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[发明专利]腔室上盖及包含该上盖的反应腔室-CN200610165461.X有效
发明人：张风港 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2006-12-20 - 公布日： 2008-06-25 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明公开了一种腔室上盖及包含该上盖的反应腔室，腔室上盖的上部设有进气口、下部设有多个气孔，腔室上盖的内部还设有空腔，工艺气体可依次通过进气口、空腔、多个气孔注入反应腔室，对反应腔室内的半导体硅片进行刻蚀使得反应腔室内的气体分布更加均匀，从而得到满意的刻蚀效果。尤其适用于半导体晶片加工设备的反应腔室，也适用于其它的腔室。
腔室上盖包含反应

[实用新型]MOCVD反应腔室的上盖-CN202122255056.X有效
发明人：张森;王祥;费磊 -专利权人：宁波沁圆科技有限公司
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型提供一种MOCVD反应腔室的上盖，所述上盖包括盖板本体，所述盖板本体上设有：探测窗口，其沿所述盖板本体的厚度方向贯通，多个进气口，位于所述盖板本体的第一端面上，且所述盖板本体内部具有用于连通所述进气口及与所述第一端面相对的第二端面的气流通道该MOCVD反应腔室的上盖水路通道结构简单、易于加工、成本低及搭建便捷灵活。
mocvd 反应

[外观设计]上腔盖（电磁比例阀）-CN202230688826.7有效
发明人：顾洁炜;王力钊;黄雅琴;李登奎;徐灿桥;胡明浩 -专利权人：浙江春晖智能控制股份有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：上腔盖（电磁比例阀）。2.本外观设计产品的用途：用于加油机中的控制阀配件。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
上腔盖电磁比例

[发明专利]反应腔室的上盖结构和反应腔室-CN201410705206.4有效
发明人：张伟涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种反应腔室的上盖结构，包括线圈盒、隔板、盖板、多个开盖挂钩和与多个开盖挂钩一一对应的盖板挂钩，所述开盖挂钩在对正位时与所述盖板挂钩对正，在脱离位时与所述盖板挂钩相错开，所述开盖挂钩包括第一钩持部，所述盖板挂钩包括第二钩持部，所述第一钩持部的上表面的高度沿该第一钩持部的上表面的一端至另一端的方向逐渐降低，所述第二钩持部的下表面与所述第一钩持部的上表面相匹配，以使得位于对正位时的开盖挂钩的第一钩持部的上表面与所述第二钩持部的下表面相贴合本发明还提供一种反应腔室。与现有技术相比，本发明中的上盖结构上升时，开盖挂钩不需要移动一段空行程，因而可以减少铜连接条受到的拉力。
钩持部挂钩开盖盖板反应腔室上表面上盖结构下表面隔板铜连接条逐渐降低空行程上升时线圈盒错开对正贴合匹配脱离移动

[实用新型]应用于成型腔的上盖-CN202020717595.3有效
发明人：李花;李良;丘小辉 -专利权人：广州市奇欧奇实业有限公司
申请日： 2020-04-30 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： B29D5/00 文献下载
摘要：应用于成型腔的上盖，包括一体式上盖本体，所述上盖本体上端设有用于供上压轮组穿过的通孔，所述上盖本体下端设有用于放置螺杆的定位槽。为实现方便安装与定位螺杆的目的，本实用新型应用于成型腔的上盖将上盖本体一体化设计，解决了原有技术中多片安装带来的不便，而上盖本体的下端也设置有定位槽，安装后通过该定位槽将螺杆进行定位，解决了原有技术中的成型腔需要螺杆固定套将螺杆进行固定的问题
应用于成型

