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[发明专利]抽真空设备-CN201510174401.3有效
发明人：袁建清 -专利权人：山西南烨立碁光电有限公司
申请日： 2015-04-14 - 公布日： 2018-02-06 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本发明抽真空设备，属于抽真空设备技术领域；解决的技术问题是提供了抽真空设备，通过工作实践改进真空系统结构设计，增加过滤阀，降低气体内部残留物对高压真空泵浦的影响，加入低真空计和高真空计对系统内部进行精确测量，控制设备精度，同时运用多阀门串联方式，保证进气稳定性，选择合适的密封方式，来提高真空系统密封性，从而降低了系统漏气率，提升设备安全性能；采用的技术方案为抽真空设备，包括真空腔体、制程系统、破真空系统、低真空系统和高真空系统，各个系统分别与真空腔体连接，实现抽低真空，抽高真空，制程进气和破真空的工作过程；本发明可广泛应用于抽真空设备技术领域。
真空设备

[发明专利]一种通用型比较法真空校准装置和方法-CN202310604741.X在审
发明人：张旭;曾翔;李明;查永康;张峰瑞 -专利权人：中国航发航空科技股份有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种通用型比较法真空校准装置和方法，属于真空校准技术领域，包括机械泵、分子泵、高真空校准室、低真空校准室和气源，机械泵的一端通过第二阀门与分子泵连接，另一端通过第三阀门与低真空校准室连接；分子泵通过三通管分别连接有步进式插板阀和第一阀门，步进式插板阀与高真空校准室连接，第一阀门与第三阀门并接，并接后与低真空校准室连接；高真空校准室上还连接有高真空校准真空规、第一电容薄膜规和被校真空规，通过高真空微调阀与气源连接；低真空校准室上还连接有第二电容薄膜规、第三电容薄膜规、第四电容薄膜规和被校真空规，通过低真空微调阀与气源连接。
一种通用型比较法真空校准装置方法

[实用新型]一种应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线-CN201820138785.2有效
发明人：陈金成;刘俊;卿新卫 -专利权人：珠海市斗门区鸿茂玻璃有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-11-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种设计合理、可防止玻璃制品变形和真空环境稳定的应用于玻璃制品的磁控镀膜生产线。本实用新型包括输送装置，输送装置上设置有真空腔室，真空腔室内设置有四个隔离通道，隔离通道上均设置有玻璃输送通道，四个隔离通道将真空腔室依次分割成第一低真空室、第一高真空室、镀膜室、第二高真空室和第二低真空室，镀膜室内设置有磁控溅射靶，输送装置上的输送辊为陶瓷输送辊，第一低真空室和第二低真空室的两端分别设置有第一抽真空器和第一抽风器，第一高真空室和第二高真空室及镀膜室的两端分别设置有第二抽真空器和第二抽风器，第二抽真空器的下端设置有加热装置。
低真空室高真空室本实用新型玻璃制品抽真空器磁控镀膜隔离通道输送装置真空腔室抽风器镀膜室应用室内玻璃输送通道磁控溅射靶加热装置陶瓷输送真空环境输送辊真空腔镀膜下端变形分割

[发明专利]一种造纸用真空压榨辊-CN201810498904.X在审
发明人：朱洪根 -专利权人：无锡鸿华造纸机械有限公司
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： D21F3/08 文献下载
摘要：本发明公开了造纸机械设备技术领域的一种造纸用真空压榨辊，包括辊体，所述辊体包括本体层，所述本体层的内腔设有挂面层，所述挂面层上设有盲槽，所述盲槽设置于通孔之间，所述辊体的内腔设有低真空箱，所述低真空箱的底端安装有高真空箱，所述辊体的左端安装有操侧箱头，所述操侧箱头的左端连接吸口座，所述吸口座上设有高真空吸口，所述高真空吸口的右端设有低真空吸口，所述高真空箱和低真空箱中设有幅度调节架，所述辊体的右端连接有传侧箱头，所述传侧箱头外侧套接有传侧轴承
辊体高真空侧箱低真空箱吸口真空压榨辊挂面层吸口座盲槽内腔左端造纸造纸机械设备幅度调节生产效率脱水效果侧轴承低真空底端套接通孔

[实用新型]四塔蒸馏与膜分离集成系统-CN201921127812.7有效
发明人：孟国栋;刘凯;刘立明;田浩;邱金月;王芳;孙彦彬;李建图 -专利权人：肥城金塔酒精化工设备有限公司
申请日： 2019-07-18 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了四塔蒸馏与膜分离集成系统，包括醪液预热器、负压醪塔、常压醪塔、中压精塔和高压精塔；高压精塔通过管路依次连接酒气过热器和膜分离装置；所述膜分离装置包括串联的低真空膜组件和高真空膜组件；所述低真空膜组件的进口端与酒气过热器管路连接，低真空膜组件的出口端与高真空膜组件的进口端连接；高真空膜组件的出口端与常压醪塔再沸器连接；低真空膜组件的出口端、高真空膜组件的出口端还分别通过解吸冷凝器Ⅰ、解吸冷凝器Ⅱ与无水真空泵连接。
蒸馏分离集成系统

