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[发明专利]一种向硅衬底扩散铂或金的方法及快恢复二极管制备方法-CN201910410169.7在审
发明人：刘勇强;敖利波;曾丹;陈兆同;陈道坤 -专利权人：珠海零边界集成电路有限公司;珠海格力电器股份有限公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01L21/228 文献下载
摘要：本申请涉及半导体器件制备技术领域，公开一种向硅衬底扩散铂或金的方法及快恢复二极管制备方法，其中，向硅衬底扩散铂或金的方法包括以下步骤：去除硅衬底的主结区域的氧化层；在硅衬底主结区域露出的表面滴上含有铂原子或金原子的六甲基二硅胺烷溶液；将六甲基二硅胺烷溶液旋涂于硅衬底主结区域露出的表面；软烘，使六甲基二硅胺烷溶液变为固态；去除固态六甲基二硅胺烷；对硅衬底进行热退火。上述方法抛弃了现有技术中直流溅射的传统方案，而是将含有铂原子或金原子的六甲基二硅胺烷溶液旋涂于主结区域，经过软烘并去除固态六甲基二硅胺烷后，退火，即可使铂原子或金原子扩散进主结区域内，引入复合中心，达到减小反向恢复时间的目的
一种衬底扩散方法恢复二极管制备

[发明专利]六甲基二硅胺烷沉积装置-CN200610148808.X有效
发明人：胡晓明;周沅晓;张峻铭 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-12-28 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： C23C14/12 文献下载
摘要：一种六甲基二硅胺烷沉积装置，包括：容器，所述容器内装有六甲基二硅胺烷液体和通有载流气体；涂布机，所述涂布机内放置有半导体衬底，用于在半导体衬底上形成六甲基二硅胺烷层；气体通路，用于把容器和涂布机相连，所述气体通路上设置有过滤器，用于过滤六甲基二硅胺烷结晶物；所述气体通路的过滤器与涂布机接口之间部分不同处温差不超过6℃，所述温度为18至25℃。本发明通过采用恒温的气体通路，在气体通路内防止了六甲基二硅胺烷结晶，避免了由于六甲基二硅胺烷结晶固化造成的半导体衬底光刻不到位，导致刻蚀不干净现象。
甲基二硅胺烷沉积装置

[发明专利]一种六甲基二硅胺烷的制备方法-CN200910153959.8无效
发明人：吴建平;胡文江;陈思先;唐欣 -专利权人：浙江胡涂硅有限公司
申请日： 2009-11-26 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： C07F7/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种六甲基二硅胺烷的制备方法，该方法将六甲基二硅氧烷和无机酸按照一定的比例混合，在一定的反应条件下反应，同时分去反应生成的水，生成相应的硅酯，然后加入溶剂，通入氨气，反应生成六甲基二硅胺烷和铵盐，除去铵盐后得到六甲基二硅胺烷。由于对六甲基二硅氧烷(HMDO)的品质无太高要求，只需要控制其含水量小于0.5％，且其市场价格低廉，因此生产成本低；另外，本发明的转化率和选择性都很高。
一种甲基二硅胺烷制备方法

[发明专利]一种电子级六甲基二硅胺烷制备方法及设备-CN202111488322.1在审
发明人：徐忠明 -专利权人：浙江胡涂硅有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： B01J19/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种电子级六甲基二硅胺烷制备方法：包括以下步骤：S1:备料,准备一定分量的三甲基一氯硅烷、碳酸盐、六甲基二硅氧烷和硫酸，其中，三甲基一氯硅烷、碳酸盐、六甲基二硅氧烷的重量份数比为100∶50‑90∶30‑180；S2：初步反应，将经过计量的碳酸盐和六甲基二硅氧烷加入反应釜并搅拌，同时将三甲基一氯硅烷加入反应釜内反应，反应停止后对混合液体进行冷却，冷却后通过离心分离得到高纯度的六甲基二硅氧烷；S3：综合反应，将经过计量的六甲基二硅氧烷和硫酸混合并反应，反应后通过静置方法去除硫酸，得到硅脂；S4：制得成品，将硅脂加入压力釜，添加苯混溶并搅拌，在搅拌过程中持续通入氨气反应。
一种电子甲基二硅胺烷制备方法设备

