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[发明专利]一种定日镜镜面微弧调节工装及调节方法-CN201710127463.8有效
发明人：薛晨光;刘元宇;陆钧 -专利权人：中海阳能源集团股份有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种定日镜镜面微弧调节工装包括基础平台及固定底座，所述基础平台两侧均设有滑轨架，滑轨架上设有可前后移动的支撑架，两个支撑架间设有可上下移动的移动梁，移动梁底部前后两侧分别设有若干伸缩量可调的伸缩杆本发明还提供一种定日镜镜面微弧调节方法。本发明是国内首创的定日镜镜面微弧安装及调节工装，可实现大批量模块化组装；通过柔性工装的微调，可实现不同焦距，不同位置，不同大小的定日镜的镜面组装；采用自动化机械控制，确保定日镜在组装过程中各部件的精确定位，满足镜场对定日镜的精度要求；同时避免了因不同技术水平的工人作业产生的装配误差，安装精度统一可靠；安装方法及过程简单便捷，省时省力。
一种定日镜镜面微弧调节工装方法

[实用新型]一种定日镜镜面微弧调节工装-CN201720208185.4有效
发明人：薛晨光;刘元宇;陆钧 -专利权人：中海阳能源集团股份有限公司
申请日： 2017-03-06 - 公布日： 2017-11-28 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种定日镜镜面微弧调节工装，包括基础平台及固定底座，所述基础平台两侧均设有滑轨架，滑轨架上设有可前后移动的支撑架，两个支撑架间设有可上下移动的移动梁，移动梁底部前后两侧分别设有若干伸缩量可调的伸缩杆本实用新型是国内首创的定日镜镜面微弧安装及调节工装，可实现大批量模块化组装；通过柔性工装的微调，可实现不同焦距，不同位置，不同大小的定日镜的镜面组装；采用自动化机械控制，确保定日镜在组装过程中各部件的精确定位，满足镜场对定日镜的精度要求；同时避免了因不同技术水平的工人作业产生的装配误差，安装精度统一可靠；安装方法及过程简单便捷，省时省力。
一种定日镜镜面微弧调节工装

[实用新型]一种新型菲涅尔反射聚焦支架装置-CN201420259638.2有效
发明人：许世森;郑建涛;徐越;刘明义;徐海卫;刘冠杰;裴杰;曹传钊 -专利权人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能集团技术创新中心
申请日： 2014-05-21 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： G02B7/185 文献下载
摘要：一种新型菲涅尔反射聚焦支架装置，包括微弧支撑组件和旋转轴组件，微弧支撑组件包括微弧形状的镜面支撑，镜面支撑的弧顶位置设置有半圆管结构的镜面支撑连接件；旋转轴组件包括旋转轴，旋转轴的两端设置有连接法兰，旋转轴上设置有撑筋；旋转轴卡在所述镜面支撑连接件的半圆管中实现两组件的连接，本实用新型制造安装简单，制造组件少，现场工作量小，可精确的保证平面镜的成型弧度，并保证了较长旋转轴的刚性，减少其弯曲程度，并相应减少整个地基数量
一种新型菲涅尔反射聚焦支架装置

[实用新型]一种可进行微弧调节的线聚焦反射支架装置-CN201120562396.0有效
发明人：许世森;刘冠杰;郑建涛;徐越;刘明义;徐海卫;裴杰;李启明 -专利权人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司
申请日： 2011-12-29 - 公布日： 2012-09-26 - 主分类号： F24J2/54 文献下载
摘要：一种可进行微弧调节的线聚焦反射支架装置，包括与追踪系统相连的主轴，主轴水平设置于支撑横梁下方，支撑横梁上等间隔设置有两个以上的竖直可调支点，可调支点与反射镜底座活动连接，本实用新型基于机械冷变形的原理，利用本实用新型的支架装置来调节平面镜的弧度，可以快速低成本地制备微弧镜面，和现有热弯加工弧面镜技术相比，由于可以直接使用普通平面镜，因此加工成本大幅降低，而且对于微弧镜而言，也大大降低了加工工艺的复杂程度并提高了反射镜弧形的精确度，因此可以大幅提高线聚焦反射镜的聚光效率，降低系统的安装调试成本。
一种进行调节聚焦反射支架装置

[发明专利]MEMS微镜结构-CN201810379658.6在审
发明人：程进;徐乃涛;孙其梁;汤红;臧寿兵 -专利权人：中科芯集成电路股份有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种微镜结构，尤其是一种MEMS微镜结构，属于MEMS封装结构的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述MEMS微镜结构，包括制备于微镜框架内的微镜镜面，所述微镜镜面通过微镜驱动结构与微镜框架适配连接；还包括用于驱动控制微镜镜面的镜面驱动控制体，微镜框架通过框架锡球焊接固定在镜面驱动控制体上，镜面驱动控制体通过框架锡球、微镜框架以及微镜驱动结构与微镜镜面电连接。
微镜镜面镜面驱动控制体微镜驱动锡球封装结构工艺兼容焊接固定驱动控制适配连接电连接制备封装

