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[实用新型]一种靶材环件的包装结构-CN202022157864.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;方友华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-27 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： B65D85/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材环件的包装结构，所述包装结构包括靶材环件、真空包装袋和模具，所述靶材环件呈中空薄壁结构，放置于真空包装袋内，所述模具间隔真空包装袋放置于靶材环件的中空结构中，并与靶材环件的内壁相接触本实用新型所述包装结构通过将模具设置于靶材环件的中空位置处，用于固定靶材环件，并采用真空包装袋间隔，使得靶材环件的包装及抽真空过程极大简化，既能够快速完成靶材环件的完全真空包装，又能够避免抽真空过程中靶材环件的变形，便于靶材环件的运输与保存；所述模具结构简单，使用方便，完成包装后可随时取出，不占用位置，还可重复使用。
一种靶材环件包装结构

[实用新型]一种靶材环件校正装置-CN202120118052.4有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯周瑜;罗明浩;张林桥 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-01-15 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B21D3/16 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种靶材环件校正装置，所述校正装置包括校正基座、校正夹具和施压组件，所述校正夹具竖直放置于校正基座上；待校正靶材环件由第一固定组件固定于校正夹具的一侧表面，所述靶材环件和校正夹具的中心轴重合，所述靶材环件外壁上设有凸起；所述施压组件位于靶材环件外侧，与靶材环件上的凸起接触，所述施压组件的一端与校正夹具连接。本实用新型通过校正装置的结构设计，尤其是固定组件的设置，能够对变形靶材环件中的不同位置进行快速校正，避免再利用时造成安装困难和使用异常的问题，便于靶材环件的再利用，校正效果好；所述装置结构简单，组装方便，适合于不同种类的靶材环件的校正，能够有效降低半导体产品制备的成本。
一种靶材环件校正装置

[实用新型]一种圆度检测治具-CN202320652192.9有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;朱建飞 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-03-29 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G01B5/20 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种圆度检测治具，圆度检测治具包括检测盘和环形保护垫，检测盘上设置有检测凹槽，检测凹槽用于检测靶材环件的圆度是否合格；环形保护垫设置于检测凹槽内且延伸至检测凹槽的端面上本实用新型提供的圆度检测治具，将靶材环件对准检测盘的检测凹槽进行放置，如靶材环件放入置检测凹槽内，则靶材环件的圆度合格，如靶材环件无法放入置检测凹槽内，则靶材环件的圆度不合格，方便快捷，且环形保护垫的设计，有效避免靶材环件与检测盘直接接触，进而避免靶材环件和检测盘之间发生磕碰、刮划而造成损坏的情况发生。
一种检测

[发明专利]一种锅型靶材的焊接方法-CN202210391727.1在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;廖培君;华东瑜 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种锅型靶材的焊接方法，所述焊接方法包括将支撑件和锅型靶材采用电子束焊接；所述支撑件从外到内依次包括第一环和第二环；所述第二环的材质与所述锅型靶材的材质相同；所述锅型靶材设置有环形台阶；所述环形台阶的内圆直径＜所述第二环的内圆直径。本发明提供的焊接方法，通过对支撑件进行特定的设计实现了支撑件和锅型靶材的高效焊接，避免了电子束焊接时熔点差异较大的靶材和支撑件即法兰存在的脱焊及焊接强度不达标的问题。
一种锅型靶材焊接方法

[实用新型]一种圆形靶材孔位检具-CN202221556266.0有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01B5/252 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种圆形靶材孔位检具，所述圆形靶材孔位检具包括分别独立设置的检具主体以及固定件；所述检具主体包括主环，所述主环包括主环刚性部，还包括沿轴向设置于所述主环刚性部的一侧或双侧的主环缓冲部；所述主环的环面上设置有与待测圆形靶材的安装孔对应的贯通孔；所述固定件的数量大于等于所述贯通孔的数量。所述主环缓冲部与待测圆形靶材直接接触，可以避免待测圆形靶材在检测中的损伤，通过所述固定件与所述贯通孔及所述安装孔的配合进行检测，可以实现孔尺寸、孔位置、孔的圆心所在圆及靶材溅射面的同心度的快速高效检测。
一种圆形靶材孔位检具

