专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]减压干燥装置、基板处理装置及减压干燥方法-CN201811591031.3有效
  • 实井祐介;西冈贤太郎 - 株式会社斯库林集团
  • 2018-12-21 - 2023-05-16 - H01L21/67
  • 本发明提供一种在减压干燥装置中以与期望的减压速度更接近的减压速度来进行减压处理减压干燥装置、基板处理装置及减压干燥方法。所述减压干燥装置通过在腔室内收容附着有处理液的基板并对腔室内进行减压,而使基板干燥。减压干燥装置具有腔室、减压排气部、对减压排气的流量进行调节的阀、对腔室内的压力进行测量的测量部及控制部。控制部的动作控制部包括:初始开度设定部,在各处理期间的起点将阀开度设为基准开度;以及反馈控制部,基于测量部所测量的测量压力值进行包含比例控制的反馈控制。
  • 减压干燥装置处理方法
  • [发明专利]基板处理装置、基板处理方法和存储介质-CN201810798557.2有效
  • 井关智弘;田中启一 - 东京毅力科创株式会社
  • 2018-07-19 - 2023-10-20 - H01L21/027
  • 本发明涉及基板处理装置、基板处理方法和存储介质,改善掩膜图案的表面的粗糙并抑制掩膜图案的轮廓形状发生变化。所述装置具备:载置台(24),其在处理容器(21)内载置表面形成有图案掩膜(12)的基板(W);减压机构(32),其对所述处理容器(21)内进行减压;光照射机构(42),其在所述处理容器内被减压并且达到1Pa以下的压力之后向所述基板(W)照射真空紫外光来改善所述图案掩膜(12)的表面的粗糙;以及控制部,其输出控制信号,以使在所述处理容器(21)内从10000Pa以上的压力减压到1Pa的期间中由所述减压机构(32)进行减压的该处理容器(21)内的减压速度为250Pa/秒以下。
  • 处理装置方法存储介质
  • [发明专利]采用减压加热的液晶抽出处理装置及其方法-CN200510093859.2无效
  • 矢岛广幸 - 精工爱普生株式会社
  • 2005-08-31 - 2006-03-08 - B09B3/00
  • 提供在采用减压加热的液晶抽出处理中能够容易对废液晶面板进行加温并能够将减压加热的处理温度降低到液晶的蒸发温度左右、从而能够安全地回收液晶的采用减压加热的液晶抽出处理装置及其方法。该液晶抽出处理装置是用于利用减压加热处理从废液晶面板(10)中抽出液晶的液晶抽出处理装置,具备:在内部能够配置废液晶面板(10)并且具有加热上述内部的装置的腔体(20);将腔体(20)内设置成减压状态的减压装置(24);以及与产生腔体(20)内的减压加热的处理温度的内壁分开设置的用于加热废液晶面板(10)的密封材料(7)或者封口材料(7b)使其脆弱化的热传导装置(27)。
  • 采用减压加热液晶抽出处理装置及其方法
  • [实用新型]减压装置和反渗透系统-CN202221820967.0有效
  • 王硕硕 - 广东闻扬环境科技有限公司
  • 2022-07-15 - 2022-12-16 - B01D61/08
  • 本实用新型涉及一种减压装置和反渗透系统。减压装置包括减压阀,具有进液端与出液端;减压结构,具有进入端与排出端,减压结构具有沿进入端至排出端延伸的减压流道,进入端与进液端连通,排出端与出液端连通,减压结构与减压阀并联设置。高压液体由进液端进入减压阀内以进行减压处理减压后由出液端排出,从而实现对高压液体进行减压处理。在此过程中,部分高压液体由进入端进入减压结构内,并沿减压流道流动至排出端后排出减压装置。通过将减压结构与减压阀并联,减少减压阀的工作负荷,从而延长减压阀的使用寿命。
  • 减压装置反渗透系统