[实用新型]一种电磁式MEMS扭转微镜-CN202021855942.5有效
发明人：秦毅;王福杰;姚智伟;任斌;郭芳 -专利权人：东莞理工学院
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种电磁式MEMS扭转微镜，包括微镜反射镜面、弹性梁、驱动线圈、框架和基座，其中：所述微镜反射镜面与所述框架通过所述弹性梁连接；所述弹性梁与所述微镜反射镜面连接，用以固定连接所述微镜反射镜面与框架；所述驱动线圈设置在所述基座上，用以对所述微镜反射镜面提供驱动力；所述框架用以固定所述微镜反射镜面；所述基座设置在所述微镜反射镜面所在的平面上。
一种电磁式 mems 扭转

[实用新型]微弧镜面曲率与法向平面可调整的菲涅尔聚光反射镜镜架-CN201320139002.X有效
发明人：张家兴;毛方 -专利权人：金华金大光能科技有限公司
申请日： 2013-03-26 - 公布日： 2013-07-31 - 主分类号： G02B7/185 文献下载
摘要：一种微弧镜面曲率与法向平面可调整的菲涅尔聚光反射镜镜架，属于太阳能光热发电装置技术领域。它包括菲涅尔聚光反射镜镜架，菲涅尔聚光反射镜镜架包括一根承力主梁，安装在承力主梁上方的二根以上上方支撑横梁，二根以上上方支撑横梁上固定的二根以上支撑安装反射镜的反射镜安装纵向梁，其特征在于承力主梁的二端还各装有一套筒连接头，承力主梁下方与二根以上上方支撑横梁对应处安装有二根以上下方支撑横梁，上方支撑横梁与纵向梁之间、下方支撑横梁与上方支撑横梁之间装有微弧反射镜曲率与法向平面调整装置。本实用新型其具有的微弧镜面法向平面调整装置可以对安装在镜架上的反射镜的法向平面位置进行设置调整。
微弧镜面曲率平面可调整菲涅尔聚光反射镜架

[实用新型]MEMS微镜结构-CN201820598607.8有效
发明人：程进;徐乃涛;孙其梁;汤红;臧寿兵 -专利权人：中科芯集成电路股份有限公司
申请日： 2018-04-25 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种微镜结构，尤其是一种MEMS微镜结构，属于MEMS封装结构的技术领域。按照本实用新型提供的技术方案，所述MEMS微镜结构，包括制备于微镜框架内的微镜镜面，所述微镜镜面通过微镜驱动结构与微镜框架适配连接；还包括用于驱动控制微镜镜面的镜面驱动控制体，微镜框架通过框架锡球焊接固定在镜面驱动控制体上，镜面驱动控制体通过框架锡球、微镜框架以及微镜驱动结构与微镜镜面电连接。
微镜本实用新型镜面镜面驱动控制体微镜驱动锡球封装结构工艺兼容焊接固定驱动控制适配连接电连接制备封装

[发明专利]一种可保证成型弧度的菲涅尔反射聚焦支架装置-CN201410216777.1在审
发明人：许世森;郑建涛;徐越;刘明义;徐海卫;刘冠杰;裴杰;曹传钊 -专利权人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能集团技术创新中心
申请日： 2014-05-21 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： G02B7/185 文献下载
摘要：一种可保证成型弧度的菲涅尔反射聚焦支架装置，包括微弧支撑组件和旋转轴组件，微弧支撑组件包括微弧形状的镜面支撑，镜面支撑的弧顶位置设置有半圆管结构的镜面支撑连接件；旋转轴组件包括旋转轴，旋转轴的两端设置有连接法兰，旋转轴上设置有撑筋；旋转轴卡在所述镜面支撑连接件的半圆管中实现两组件的连接，本发明制造安装简单，制造组件少，现场工作量小，可精确的保证平面镜的成型弧度，并保证了较长旋转轴的刚性，减少其弯曲程度，并相应减少整个地基数量
一种保证成型弧度菲涅尔反射聚焦支架装置

[发明专利]热驱动MEMS微镜及1×N热驱动MEMS微镜阵列-CN201410199558.7有效
发明人：丁金玲;陈巧;谢会开 -专利权人：无锡微奥科技有限公司
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-09-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种热驱动MEMS微镜及1×N热驱动MEMS微镜阵列，热驱动MEMS微镜由镜面、微镜镜框以及连接镜面和微镜镜框的电热驱动臂组成，所述微镜镜框成对的设置于镜面的相对两侧，通过在所述电热驱动臂上施加偏置电压使微镜镜面旋转阵列包括N个热驱动微镜单元和设有空腔的衬底；所述微镜镜框成对的设置于镜面的相对两侧并固定于衬底空腔上，通过在所述电热驱动臂上施加偏置电压使对应微镜镜面旋转；所述N个热驱动微镜单元之间以相等间隙地排列形成1×N微镜阵列。本发明每个微镜用两侧电热驱动臂单独控制，可以调整驱动臂的长度实现不同角度量程的设计，且阵列具备低电压驱动、高镜面填充率、大量程设计，可以有效降低热串扰。
驱动 mems 阵列

