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[发明专利]一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法-CN202211294094.9在审
发明人：姚力军;潘杰;周鹏飞;王学泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： B24B29/08 文献下载
摘要：本发明提供一种拼接型高纯铝管靶的抛光方法，所述抛光方法包括对拼接型高纯铝管靶表面依次进行第一砂纸处理、第二砂纸处理和百洁布处理，得到抛光后的拼接型高纯铝管靶；所述拼接型高纯铝管靶从内至外依次包括304不锈钢内管、铟焊料层和高纯铝管；所述高纯铝管的纯度≥99.9wt％。本发明所述抛光方法操作简单，抛光后的拼接型高纯铝管靶表面粗糙度符合要求，并且纹路一致，达到了铝管靶的溅射使用要求，具有大规模工业化推广应用前景。
一种拼接高纯铝管靶抛光方法

[发明专利]一种纯铝管状靶材与铝合金配件的搅拌摩擦焊方法-CN202211083845.2在审
发明人：姚力军;潘杰;龚祖光;王学泽;凌培文 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B23K20/12 文献下载
摘要：本发明提供一种纯铝管状靶材与铝合金配件的搅拌摩擦焊方法，所述搅拌摩擦焊方法包括如下步骤：(1)纯铝管状靶材依次进行挤压、拉伸、校直热处理和机加工处理，得到待焊接纯铝管状靶材；铝合金配件进行机加工处理，得到待焊接的铝合金配件；(2)所述待焊接纯铝管状靶材与待焊接的铝合金配件经搅拌头的转速为1000～1500r/min且焊接点移动速度为0.03～0.05m/min的搅拌摩擦焊，得到成品管状靶材。本发明所述搅拌摩擦焊方法适应多种尺寸纯铝管状靶材的焊接，焊接效率高且焊接质量好，具有大规模工业化推广应用前景。
一种管状铝合金配件搅拌摩擦方法

[发明专利]一种铝旋转靶材的连接方法-CN202111241638.0有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;宋阳阳;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B23K9/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝旋转靶材的连接方法，所述铝旋转靶材包括铝管和铝合金法兰端头，所述铝管的两端设有内螺纹，所述铝合金法兰端头上设有外螺纹，通过所述内螺纹与所述外螺纹将所述铝管和所述铝合金法兰端头进行螺纹连接，将所述铝管和所述铝合金法兰端头的连接处进行氩弧焊，得到铝旋转靶材；本发明采用螺纹连接和氩弧焊的方法制备了靶材端头不易变形的铝旋转靶材，提高铝旋转靶材在高功率下的溅射效率，进而提高产量；且方法简单，稳定性好
一种旋转连接方法

[发明专利]用于液晶平板显示器镀膜的高纯铝靶材挤压处理方法-CN201510736797.6在审
发明人：曹兴民;庄志杰 -专利权人：基迈克材料科技（苏州）有限公司
申请日： 2015-11-03 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： C22F1/04 文献下载
摘要：用于液晶平板显示器镀膜的高纯铝靶材挤压处理方法，选取高纯实心铝锭加热使其呈半熔融状态，通过运输轨道进入挤压机中，在挤压机和模具的共同作用下铝锭从挤压机出口处缓慢挤出；经测量计算可得总变形量为81.14％；将冷却后的铝管退火处理，细化晶粒，改善组织；最后根据图纸对铝管进行机械加工，包括表面处理、切割等即得成品。制备高纯铝管靶工艺简单，方便快捷，提高了效率；制得的高纯铝管靶具有细晶组织，晶粒尺寸≤200μm，组织均匀且具有立方织构，能有效提升高纯度铝靶的溅射速率；挤压过程中的挤压温度、挤压速度和挤压力形成一个闭环系统
用于液晶平板显示器镀膜高纯铝靶材挤压处理方法

[实用新型]一种铝加热棒装置-CN202223468747.9有效
发明人：曹兴民 -专利权人：苏州罗纳尔材料科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种铝加热棒装置，包括长度不大于3m的铝管、加热孔和加热管；所述铝管中空设置；所述铝管的两端均对称开设有直径范围为14‑16mm的加热孔，所述铝管一端加热孔的数量至少为三个，所述加热孔由铝管的端面向铝管的中心面延伸，且所述加热孔的轴线与铝管的轴线相平行；所述加热管设置于加热孔内。该铝加热棒装置，通过对铝管采用两端对打的方式钻孔作为加热孔，能够在加热孔直径为14mm的前提下，实现更长的加热长度，从而满足较长靶材的预热需求，提升铝加热棒装置的适用范围；通过在铝管的一端设置不少于三个的加热孔，加热孔均匀分布于铝管的一端，使得靶材在铝加热棒的作用下均匀预热，保证整体的预热效果。
一种加热装置

[发明专利]一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法-CN202111415516.9有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;宋阳阳;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管进行装配，其中不锈钢管在高纯铝管内部，不锈钢管和高纯铝管之间预留缝隙；(2)所述装配后的高纯铝管与不锈钢管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；(3)所述密封后的高纯铝管与不锈钢管进行脱气；(4)所述脱气后的高纯铝管与不锈钢管置于塑料胶套中，塑料胶套密封并进行冷等静压处理，得到处理后的高纯铝管与不锈钢；所述方法通过螺纹加工以及冷等静压工艺得到了无明显焊缝且结合力佳的高纯铝旋转靶
一种高纯旋转静压绑定方法

