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- [发明专利]MEMS电容性传感器-CN201580085473.9有效
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G.罗卡;T.汉茨利克
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ＴＤＫ株式会社
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2015-12-21
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2021-03-12
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H04R3/00
- MEMS电容性传感器(MCS）包括电容器（CMEMS），该电容器（CMEMS）包括背板（BP）和膜（M），其中该电容器该电容性传感器（MCS）包括连接至该背板（BP）以提供输出信号（OS）的输出端（MOUT），连接至该膜（M）以施加偏压（Vbias）的偏压输入端（MBIAS），以及连接至衬底（B）以施加供应电压（VDDMEMS电容性传感器（MCS）可经由端（MOUT、MBIAS、MVDD）被耦合至用来提供偏压（Vbias）并且放大输出信号（OS）的信号处理电路。信号处理电路（SPC）和MEMS电容性传感器的接口连接在SNR性能和/或成本减少的方面提供优点。
- mems电容传感器
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