[发明专利]一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺-CN202310949282.9在审
发明人：许煜;白民宇;孟庆阳;彭磊;马力;姜军委;张妮妮 -专利权人：西安知象光电科技有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：一种防止镜面动态变形的扭转微振镜芯片及其制备工艺，芯片包括键合玻璃上制备的扭转微振镜镜面，扭转微振镜镜面外周设有扭转微振镜镜面外框，镜面外框两侧分别与微振镜转轴的一端相连接，微振镜转轴的另一端与芯片外框相连接，微振镜转轴的两侧对称布置有扭转微振镜阵列梳齿，扭转微振镜阵列梳齿外侧分别设有梳齿驱动阵列，梳齿驱动阵列及芯片外框上分别布置有金属焊盘；制备工艺包括刻蚀SOI晶圆器件层、静电键合、去除底硅层和埋氧层、溅射SOI晶圆器件层背面和刻蚀SOI晶圆器件层背面；本发明通过在扭转微振镜镜面正面采用外框支撑，扭转微振镜镜面背面采用加强筋结构，从而减少镜面动态变形，具有高可靠性、高一致性、高重复性和低成本等优点。
一种防止动态变形扭转微振镜芯片及其制备工艺

[发明专利]集成角度传感器的大面积压电驱动微镜-CN200910104403.X无效
发明人：温志渝;罗彪;温中泉;贺学锋 -专利权人：重庆大学
申请日： 2009-07-22 - 公布日： 2009-12-30 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：本发明提出一种集成角度传感器的压电驱动扫描微镜，它包括集成在同一基片材料上的MOEMS微镜反射镜面、MOEMS微镜驱动器、MOEMS微镜角度传感器三部分。微镜驱动器由多根压电梁并联构成，微镜驱动器对称分布在MOEMS微镜反射镜面的两边，通过基片材料形成的梁结构与MOEMS微镜反射镜面连成一体，微镜镜面进行驱动和支撑；微镜角度传感器在微镜反射镜面和微镜驱动器连接位置处，并与微镜驱动器的电极层之间留有电气隔离间隙。
集成角度传感器大面积压电驱动

[发明专利]一种多位置高度可调的线聚焦反射支架装置-CN201110449612.5有效
发明人：许世森;刘冠杰;郑建涛;徐越;刘明义;徐海卫;裴杰;李启明 -专利权人：中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司
申请日： 2011-12-29 - 公布日： 2012-06-13 - 主分类号： F24J2/54 文献下载
摘要：一种多位置高度可调的线聚焦反射支架装置，包括与追踪系统相连的主轴，主轴水平设置于支撑横梁下方，支撑横梁上等间隔设置有两个以上的竖直可调支点，可调支点与反射镜底座活动连接，本发明基于机械冷变形的原理，利用本发明的支架装置来调节平面镜的弧度，可以快速低成本地制备微弧镜面，和现有热弯加工弧面镜技术相比，由于可以直接使用普通平面镜，因此加工成本大幅降低，而且对于微弧镜而言，也大大降低了加工工艺的复杂程度并提高了反射镜弧形的精确度，因此可以大幅提高线聚焦反射镜的聚光效率
一种位置高度可调聚焦反射支架装置

[发明专利]一种定日镜面型微弧角度的计算方法-CN201710341959.5有效
发明人：王娟娟;华文瀚;奚正稳;孙登科;蒋超猛;何杰 -专利权人：东方电气集团东方锅炉股份有限公司
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2020-05-08 - 主分类号： G06F17/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种定日镜面型微弧角度的计算方法，包括如下步骤：建立m×n个子镜坐标系；确定子镜排序规则；依次求出每一环定日镜的一组最优倾斜角xk。与现有技术相比，本发明的积极效果是：本发明提出了一种较为便利的计算方法，可以准确、高效的计算出全镜场不同位置的定日镜的微弧角度，并且综合了工程施工便利的考虑，根据角度分布规律，将全镜场分为若干环区，每个环区采用同一套微弧角度，这样不仅能保证镜场的光学性能，也不会给工程施工造成不利影响。采用本发明方法使反射光斑尺寸缩小，能流密度分布更加集中，减少了溢出损失，提高了镜场效率，最终可达到降低镜场成本的终极目的。
一种定日镜面型微弧角度计算方法

[实用新型]一种弧面反射镜镜面清洗系统-CN201620793611.0有效
发明人：李志清;叶磊 -专利权人：武汉圣普太阳能科技有限公司
申请日： 2016-07-26 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： B08B11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种弧面反射镜镜面清洗系统，包括机架，还包括设置在机架上用于输送弧面反射镜的同步带输送装置和压轮定位装置，以及用于清洗弧面反射镜的辊刷清洗装置。本实用新型提高了弧面反射镜镜面清洗的作业效率和作业稳定性，对不同尺寸型号的弧面反射镜进行清洗前各部件的调节方便，辊刷更换便捷，减少了人工作业的劳动成本，能够适应行业内现有各种弧面反射镜产品的镜面金属污染的清洗作业
一种反射镜镜面清洗系统

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