[发明专利]一种无缝内衣酸性固色剂的制备方法及制得的固色剂-CN201611138421.6有效
发明人：刘海平;刘汉茂;吕学海 -专利权人：江西德盛精细化学品有限公司
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： D06P1/613 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型无缝内衣酸性固色剂的制备方法及制得的固色剂，制备时，将双酚S、二丁基氧化锡与烷醇酰胺溶液混合加热搅拌处理，然后加入六甲基二硅胺烷，降温搅拌处理，其中，双酚S、二丁基氧化锡与六甲基二硅胺烷的质量比为28‑36:1‑5:5‑13，六甲基二硅胺烷与烷醇酰胺溶液的体积比为1:6‑8；然后加入柠檬酸溶液，在62℃的温度下搅拌，六甲基二硅胺烷与柠檬酸溶液的体积比为1:15‑17；滴加异构十醇聚氧乙烯醚溶液，
一种新型无缝内衣酸性固色剂制备方法

[发明专利]一种荧光酸性固色剂的制备方法及制得的固色剂-CN201611140490.0有效
发明人：刘海平;刘汉茂;吕学海 -专利权人：江西德盛精细化学品有限公司
申请日： 2016-12-12 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： D06P5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型荧光酸性固色剂的制备方法及制得的固色剂，制备时，将双酚S与二甲基乙酰胺溶液混合加热搅拌处理，然后加入六甲基二硅胺烷，降至70℃并搅拌处理，其中，双酚S与六甲基二硅胺烷的质量比为25‑35:2‑6，六甲基二硅胺烷与二甲基乙酰胺溶液的体积比为1:10‑12；然后加入丙烯酸溶液，在65℃的温度下搅拌处理，其中六甲基二硅胺烷与丙烯酸溶液的体积比为1:10‑11；然后滴加乙二醇二甲醚溶液，在60℃的温度下搅拌处理，其中乙二醇二甲醚溶液的加入量是双酚S质量的33‑35%，降至室温即得。
六甲基二硅胺烷制备双酚S 二甲基乙酰胺溶液乙二醇二甲醚溶液丙烯酸溶液酸性固色剂固色剂体积比混合加热染色牢度新型荧光荧光染料制备过程可控性收得率质量比荧光滴加色变

[发明专利]六甲基二硅氧烷及其制备方法-CN202310656681.6在审
发明人：徐聪;王毅;陈琪;孔超 -专利权人：金宏气体股份有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： C07F7/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种六甲基二硅氧烷及其制备方法，所述六甲基二硅氧烷的制备方法包括以下步骤：将八甲基环四硅氧烷、镓催化剂以及甲基锂混合，得到混合反应体系；所述混合反应体系反应，猝灭，分离，得到六甲基二硅氧烷。本发明实施方式的六甲基二硅氧烷的制备方法，通过八甲基环四硅氧烷、镓催化剂以及甲基锂的混合反应体系反应制得六甲基二硅氧烷，其制备过程无额外氯离子引入，整个制备过程条件温和可控，原料易得，镓催化剂可重复使用，不需要低温反应器，且后续纯化难度低，制得的六甲基二硅氧烷纯度高。
甲基二硅氧烷及其制备方法

[实用新型]一种六甲基二硅氮烷的碱洗装置-CN202020340321.7有效
发明人：何鸿杰 -专利权人：吉安永翔硅业新材料有限公司
申请日： 2020-03-17 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： B01J4/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工碱洗设备技术领域，且公开了一种六甲基二硅氮烷的碱洗装置，包括支座，所述支座的内底壁固定安装有放置箱，所述支座的内壁左侧固定安装有六甲基二硅氮烷箱，所述支座的内壁右侧固定安装有与六甲基二硅氮烷箱相对应的液碱箱，所述六甲基二硅氮烷箱与液碱箱的连接处转动连接有转杆，所述转杆的底部固定连接有转动开关。该六甲基二硅氮烷的碱洗装置，通过转动转杆，让六甲基二硅氮烷和液碱同时流出，在凸起作用下充分融合，通过搅拌棒的转动，使得六甲基二硅氮烷和液碱加速融合，通过阀体转动，使得六甲基二硅氮烷与杂质能分离，解决了接触面积小
一种甲基二硅氮烷装置