[实用新型]一种溅射镀膜抽真空系统-CN202021071852.7有效
发明人：李均平;邹健;向阳;李永洲;韩阳;曹丽娟 -专利权人：苏州锐世讯光学科技有限公司
申请日： 2020-06-11 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：为了解决真空设备工作时，由于箱体内部空间很大，仅仅使用扩散泵5对真空镀膜设备腔体抽真空需要花费的很长时间，生产效率低的问题，本实用新型提出一种溅射镀膜抽真空系统，包括真空室2、通过管道与真空室2连接的抽真空机构、真空检测机构和PLC控制系统1，当开机时，在抽低真空阶段，启动扩散泵5，关闭罗茨泵4和旋片泵3，在抽高真空阶段，旋片泵3、罗茨泵4和扩散泵5可以同时运行，这样就大大减少了抽低真空的时间，提高了生产效率
一种溅射镀膜真空系统

[实用新型]一种具有防卡死结构的真空泵装置-CN200820181405.X无效
发明人：徐忠辉;孙伦郑;何伟 -专利权人：和舰科技(苏州)有限公司
申请日： 2008-12-09 - 公布日： 2009-09-09 - 主分类号： F04C25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有防卡死结构的真空泵装置，包括：通过管路依次连接的制程腔体、高真空泵、低真空泵，其特征在于，还包括依次连接在上述高真空泵与上述低真空泵之间的滤清器和手阀。本实用新型的滤清器和波纹式手阀顺序串接形成的结构既提高了工作效率又减小了低真空泵卡死的风险，在真空系统中的应用有一定的意义。
一种具有防卡死结构真空泵装置

[发明专利]一种基于低真空累积法的高灵敏度检漏装置及方法-CN202310636131.8在审
发明人：陈联;赵澜;陈会颖;冯天佑;孙冬花;成永军;孙雯君;张瑞芳 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本申请涉及真空泄漏检测技术领域，具体而言，涉及一种基于低真空累积法的高灵敏度检漏装置及方法，所述装置包括低真空累积检漏组件、示漏气体取样组件、示漏气体质谱分析组件以及抽空机组，其中：低真空累积检漏组件通过电磁阀和电动阀与抽空机组连接；示漏气体取样组件用于低真空气体的引出，设置在低真空累积检漏组件与示漏气体质谱分析组件之间；示漏气体质谱分析组件通过电动阀与抽空机组连接；抽空机组用于示漏气体的抽除以及提供真空条件。本申请将低真空累积、限流小孔取样和选择性抽气、分压力测量结合起来，在高灵敏度检漏的同时，显著缩短了检漏时间，解决了传统检漏方法中存在的检漏灵敏度越高要求检漏时间越长的缺点。
一种基于真空累积灵敏度检漏装置方法

[发明专利]一种用于发动机羽流试验研究的清洁真空系统及其抽真空复压方法-CN201110201127.6无效
发明人：蔡国飙;凌桂龙;王文龙;李晓娟;黄本诚;张国舟 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-07-18 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： G01M9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种用于发动机羽流试验研究的清洁真空系统及其抽真空复压方法，属于发动机真空科学技术领域，所述的清洁真空系统包括低真空系统、低真空液氮冷阱系统、高真空系统、高真空液氮冷阱系统、低温泵液氮供应系统A、低温泵液氮供应系统B、空气复压系统、氮气复压系统、容器真空测量系统、残余气体分析系统、液氦热沉、液氮热沉和羽流吸附泵。真空获取主要靠洁净的低真空系统、高真空系统及液氦热沉、液氮热沉及羽流吸附泵完成，用于获取羽流试验需要的各种洁净真空度，最高能获得10-6Pa的超高动态真空度。其中低真空系统及高真空系统均配有液氮冷阱系统，用于吸收机械泵工作时产生的油蒸汽，保证真空容器清洁。
一种用于发动机试验研究清洁真空系统及其方法

[发明专利]用于发动机羽流试验研究的清洁真空系统及其抽真空复压方法-CN201110201372.7无效
发明人：蔡国飙;凌桂龙;王文龙;李晓娟;黄本诚;张国舟 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2011-07-18 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： G01M9/06 文献下载
摘要：本发明提供用于发动机羽流试验研究的清洁真空系统及其抽真空复压方法，属于发动机真空科学技术领域，所述的清洁真空系统包括低真空系统、低真空液氮冷阱系统、高真空系统、高真空液氮冷阱系统、低温泵液氮供应系统、空气复压系统、氮气复压系统、容器真空测量系统、残余气体分析系统、液氦热沉、液氮热沉和羽流吸附泵。真空获取主要靠洁净的低真空系统、高真空系统及液氦热沉、液氮热沉及羽流吸附泵完成，用于获取羽流试验需要的各种洁净真空度，最高能获得10-6Pa的超高动态真空度。其中低真空系统及高真空系统均配有液氮冷阱系统，用于吸收机械泵工作时产生的油蒸汽，保证真空容器清洁。
用于发动机试验研究清洁真空系统及其方法