  • [实用新型]炼厂污油及浮渣减压脱水装置-CN202020367471.7有效
  • 齐广建 - 山东汇丰石化集团有限公司
  • 2020-03-20 - 2020-10-30 - C10G53/02
  • 本实用新型属于石油废油渣处理技术领域,具体涉及一种炼厂污油及浮渣减压脱水装置。所述的炼厂污油及浮渣减压脱水装置,包括污油中间罐,所述污油中间罐经换热器与减压塔连接,所述减压塔塔顶经水环真空泵与分离器连接,所述换热器经冷凝器与分离器连接,所述减压塔塔底与常减压装置连接。本实用新型生产连续性强,处理量大,可满足大量炼厂连续处理需求,且分离后的油含水可降至0.3‑1%,水中油含量<100ppm,分离后的油可直接进入常减压装置进行回炼,可利旧小型常减压装置减压设备进行加工,投资小,可与炼厂其他装置进行热联合,能耗较低,仅产生电能耗,同时兼顾处理污水处理产生的浮渣,回收浮渣中的污油。
  • 炼厂污油浮渣减压脱水装置
  • [实用新型]一种燃气炉烟气收集防爆调向连接器-CN202222379369.0有效
  • 刘代云;张梅;刘旸 - 邯郸乾祥机械制造有限公司
  • 2022-09-07 - 2023-02-17 - F27D17/00
  • 本实用新型涉及天然气燃气炉烟气收集治理技术领域,具体为一种燃气炉烟气收集防爆调向连接器,包括防爆减压处理仓,防爆减压处理仓的一侧设置有防爆窗口总成,防爆减压处理仓的底部连通有烟气输入口,防爆减压处理仓的顶部连通有烟气输出口本实用新型,通过设置该防爆减压处理仓和防爆窗口总成结构,在正常状态下,燃气炉排放的烟气从烟气输入口进入整个调向连接器的防爆减压处理仓中,然后再由烟气输出口送至外界收集处理设备,当设备出现异常时,此时防爆减压处理仓会从负压瞬间变为正压
  • 一种燃气炉烟气收集防爆连接器
  • [发明专利]减压干燥装置-CN200710193223.4有效
  • 柿村崇 - 大日本网目版制造株式会社
  • 2007-11-20 - 2008-07-30 - F26B7/00
  • 本发明提供一种迅速地实施减压干燥处理和加热处理的同时,降低作为整体的装置的占有面积且对非加热时的基板的热影响小的减压干燥装置。该减压干燥装置(1)具有对腔室(10)内部进行减压的功能,并具有对腔室(10)内的基板(9)进行加热的加热部(30)。因此,减压干燥装置(1)能够在对基板(9)实施减压干燥处理后,不搬运基板(9)而对该基板(9)进行加热。因此,能够迅速地进行减压干燥处理和加热处理。另外,由于无需为了加热处理而另外设置装置,能够降低作为整体的装置的占有面积。另外,因加热部(30)从上方侧加热基板(9),所以非加热时的余热影响基板(9)的可能性小。
  • 减压干燥装置
  • [发明专利]一种电子元器件加工用智能涂胶设备-CN202110114961.5在审
  • 李婧 - 李婧
  • 2021-01-28 - 2021-06-11 - B05C11/10
  • 本发明提供一种电子元器件加工用智能涂胶设备,包括涂胶设备本体和供料预处理机构,所述供料预处理机构包括处理座和电机壳,所述处理座内开设有减压放气腔和缓冲气腔,所述减压放气腔和缓冲气腔之间活动安装有单向减压座,该电子元器件加工用智能涂胶设备设计合理,单向减压座向减压放气腔的底部移动时,减压放气腔内的空气通过排气管排出一部分,然后电动推杆再次收缩带动单向减压座移动至添加管处,在此过程中,减压放气腔内的气压持续降低,从而使胶水中的气泡快速的析出,电动推杆通过带动单向减压座反复上下移动,能够使胶水内的气体持续性的排出,有利于胶水质量的提升,防止胶水内气泡过多导致涂胶的质量下降。
  • 一种电子元器件工用智能涂胶设备

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