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- [发明专利]渗透阻挡层-CN201610152573.5在审
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J·拉姆
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欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
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2009-01-26
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2016-06-22
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C23C14/08
- 氢渗透阻挡物的制备方法,包括以下步骤a)在基体(SUB)上沉积包括至少一个层(L1;L2;L3)的层系统(LS);其特征在于步骤a)包括以下步骤:b)沉积至少一个包括至少三元氧化物的氢阻挡层(HPBL)该装置包括可密封的容积和形成限定所述容积的边界的至少一部分的壁,其中所述壁包括氢渗透阻挡物,其包括包含至少一个层的层系统,其中所述层系统包括至少一个包括至少三元氧化物的氢阻挡层(HPBL)。优选地,所述至少三元氧化物基本上由Al、Cr和O组成,所述沉积所述至少一个氢阻挡层(HPBL)是使用物理气相沉积方法(特别是阴极电弧蒸发方法)进行的。优选地,步骤a)包括在所述基体(SUB)上沉积以下中的至少一个:粘合层(AdhL)、氢储存层(HStL)、保护层(ProtL)(特别是热阻挡层(ThBL)、扩散阻挡层(DBL)、氧化阻挡层(OxBL)、化学阻挡层(ChBL)、耐磨损层(WRL))。
- 渗透阻挡
- [发明专利]渗透阻挡层-CN200980103083.4无效
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J·拉姆
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欧瑞康贸易股份公司(特吕巴赫)
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2009-01-26
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2011-03-30
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C23C14/02
- 氢渗透阻挡物的制备方法,包括以下步骤a)在基体(SUB)上沉积包括至少一个层(L1;L2;L3)的层系统(LS);其特征在于步骤a)包括以下步骤:b)沉积至少一个包括至少三元氧化物的氢阻挡层(HPBL)该装置包括可密封的容积和形成限定所述容积的边界的至少一部分的壁,其中所述壁包括氢渗透阻挡物,其包括包含至少一个层的层系统,其中所述层系统包括至少一个包括至少三元氧化物的氢阻挡层(HPBL)。优选地,所述至少三元氧化物基本上由Al、Cr和O组成,所述沉积所述至少一个氢阻挡层(HPBL)是使用物理气相沉积方法(特别是阴极电弧蒸发方法)进行的。优选地,步骤a)包括在所述基体(SUB)上沉积以下中的至少一个:粘合层(AdhL)、氢储存层(HStL)、保护层(ProtL)(特别是热阻挡层(ThBL)、扩散阻挡层(DBL)、氧化阻挡层(OxBL)、化学阻挡层(ChBL)、耐磨损层(WRL))。
- 渗透阻挡
- [实用新型]储物格口及自助设备-CN201720053785.8有效
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张连清;盖玉先;刘会英;黄海忠;吕琪;张继刚
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山东新北洋信息技术股份有限公司
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2017-01-16
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2017-10-13
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G07F9/10
- 本实用新型涉及自助设备技术领域,公开了一种储物格口及自助设备。储物格口包括格口本体,格口本体包括相对的第一侧壁和第二侧壁,以及连接在第一侧壁和第二侧壁之间的后壁;第一侧壁、第二侧壁和后壁共同形成具备开口的储物空间;开口与后壁相对;还包括两个支撑部,两个支撑部沿水平方向间隔设置在储物空间中,两者之间形成从开口向后壁延伸的工作通道;还包括阻挡部,阻挡部设置于储物空间内且高于支撑部;阻挡部具备与后壁间隔设置的阻挡面,阻挡面横跨工作通道;阻挡部的下部设置有与工作通道连通的避让空间。本实用新型提供的储物格口及自助设备,能够减小取件时物品由平台脱落的可能性,提升了取件成功率。
- 储物格口自助设备
- [实用新型]一种水利工程用的漂浮物收集装置-CN202222455645.7有效
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李赞
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云南建投第六建设有限公司
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2022-09-16
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2023-02-14
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E02B15/10
- 本实用新型提供一种水利工程用的漂浮物收集装置,涉及水利工程技术领域,包括支撑柱,所述支撑柱的顶面螺栓连接有连接头,两个所述连接头之间设有转动杆,所述转动杆的表面安装有清理翻板,所述清理翻板的背面设有回收箱,所述回收箱的背面设有阻挡容器,所述阻挡容器与清理翻板的表面阵列开设有水流孔,所述回收箱的底面螺栓连接有加强架,所述回收箱顶面的接口内设有螺纹杆,装置安装在水流的下游处,漂浮物随着水流下游时经过清理翻板可被清理翻板阻挡,清理板将被阻挡的漂浮物收集至回收箱内等待集体被清理,结构简单,节约电力资源,方便工作人员操作控制,将漂浮物收集至回收箱时,其余的漂浮物则被阻挡容器阻挡,提高了漂浮物收集的质量。
- 一种水利工程漂浮收集装置
- [发明专利]去除阻挡层的方法-CN202010519561.8在审
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王晖;张洪伟;代迎伟;金一诺;王坚
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盛美半导体设备(上海)股份有限公司
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2020-06-09
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2021-12-10
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H01L21/311
- 本发明揭示了去除硅片上金属互连的阻挡层的方法,去除单层金属钌阻挡层,包括:氧化步骤,使用电化学阳极氧化工艺将单层的金属钌阻挡层氧化成钌氧化物层;氧化层刻蚀步骤,用刻蚀液对钌氧化物层进行刻蚀,去除钌氧化物层本发明还提出去除硅片上金属互连的阻挡层的方法,用于10nm及以下的工艺节点的结构中,结构包括衬底、介质层、阻挡层和金属层,介质层沉积在衬底上,介质层上形成凹进区,阻挡层沉积在介质层上,金属层沉积在阻挡层上,金属层是铜层,阻挡层是单层金属钌层,该方法包括:减薄步骤,对金属层进行减薄;去除步骤,去除金属层;氧化步骤,对阻挡层进行氧化,氧化步骤使用电化学阳极氧化工艺;氧化层刻蚀步骤,刻蚀氧化后的阻挡层。
- 去除阻挡方法
- [实用新型]一种环境保护沟渠杂物阻挡装置-CN202121372700.5有效
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崔皓
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徐州中科振丰环境科技研究院有限公司
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2021-06-18
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2022-01-14
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E02B13/02
- 本实用新型涉及一种环境保护沟渠杂物阻挡装置,包括安装架、框体、阻挡栏和固定板,安装架的内壁设有滑槽,滑槽内滑动设有框体,阻挡栏置于框体的内部,且与阻挡栏的内壁固定连接,固定板置于安装架的前后壁,固定板贯穿设有固定孔,框体的前壁固定设有两个滑竿,支撑板面向阻挡栏的一面固定设有清理钩,清理勾呈弯钩状,面向阻挡栏设置,框体正面靠近顶端的位置固定设有收卷器,收卷器内缠绕有链条,链条的一端与支撑板的中间位置固定连接,当阻挡栏被沉积物堵塞后,旋转收卷器,收卷器会带动链条缠绕在收卷器上,从而使支撑板向上移动,支撑板带动清理勾向上移动,在经过阻挡栏时,会将阻挡栏表面的悬浮物勾住,从而清理了阻挡栏表面的沉积物。
- 一种环境保护沟渠杂物阻挡装置
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