[发明专利]一种六甲基二硅氮烷合成方法-CN201210252719.5有效
发明人：赵志全;孙颖;夏燕 -专利权人：山东新时代药业有限公司
申请日： 2012-07-15 - 公布日： 2012-11-07 - 主分类号： C07F7/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种六甲基二硅氮烷的合成方法，采用混合溶剂法一步氨化反应合成六甲基二硅氮烷，反应体系中六甲基二硅氧烷的加入会抑制六甲基二硅氮烷水解副反应的发生，提高反应收率。该工艺收率高，反应时间短，精馏耗能少，降低了六甲基二硅氮烷的生产成本，具有较大的产业化优势。
一种甲基二硅氮烷合成方法

[实用新型]一种六甲基二硅氧烷和六甲基二硅氮烷的减压精馏系统-CN201520924553.6有效
发明人：李宏星;丁希望;陈晨;毛国胜 -专利权人：浙江硕而博化工有限公司
申请日： 2015-11-18 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工精馏设备领域，公开了一种六甲基二硅氧烷和六甲基二硅氮烷的减压精馏系统，包括依次连接的碱洗釜、进料泵、精馏塔、第一冷凝器，第一冷凝器上设有第一出口和第二出口，第一出口、第二冷凝器、六甲基二硅氧烷成品计量罐、六甲基二硅氧烷成品罐依次连接。第二出口、气液分离器、六甲基二硅氮烷成品计量罐、六甲基二硅氮烷成品罐依次连接。气液分离器的出口还与精馏塔连接，第二冷凝器、六甲基二硅氧烷成品计量罐、六甲基二硅氮烷成品计量罐上均设有放空口，放空口通过放空管道与大气接通。
一种甲基二硅氧烷二硅氮烷减压精馏系统

[发明专利]一种以六甲基二硅氧烷为原料制备六甲基二硅氮烷的方法-CN201510648814.0有效
发明人：丁希望;楼雪林;毛国胜;陈靖 -专利权人：浙江硕而博化工有限公司
申请日： 2015-10-09 - 公布日： 2016-03-02 - 主分类号： C07F7/10 文献下载
摘要：本发明涉及化工制备领域，公开了一种以六甲基二硅氧烷为原料制备六甲基二硅氮烷的方法，包括：1）、将六甲基二硅氧烷投入到反应容器中，通入干燥氯化氢气体，生成三甲基氯硅烷和水；在反应过程中将水排除；当六甲基二硅氧烷与三甲基氯硅烷的混合液中三甲基氯硅烷占混合液质量的30%时，停止通氯化氢气体；2）、将得到的混合液转移至另一反应器中并进行搅拌，通入干燥氨气，生成六甲基二硅氮烷和氯化铵；3）、将步骤2）反应产物中的氯化铵分离，对剩余物进行精馏除去六甲基二硅氧烷，制得六甲基二硅氮烷
一种甲基二硅氧烷原料制备二硅氮烷方法

[发明专利]一种六甲基二硅氮烷修饰有机薄膜晶体管及其制备方法-CN201810865337.7有效
发明人：陆旭兵;赖伟升;赵凯 -专利权人：华南师范大学
申请日： 2018-08-01 - 公布日： 2020-12-22 - 主分类号： H01L51/05 文献下载
摘要：本发明提供六甲基二硅氮烷修饰有机薄膜晶体管及其制备方法，该六甲基二硅氮烷修饰有机薄膜晶体管包括衬底以及在衬底上依次层叠的底电极、绝缘层、修饰层、有源层和源漏电极，所述修饰层为六甲基二硅氮烷薄膜。该制备方法包括S1：在衬底上沉积底电极；S2：制备绝缘层；S3：制备修饰层：在绝缘层表面旋涂六甲基二硅氮烷溶液成膜，进行退火处理后制得六甲基二硅氮烷薄膜作为修饰层；S4：制备有源层；S5：制备源漏电极。本发明采用六甲基二硅氮烷薄膜作为晶体管的修饰层，由于六甲基二硅氮烷薄膜致密性高，能够形成高质量的界面，有利于提高载流子传输效率，使最终的有机薄膜晶体管具有高开关比和高迁移率以及低工作电压。
一种甲基二硅氮烷修饰有机薄膜晶体管及其制备方法