[发明专利]制备圆筒零件内表面涂层的脉冲磁控溅射装置及其应用-CN201510606538.1在审
发明人：王浪平;王宇航 -专利权人：苏州格科特真空镀膜技术有限公司
申请日： 2015-09-22 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备圆筒零件内表面涂层的脉冲磁控溅射装置，包括靶材座，其一端设置有一个永久磁铁，所述的靶材座的另一端设置有另外一个永久磁铁，两个永久磁铁的磁极方向相同，两个永久磁铁之间通过磁铁隔板隔开；所述的靶材的一端套设在靶材座上；所述的靶材的另一端设置有紧固盘，并与靶材座固定在一起；该靶材座设置有用于通冷却介质的中空空腔，靶材座通过绝缘环与地电极隔开；该地电极固定连接在绝缘环上，该绝缘环固定连接在靶材座上将该装置装入圆筒零件内，Ar气环境下，在靶材与地电极之间施加300-900V的高功率脉冲，对圆筒零件内部进行沉积0.5-100小时。
制备圆筒零件表面涂层脉冲磁控溅射装置及其应用

[实用新型]一种靶材背管喷砂电弧端面保护装置-CN201820489198.8有效
发明人：常金永;张志祥;刘勇 -专利权人：江阴恩特莱特镀膜科技有限公司
申请日： 2018-04-04 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： C23C4/131 文献下载
摘要：本实用新型涉及靶材背管喷砂电弧的加工，具体的说是一种靶材背管喷砂电弧端面保护装置，属于等离子喷涂靶材技术领域。其包括靶材背管和连接在靶材背管两端的端面保护结构，靶材背管两端连接端面保护结构位置处沿圆周方向设有卡簧槽，端面保护结构包括保护端头、锁紧螺母、紧固环、定位件、保护罩和卡簧，卡簧位于靶材背管的卡簧槽中，卡簧的外圈设有紧固环，紧固环外圈设有保护罩，紧固环和保护罩套装在靶材背管上。本实用新型可靠性高，在长时间的旋转中，不会与靶材背管发生相对滑动，能有效的保护靶材背管端面不被划伤，并且端口不会变形。由于本实用新型拆装非常方便，节省了装卸时间，降低了成本。
靶材背管紧固环电弧本实用新型保护罩卡簧喷砂端面保护装置端面保护等离子喷涂沿圆周方向保护结构连接端面锁紧螺母相对滑动定位件卡簧槽位置处拆装端头划伤簧槽装卸变形加工

[发明专利]一种孔位检具-CN201810388724.6在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈文庆 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2018-04-26 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：该孔位检具，包括：检测环，检测环上间隔设置有与标准SRH420靶材的螺纹孔相对应的多个检测孔，检测环的内径大于标准SRH420靶材的铝柱体的直径；以及，多个与检测孔相对应的固定件，固定件的数量大于等于检测孔的数量，在使用孔位检具对待检测SRH420靶材进行检测时，在每个检测孔与对应的螺纹孔均能通过固定件进行固定时，表明待检测SRH420靶材合格。通过该孔位检具来对待检测SRH420靶材进行检测，在每个检测孔与对应的螺纹孔均能通过固定件进行固定时，表明待检测SRH420靶材合格，反之则不合格，极大地提高了检测效率，缩短了检测时间。
靶材检测孔检测固定件孔位检具检测环螺纹孔检具种孔检测技术领域间隔设置铝柱