[实用新型]炉具上腔的变径封盖-CN88213011.0无效
发明人：林成潮 -专利权人：林成潮
申请日： 1988-08-31 - 公布日： 1989-05-31 - 主分类号： F24C15/18 文献下载
摘要：炉具上腔的变径封盖，是一种为了引导燃烧废气和增加炊具受热面积而专用设置炉体上腔的民用炉具的上腔封盖、特别是口径大小可变的封盖。其结构特点包括一个用以放置在炉具上腔口部的支承圈子和一个用以放置在支承圈子上面的变径盖，该变径盖由三个或三个以上扇子薄片由铆钉连接成一个环形片串。与现有同类的单片体盖相比，一个盖可以与各种不同直径的炊具相匹配，且实际使用十分方便。
炉具变径封盖

[实用新型]一种后谐振腔上盖-CN202022274261.6有效
发明人：林志春 -专利权人：宁波志达汽车部件有限公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： H01P7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种后谐振腔上盖，包括上盖主体、下盖主体、传动机构、转块、第一螺杆、安置框、齿轮、齿槽、限位机构、挤压块、第二螺杆、限位块、第二弹簧、限位槽和齿盘。本实用新型的有益效果是：将上盖主体插入下盖主体，再转动转块，则转块转动带动第一螺杆转动，令齿轮在安置框内部不断的上下移动，当齿轮移动至最底端时，齿轮也刚好脱离齿槽并卡合于齿盘，此时，继续转动转块，则转块带动第一螺杆转动，继而带动齿盘转动，进而第二螺杆转动，令挤压块上下移动，对两个限位块挤压抵触，限位块受到挤压后就会卡合至限位槽内，从而能够在使用时方便快捷的完成上盖主体的拆装，同时也避免了长时间使用产生松动的情况，使得使用更加方便
一种谐振腔

[实用新型]一种前谐振腔上盖-CN202022274512.0有效
发明人：林志春 -专利权人：宁波志达汽车部件有限公司
申请日： 2020-10-13 - 公布日： 2021-05-28 - 主分类号： F02M35/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种前谐振腔上盖，包括下盖、闭合机构、上盖、闭锁机构、压板、卡槽、卡销和压缩弹簧。本实用新型的有益效果是：将上盖与下盖的顶部卡合，当上盖与下盖盖合时，多个卡销会摆脱压缩弹簧的作用下收缩，从而方便上盖与下盖闭合紧密，当完全盖合完毕后，卡销在压缩弹簧的作用下与卡槽内部抵触，从而实现了上盖与下盖的闭锁，防止上盖与下盖脱离，并且使上盖和下盖之间闭合稳定，不易晃动，当需要打开上盖时，通过按压上盖四边的压板，从而驱动卡销摆脱压缩弹簧的作用下与卡槽内部分离，从而方便对上盖和下盖分离，方便进行对内部检测维修。
一种谐振腔

[实用新型]一种落水槽上腔饰盖-CN200920075922.3无效
发明人：郑斌华;郑松欢;王永;刘先庚 -专利权人：宁波安通林华翔汽车零部件有限公司
申请日： 2009-08-06 - 公布日： 2010-05-12 - 主分类号： B62D25/07 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种落水槽上腔饰盖，上腔饰盖基准侧设置加强筋，所述上腔饰盖上设置定位基准柱，其特征在于，所述加强筋设置为凹形结构。所述加强筋与定位基准柱连接。本实用新型的落水槽的上腔饰盖和底腔饰盖配合好，加强筋与定位基准柱配合好、无间隙，在汽车运动过程中没有噪声。增加了汽车驾驶过程中的舒适性。
一种落水槽上腔饰盖

[外观设计]腔盖-CN202030816916.0有效
发明人：刘文科;黄春林;胡宗义 -专利权人：成都纽曼和瑞微波技术有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：腔盖。2.本外观设计产品的用途：用于MPCVD设备等离子体工作腔的腔盖。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
腔盖

[实用新型]煤矿液压立柱上腔端盖保护装置-CN200820224163.8无效
发明人：陈尚本;李作河;刘德福 -专利权人：陈尚本;李作河
申请日： 2008-11-26 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： E21D15/51 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种煤矿液压立柱上腔端盖保护装置，它是在液压立柱的上腔回液管路中串接一个三通，在三通上再连接一个安全阀。当回液阀发生故障上腔压力大于正常值时，安全阀立即工作，起到卸压作用，在效地保护了端盖不被损坏。
煤矿液压立柱上腔端盖保护装置