[发明专利]一种低真空隧道交通系统和低真空隧道的疏散结构-CN202010697819.3在审
发明人：张仕杰;欧阳焕英;熊健;荆鸿飞;刘雪斌;潘锡舜;郭庆慈;黄新连;罗章波;刘书斌 -专利权人：中铁第五勘察设计院集团有限公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： E21F11/00 文献下载
摘要：本发明涉及低真空隧道交通技术领域，具体地，涉及一种低真空隧道交通系统和低真空隧道的疏散结构。该疏散结构的救援隧道与低真空隧道并行排列，救援隧道内为常压环境；在低真空隧道与救援隧道之间设置有多个横通道，横通道用于连通低真空隧道与救援隧道；在每个横通道内朝向低真空隧道的一侧均固定安装有一个可伸缩悬廊
一种真空隧道交通系统疏散结构

[实用新型]一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口-CN201721594867.X有效
发明人：孙克强;丁志国;陈万锁;江波;山拓 -专利权人：江苏衡昇仪器有限公司
申请日： 2017-11-25 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H01J49/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，包括点火腔体，所述点火腔体内腔的后侧固定连接有第一密封圈和第二密封圈，所述点火腔体内腔的底部分别固定连接有滑轨平台和气缸，所述点火腔体内腔后侧的顶部设置有低真空腔体本实用新型通过设置点火腔体、第一密封圈、第二密封圈、滑轨平台、气缸、水冷盘和低真空腔体的配合使用，解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口密封效果差，不能快速实现正常气压与低真空的转换，不便于安装维护的问题，该电感耦合等离子体质谱仪低真空的接口，具备密封效果好，可快速实现正常气压与低真空的转换，便于安装维护的优点。
低真空电感耦合等离子体质谱仪密封圈点火腔体点火腔体内腔本实用新型低真空腔体便于安装滑轨平台正常气压水冷盘气缸密封效果好顶部设置接口密封转换内腔维护

[实用新型]一种低真空隧道交通系统和低真空隧道的疏散结构-CN202021435273.6有效
发明人：张仕杰;欧阳焕英;熊健;荆鸿飞;刘雪斌;潘锡舜;郭庆慈;黄新连;罗章波;刘书斌 -专利权人：中铁第五勘察设计院集团有限公司
申请日： 2020-07-20 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： E21F11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及低真空隧道交通技术领域，具体地，涉及一种低真空隧道交通系统和低真空隧道的疏散结构。该疏散结构的救援隧道与低真空隧道并行排列，救援隧道内为常压环境；在低真空隧道与救援隧道之间设置有多个横通道，横通道用于连通低真空隧道与救援隧道；在每个横通道内朝向低真空隧道的一侧均固定安装有一个可伸缩悬廊
一种真空隧道交通系统疏散结构

[发明专利]一种快速反应流量阀-CN201910687117.4在审
发明人：朱飞;杨红进;殷祥根 -专利权人：江苏仅一联合智造有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： F16K11/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种快速反应流量阀，包括阀体、通真空端盖、破真空端盖、通真空先导管、破真空先导管、真空出口管、大气接口、紧定螺孔、低真空入口、真空导管和膜片组件，两端盖固定至阀体的两端，通真空先导管和破真空先导管同侧面安装至端盖上，在阀体上开设大气接口、紧定螺孔和低真空入口，在阀体的另一侧面安装与通真空先导管数量相同真空出口管，且真空出口管的内端与真空导管连通；真空导管安装于阀体内，膜片组件安装于通真空端盖和破真空端盖内。通过本快速反应流量阀，可以对不同流量大小的真空实现快速准确通断，同时可以做到真空的自主调节，实现一个小流量低真空源输入多个大流量真空口输出，可以节省空间，维护更加便利。
先导管端盖破真空阀体快速反应真空出口真空导管低真空流量阀侧面安装大气接口紧定螺孔膜片组件节省空间自主调节大流量小流量真空口内端通断连通体内输出便利维护

[实用新型]一种快速反应流量阀-CN201921199405.7有效
发明人：朱飞;杨红进;殷祥根 -专利权人：江苏仅一联合智造有限公司
申请日： 2019-07-29 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： F16K11/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种快速反应流量阀，包括阀体、通真空端盖、破真空端盖、通真空先导管、破真空先导管、真空出口管、大气接口、紧定螺孔、低真空入口、真空导管和膜片组件，两端盖固定至阀体的两端，通真空先导管和破真空先导管同侧面安装至端盖上，在阀体上开设大气接口、紧定螺孔和低真空入口，在阀体的另一侧面安装与通真空先导管数量相同真空出口管，且真空出口管的内端与真空导管连通；真空导管安装于阀体内，膜片组件安装于通真空端盖和破真空端盖内。通过本快速反应流量阀，可以对不同流量大小的真空实现快速准确通断，同时可以做到真空的自主调节，实现一个小流量低真空源输入多个大流量真空口输出，可以节省空间，维护更加便利。
一种快速反应流量