[发明专利]一种靶材环件的回收方法-CN202210376271.1在审
发明人：姚力军;李桂鹏;王学泽;任萍 -专利权人：同创（丽水）特种材料有限公司;丽水元能电子材料研究院有限公司
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： C22B34/24 文献下载
摘要：本发明提供了一种靶材环件的回收方法，所述回收方法包括以下步骤：将预处理后的靶材环件进行拆卸，分别得到环部和连接部；将得到的环部进行压制，然后与挡板组装成槽体，并将所述连接部置于所述槽体之中；进行电子束熔炼，得到靶锭，实现回收；所述回收方法仅将靶材环件经过简单的处理与组装，然后采用电子束熔炼即可实现回收，便捷高效，单次产量高，极大地缩短了生产周期，且得到的靶锭表面质量好，纯度可高达99.99％以上，有利于规模化生产应用
一种靶材环件回收方法

[实用新型]一种靶材锁紧装置-CN201820432038.X有效
发明人：陈君;乐务时 -专利权人：苏州涂冠镀膜科技有限公司
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种靶材锁紧装置，属于表面处理技术领域，它解决了现有技术中靶材利用率低的问题。本靶材锁紧装置，靶材为截面呈梯形的柱状结构，靶材锁紧装置包括呈一端开口的靶座固定环，靶座固定环内表面设有内螺纹，靶座固定环螺纹连接有靶材压紧环，靶材压紧环外侧与靶座固定环内表面螺纹连接，靶材压紧环内侧压紧于靶材的外侧斜面，靶材与靶座固定环之间还设有密封冷却装置。本锁紧装置靶材的直接损失可降到5％以下，且固定锁紧方便可靠，通过螺纹和设定的小工具配合扭力扳手，可以方便的在靶以外的空间操作，并按照固定的力矩锁紧，排除误操作、真空压力变化、冷热变化引起的松弛漏气问题。
靶材锁紧装置固定环靶座压紧环表面处理技术密封冷却装置靶材利用率本实用新型内表面螺纹空间操作冷热变化漏气问题螺纹连接扭力扳手外侧斜面一端开口真空压力柱状结构固定的固定锁内表面内螺纹误操作小工具螺纹锁紧压紧松弛配合

[发明专利]一种靶材配套聚焦环的校圆工装-CN201711456243.6在审
发明人：李玉鹏;王绍帅;薛宏宇;于海洋;王庄;徐国进;陈明;万小勇;丁照崇 -专利权人：有研亿金新材料有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-05-04 - 主分类号： B21D3/14 文献下载
摘要：本发明公开了属于溅射技术领域的一种靶材配套聚焦环的校圆工装，该工装采取凸模与凹模配合校圆的一种模式。已经加工好的环靶材配套聚焦环放置在凹模的内部并且紧贴凹模的内模壁，凸模在小型油压机的作用下向下运动与凹模进行配合。凸模与凹模的间隙中为靶材配套聚焦环，凸模与凹模配合时以均匀的压力对靶材配套聚焦环进行校圆。经过适当的保压时间，达到校圆的目的。凹模底部设有弹性装置。校圆完成后凸、凹模分离时，弹性装置推动推件块向上运动，推动靶材配套聚焦环向上运动，达到一个取靶方便的目的，该工装操作简单、方便，可以避免靶材配套聚焦环圆度较差而引起的一系列问题。
一种配套聚焦工装