[发明专利]腔室盖-CN200410059034.4无效
发明人：赖纳·威兰 -专利权人：美创力公司
申请日： 2004-07-29 - 公布日： 2005-02-16 - 主分类号： B65H11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种腔室盖，用于覆盖纸张输送设备与印刷机之间的缝隙区，包括至少一个垂直于纸张输送方向延伸的导引件(5)和多个可移动的单个支承件(1)，导引件(5)用于导引至少一个可运动的、构成一个用于纸张的侧向可调止挡的侧向件，其中，支承件(1)和所述至少一个侧向件按可变的宽度覆盖缝隙区，其中，所述至少一个侧向件和支承件(1)互相连接成尤其固定成，当侧向件向更大的宽度方向移动时，可借助至少一个连接件(7)在支承件(1)上施加一个拉力
腔室盖

[发明专利]一种反应腔室的上盖开启机构-CN201410348775.8有效
发明人：张鹏 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2014-07-22 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种反应腔室的上盖开启机构，上盖开启机构位于反应腔室的一侧，其包括至少一个驱动单元；每个驱动单元包括第一固定件、第二固定件、第一连接件和驱动装置；第一固定件固定于上盖上；其与第一连接件的第一端通过固定销和活动销铰接；且固定销和活动沿远离第一连接件的第一端的方向依次设置；驱动装置与第一连接件的第二端铰接；第二固定件固定于反应腔室的腔体上；其与第一连接件铰接于活动销与第一连接件的第二端之间。上盖开启机构具有更大的承载能力，更简单的结构，并可以使上盖具有更大的开启角度。
第一连接件上盖反应腔室开启机构固定件铰接驱动单元驱动装置固定销活动销承载能力依次设置第一端腔体

[实用新型]一出多腔滴口室上盖模具-CN200920260319.2有效
发明人：张鹏;雷建平;黄冬 -专利权人：贝恩医疗设备(广州)有限公司
申请日： 2009-11-10 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： B29C45/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种一出多腔滴口室上盖模具，属于模具技术领域，包括上模套，下模套，热流道固定板，所述的上模套与下模套为可拆卸连接，所述的下模套与热流道固定板可拆卸紧固连接；所述下模套设有4～8个模仁，该模仁设置有3～6个第一模芯，所述上模套设置有与第一模芯对应的第二模芯。本实用新型所述的一出多腔滴口室上盖模具，采用了热流道技术：由于通常使用的UPVC原材料的流动性不好，多腔模具用普通流道成型给生产带很大不良影响，采用了热流道技术后一方面减少水口费料的产生，减少了成型不良影响
一出多腔滴口室上盖模具

[实用新型]上推式双盖双腔侧面出烟烟盒-CN201620368197.9有效
发明人：孙德平;雷祖坤;肖宇庆;陈龙;施静;陈思思 -专利权人：湖北中烟工业有限责任公司
申请日： 2016-04-27 - 公布日： 2016-09-14 - 主分类号： B65D85/10 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种上推式双盖双腔侧面出烟烟盒。所述烟盒包括上敞口式外盒和平行置于外盒内的两个内盒，在外盒的前、后侧盖面上开设有滑道，两个内盒分别通过滑片嵌入滑道内，并可沿着滑道上下滑动，在每个内盒的侧面开设有高度为整个内盒高度1/2‑2/3的出烟口，并在出烟口的位置设有挡盖，挡盖的下边缘与内盒的侧盖铰链连接；在外盒的敞口处设有内、外双层盒盖，所述内、外层盒盖分别与盒体的前、后侧盖面铰链连接，在内层盒盖上设有二维码标识层。本实用新型结构简单、新颖，可同时装入两种不同规格或品质的香烟，并可达到防伪、互联的功能营销目的；而且双层盒盖的盖合效果好，避免盒盖随意开启，烟支掉落，也减少了烟支香味的散失。
上推式双盖双腔侧面烟盒

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