[实用新型]一种六甲基二硅氮烷的碱洗装置-CN201520924008.7有效
发明人：丁希望;李宏星;吴金荣;陈海军 -专利权人：浙江硕而博化工有限公司
申请日： 2015-11-18 - 公布日： 2016-05-18 - 主分类号： C07F7/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及化工碱洗设备领域，公开了一种六甲基二硅氮烷的碱洗装置，包括碱洗釜（1），所述碱洗釜内设有搅拌装置（2），碱洗釜上设有进料装置（3），碱洗釜底部设有液碱出料口（4），碱洗釜侧壁上设有六甲基二硅氮烷溢流口所述进料装置包括六甲基二硅氮烷进料管（31）、液碱进料管（32）、汇流管（33），所述六甲基二硅氮烷进料管和液碱进料管分别与汇流管的上端连通，所述汇流管的下端设有波纹丝网填料（34），所述碱出料口与液碱进料管通过循环管本实用新型的碱洗装置能够使六甲基二硅氮烷与碱水充分混合，有效去除六甲基二硅氮烷中的杂质。
一种甲基二硅氮烷装置

[发明专利]一种六甲基环三硅氮烷的制备方法-CN201610744019.6在审
发明人：陈晓华;岳立;时二波;刘磊;韩文玉;戴建才;刘祖峰;杨波 -专利权人：张家港市国泰华荣化工新材料有限公司
申请日： 2016-08-29 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： C07F7/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种六甲基环三硅氮烷的制备方法，包括以下步骤（1）先将二甲基二氯硅烷、有机溶剂及八甲基环四硅氮烷一起加入反应釜中，接着在(‑20~20)℃通入氨气，然后将温度控制在(‑30~30)℃反应，得到含有六甲基环三硅氮烷、八甲基环四硅氮烷及氯化铵的反应液；（2）接着向反应釜内加入碱性水，然后静置分液，取含有六甲基环三硅氮烷与八甲基环四硅氮烷的上层反应液；（3）接着对步骤（2）中分液获得的上层反应液进行减压精馏，得到六甲基环三硅氮烷本发明的优点是反应选择性好、副产物少、收率高，六甲基环三硅氮烷的摩尔收率不低于82%。
一种甲基环三硅氮烷制备方法

[发明专利]一种六甲基二硅氮烷分离纯化工艺及系统-CN202310514605.1在审
发明人：陈斌;江炜;曹雄;马国维;赵卫星;刘江涛;丁丽芳;张丽琴;苏文江;商超平;罗烨栋;朱恩华 -专利权人：浙江工程设计有限公司;新疆西部合盛硅业有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： B01J19/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种六甲基二硅氮烷分离纯化工艺及系统。工艺包括：来自六甲基二硅氮烷反应釜的固液混合反应料加入到筒锥过滤机中，压出的反应料送至反应料中间罐；氯化铵饱和溶液注入筒锥过滤机，把含少量六甲基二硅氧烷和六甲基二硅氮烷的氯化铵饱和溶液压出；筒锥过滤机真空干燥反应料中间罐中的反应料经静态混合器加强混合后进入碱洗塔，碱洗去除残留的氯化铵；碱洗塔出料的液液两相进入分液罐，分液罐底部分离水相，水相分为两股，一股作为废液送去处理，另一股循环回静态混合器，分离罐顶部分离有机相，有机相含六甲基二硅氧烷和六甲基二硅氮烷，送去精馏单元提纯六甲基二硅氮烷产品。
一种甲基二硅氮烷分离纯化工艺系统

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