[实用新型]一种靶材配套聚焦环的校圆工装-CN201721873399.X有效
发明人：李玉鹏;王绍帅;薛宏宇;于海洋;王庄;徐国进;陈明;万小勇;丁照崇 -专利权人：有研亿金新材料有限公司
申请日： 2017-12-28 - 公布日： 2018-10-02 - 主分类号： B21D3/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了属于溅射技术领域的一种靶材配套聚焦环的校圆工装，该工装采取凸模与凹模配合校圆的一种模式。已经加工好的环靶材配套聚焦环放置在凹模的内部并且紧贴凹模的内模壁，凸模在小型油压机的作用下向下运动与凹模进行配合。凸模与凹模的间隙中为靶材配套聚焦环，凸模与凹模配合时以均匀的压力对靶材配套聚焦环进行校圆。经过适当的保压时间，达到校圆的目的。凹模底部设有弹性装置。校圆完成后凸、凹模分离时，弹性装置推动推件块向上运动，推动靶材配套聚焦环向上运动，达到一个取靶方便的目的，该工装操作简单、方便，可以避免靶材配套聚焦环圆度较差而引起的一系列问题。
凹模聚焦环靶材配套凸模校圆弹性装置向上运动校圆工装工装本实用新型小型油压机配合向下运动内模壁推件块保压对靶溅射紧贴聚焦加工

[实用新型]提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件-CN201220389627.7有效
发明人：徐树深;梅丽文;张韬 -专利权人：兰州理工大学温州泵阀工程研究院
申请日： 2012-08-08 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种提高靶材利用率的水冷式电弧蒸发组件，包括靶材和磁环调节杆以及磁环，磁环固定在磁环调节杆上，磁环调节杆内有供冷却水通过的中空结构，磁环的前端是靶材；螺纹法兰和靶材伸缩套用螺纹连接并用定位螺钉定位，将弹性卡圈套入靶材的凹槽中然后将卡套螺母套在弹性卡圈上与螺纹法兰相连接；靶材与靶材伸缩套之间通过橡胶密封圈密封；本实用新型具有的有益效果是：卡套螺母、弹性卡簧、靶材、定位螺钉、橡胶密封圈、隔离板（靶材快要烧蚀穿的时候才用）和靶材伸缩套形成的连接方式，省却了在靶材上加工大直径螺纹（螺纹约占靶材厚度的30%左右）的弊端，提高了靶材利用率。
提高利用率水冷电弧蒸发组件

[实用新型]一种环状靶材包装装置-CN202122705785.0有效
发明人：王绍帅;董泽坤;李玉鹏;宋艳青;刘星浩;张志远;曾浩;张延宾 -专利权人：有研亿金新材料有限公司
申请日： 2021-11-04 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体及其他应用领域中使用的溅射靶材包装技术领域，尤其涉及一种环状靶材的包装装置，所述环状靶材包括主体溅射环、安装配件钉和螺帽；所述靶材包装装置包括包装盒、包装袋和包装泡沫，其中环件产品Coil泡沫衬底通过特殊设计，可实现对溅射环与配件的存放与防护；此环状靶材包装装置尺寸精简，极大节省了包装所需空间，可减少资源浪费、降低库房存储压力。并且通过对泡沫结构与产品放置方式的设计，有效实现了对环件与配件产品的防护与固定，通过跌落测试检测确认，可防止人为原因造成产品损坏，以及产品在运输过程中因包装不严密而发生松动的风险。
一种环状包装装置

[实用新型]一种拼接靶材-CN201721749467.1有效
发明人：黄勇彪;林文宝;刘海燕;李宝英 -专利权人：深圳市众诚达应用材料科技有限公司
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及拼接靶材，包括背板、设置在所述背板上的靶材组合件；所述靶材组合件包括若干靶材单元；所述若干靶材单元相互拼接形成所述靶材组合件；所述靶材组合四周边缘高度高于所述靶材组合件的中间高度。该拼接靶材通过在背板上设置由若干靶材单元相互拼接形成的靶材组合件，可以满足溅射或者半导体生成过程中对靶材尺寸的要求，另外，该靶材组合件四周边缘的高度高于该靶材组合件的中间高度，形成中间凹陷的结构，使得，溅射过程中，避免溅射粒子向靶材区域外溅射，从而提高了靶材的利用率，避免靶材资源浪费。
靶材组合件拼接靶材背板四周边缘溅射拼接本实用新型靶材区域溅射粒子中间凹陷对靶外溅半导体

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