种花岗岩蚀变分带的地球化学判别方法-CN201710474613.2在审
发明人：黄志全;任明浩;李建勇;董金玉;吴琦;于怀昌;崔江利;袁广祥 -专利权人：华北水利水电大学
申请日： 2017-06-21 - 公布日： 2017-09-08 - 主分类号： G01N21/84 文献下载
摘要：一种花岗岩蚀变分带的地球化学判别方法1.测试范围与采样点确定确定不同蚀变程度岩体的采样点位置；在测试点处标记位置并采集岩石样品，用于地球化学分析；2.岩石样品分析测试分别对岩石样品的矿物主量元素含量、全岩主量元素含量和全岩微量元素含量分析测试；观察是否存在矿物蚀变，初步判定蚀变矿物类型和蚀变程度；3.岩体蚀变程度分析，确定蚀变岩蚀变类型和程度，作为岩体蚀变程度的评价依据；4.岩体蚀变分带判别，确定岩体蚀变分带判别准则；依据定量评价指标，对岩体蚀变程度进行定量评价；根据分带判别准则，对岩体进行蚀变分带判别。本发明首次将地球化学数据引入到岩体蚀变分带判别中，测试手段先进，判别方法更具新颖性。
一种花岗岩分带地球化学判别方法

[发明专利]金相试样自动擦蚀机-CN201811542017.4在审
发明人：袁野;范绍华;周希 -专利权人：中核建中核燃料元件有限公司
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01N1/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种金相试样自动擦蚀机，它包括进样槽，进样槽内设有进样推杆，进样推杆穿过进样槽并与进样槽外部的进样推杆驱动电机连接，进样槽与擦蚀槽连接，擦蚀槽内安装有擦蚀推杆，擦蚀推杆与设置在擦蚀槽外的擦蚀推杆驱动电机连接，擦蚀槽还与样滑槽连接，样滑槽安装在储样槽内，储样槽上还开有储样槽溢水孔，储样槽还与出样推杆连接，出样推杆与出样推杆驱动电机连接，擦蚀槽上安装有盖板，盖板上安装有擦蚀头，擦蚀头与擦蚀头驱动电机连接，擦蚀头上设置有擦蚀液接口
金相试样自动擦蚀机

[发明专利]一种计算钝化金属极化腐蚀后表面点蚀坑直径分布的方法-CN202210420270.2在审
发明人：罗开玉;杨志祥;鲁金忠 -专利权人：江苏大学
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G06V20/69 文献下载
摘要：本发明涉及一种计算钝化金属极化腐蚀后表面点蚀坑直径分布的方法。首先，对电镜扫描原始图像进行人工标注，形成点蚀坑图像数据集，并进行点蚀坑图像分割网络训练；利用训练好的点蚀坑图像分割模型定位并提取点蚀坑信息；对提取出的点蚀坑进行分类；利用像素点计算每个A类独立点蚀坑面积，并将其等效为等面积圆，等效圆直径即为A类独立点蚀坑等效直径；提取B类复合点蚀簇轮廓，并将其拟合成多段光滑弧线，再将弧线拟合成封闭曲线，计算B类复合点蚀簇中每个组成点蚀坑的等效直径；最后对所有点蚀坑等效直径进行统计，得出点蚀坑直径分布直方图。本发明时间短、精度高，为后续金属耐点蚀性评估提供有效依据，具有重要的研究和应用价值。
一种计算钝化金属极化腐蚀表面点蚀坑直径分布方法

[发明专利]抗蚀剂组合物、形成抗蚀剂图案的方法、半导体器件及其制造方法-CN201010179701.8有效
发明人：野崎耕司;小泽美和 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2006-07-26 - 公布日： 2010-09-15 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种抗蚀剂组合物，该抗蚀剂组合物能够通过抗蚀剂图案增厚材料使抗蚀剂图案均匀地增厚，而与抗蚀剂图案的方向、间隔变化以及抗蚀剂图案增厚材料的成分无关；并且能够以低成本、容易并有效地形成精细的抗蚀剂空间图案该抗蚀剂组合物包含脂环化合物(熔点：90℃-150℃)和树脂。制造半导体器件的方法包括如下步骤：使用抗蚀剂组合物在待处理的工件表面上形成抗蚀剂图案，并在该工件表面上涂覆抗蚀剂图案增厚材料，使其覆盖该抗蚀剂图案的表面，由此使该抗蚀剂图案增厚；以及通过使用增厚的抗蚀剂图案作为掩模蚀刻该工件表面而对该工件表面进行图案化
抗蚀剂组合形成图案方法半导体器件及其制造

[发明专利]抗蚀剂组合物、形成抗蚀剂图案的方法、半导体器件及其制造方法-CN200610107443.6有效
发明人：野崎耕司;小泽美和 -专利权人：富士通株式会社
申请日： 2006-07-26 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种抗蚀剂组合物，该抗蚀剂组合物能够通过抗蚀剂图案增厚材料使抗蚀剂图案均匀地增厚，而与抗蚀剂图案的方向、间隔变化以及抗蚀剂图案增厚材料的成分无关；并且能够以低成本、容易并有效地形成精细的抗蚀剂空间图案该抗蚀剂组合物包含脂环化合物(熔点：90℃－150℃)和树脂。制造半导体器件的方法包括如下步骤：使用抗蚀剂组合物在待处理的工件表面上形成抗蚀剂图案，并在该工件表面上涂覆抗蚀剂图案增厚材料，使其覆盖该抗蚀剂图案的表面，由此使该抗蚀剂图案增厚；以及通过使用增厚的抗蚀剂图案作为掩模蚀刻该工件表面而对该工件表面进行图案化
抗蚀剂组合形成图案方法半导体器件及其制造

[实用新型]一种含铜微蚀废液再生回收装置-CN201420852705.1有效
发明人：韦建敏;张小波;张晓蓓 -专利权人：成都虹华环保科技股份有限公司
申请日： 2014-12-29 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： C23F1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种含铜微蚀废液再生回收装置，包括微蚀废液回收槽、过滤装置、微蚀废液储存槽、电解槽和微蚀废液再生槽，所述电解槽内设有多个阴阳极电板和报警装置，微蚀废液再生槽包括微蚀药液感应器、微蚀药液剂量控制器和加药调节储存槽，所述微蚀药液感应器直接与微蚀废液再生槽相连，微蚀药液剂量控制器与微蚀药液感应器通讯连接，加药调节储存槽分别与微蚀药液剂量控制器和微蚀废液再生槽相连。该回收装置中由于设置了PLC控制系统，实现了完全自动化处理，不仅实时监测控制，节省了大量的人力成本；对微蚀废液的再生回收率及铜电解回收率较高，实现了废液的零排放，具有很强的环保性能。
一种含铜微蚀废液再生回收装置