[发明专利]一种铝管靶焊接底座辅助装置及其使用方法-CN202210078535.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;周鹏飞 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-01-24 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本发明提供一种铝管靶焊接底座辅助装置及其使用方法，所述装置包括基座，所述基座设置有容纳铝管靶内管的凹槽，所述凹槽顶端边缘设置有密封槽。
一种铝管靶焊接底座辅助装置及其使用方法

[实用新型]一种具有新颖结构的开放式激波报靶器-CN202122777981.9有效
发明人：刘宗坤;陈小林;陈志麟;钟鸿翔 -专利权人：成都信科宸电子科技有限公司
申请日： 2021-11-12 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： F41J5/06 文献下载
摘要：实用新型涉及一种具有新颖结构的开放式激波报靶器，包括防护铝管，防护铝管内安装有多个激波探测单元；所述的激波探测单元在感应部分具有柔性的环形凸起，防护铝管上开有多个孔A；环形凸起适配安装在孔A内，形成密封结构；防护铝管内还设置有挤压铝管、导轨。
一种具有新颖结构开放式激波报靶器

[发明专利]一种铝旋转靶的热等静压扩散焊接的方法-CN202111415498.4有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;宋阳阳;吴东青 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝旋转靶的热等静压扩散焊接的方法，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管和低碳钢管进行装配得到套管，所述套管由内到外依次为不锈钢管、高纯铝管和低碳钢管，不锈钢管、高纯铝管和低碳钢管之间分别预留缝隙；(2)所述套管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；(3)所述焊接密封后的套管进行脱气；(4)所述脱气后的套管进行热等静压处理，得到焊接结合的铝旋转靶与不锈钢管；所述方法通过加工螺纹、脱气以及热等静压扩散工艺得到了无明显焊缝且结合力佳的铝旋转靶。
一种旋转静压扩散焊接方法

[发明专利]一种铬铝旋转管靶的制备方法-CN202211260943.9在审
发明人：姚力军;潘杰;吴东青;黄洁文 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B22F3/15 文献下载
摘要：本发明提供了一种铬铝旋转管靶的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)以两根内径不同的铝管作为内外包套，所述内外包套同轴放置并形成缝隙，经盖板对所述缝隙的一端进行密封，混合均匀的铬粉和铝粉装入一端密封的缝隙，用带孔盖板对所述缝隙另一端进行密封，得到靶材包套；(2)对所述靶材包套进行脱气，然后进行热等静压，得到成型靶材，去除所述成型靶材外部的盖板、带孔盖板和包套，得到铬铝旋转靶坯；(3)不锈钢管同轴放置于所述铬铝旋转靶坯内部，进行铟焊，得到所述铬铝旋转管靶；所述制备方法利用铝管作为热等静压包套，并用不锈钢管作为背管，成本降低的同时保证了管靶的均匀度和强度。
一种旋转制备方法

[发明专利]一种高纯铝旋转靶材的制造方法-CN201711187569.3有效
发明人：周纪平;文宏福 -专利权人：韶关市欧莱高新材料有限公司;东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种高纯铝旋转靶材的制造方法，包括步骤：选取高纯铝圆锭，对其进行热穿孔挤压处理，得到高纯铝管坯；然后进行矫直、退火处理；选取铝合金为靶材端头材料，对其进行表面硬质氧化处理，得到铝合金端头；将高纯铝管坯铝合金端头进行焊接，得到高纯铝旋转靶材。通过本发明制得的高纯铝旋转靶材，其显微组织内部的裂纹、气孔、疏松、夹杂、分层等缺陷大大较少，显微组织细小均匀，晶粒度尺寸不大于100微米；其通过氦质谱测漏仪测量的泄漏率数值≤5×10^‑10
一种高纯旋转制造方法

[实用新型]一种高性能优质合金靶材-CN202120821078.5有效
发明人：吴丽君;覃雪峰;陈淑娇 -专利权人：漳州市合琦靶材科技有限公司
申请日： 2021-04-21 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高性能优质合金靶材，属于合金靶材技术领域，该高性能优质合金靶材，包括靶材本体，靶材本体的上底面具有一个外缘凸起、中心凹陷的上底面，靶材本体与上底面相对的下底面中心具有一个安装孔，靶材本体的下底面与底座的上底面紧密贴合，底座的上端通过连接螺栓固定安装有铝管层，安装限位圈的上端设有抗腐蚀层，抗腐蚀层的上端固定安装有靶材本体，通过设置降温孔和出流孔间的配合，以及安装孔与连接螺栓之间的配合，可以实现靶材本体相对于底座的快速定位安装，节省工时，提高加工效率，通过靶材本体与底座材料间相配合的接触表面非平整，扩大了两者间的接触面积，提高接触散热的效率。
一种性能优质合金

[发明专利]旋转铝靶材及其制备方法-CN202310836114.9在审
发明人：沈英华;白毅;马小红;郭永强;徐亚军;丁继鸿;邵新锋;李芳 -专利权人：新疆众和股份有限公司
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种旋转铝靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：提供高纯铝铸锭；对所述高纯铝铸锭进行冷锻造处理，得到第一锻坯；对所述第一锻坯进行车削处理，得到第二锻坯；将所述第二锻坯在50℃～60℃温度下进行去应力退火处理1h～2h；对所述去应力退火后的第二锻坯进行穿孔挤压处理，得到第一铝管坯；其中，穿孔针的温度为350℃～450℃，挤压筒的温度为350℃～450℃，挤压速度为0.5m/s～1.5m/s；将所述第一铝管坯在280℃～320℃温度下进行再结晶退火处理3h～6h，得到旋转铝靶材。本发明的制备方法对原材料高纯铝铸锭的晶粒度要求较低，可以采用晶粒度较大的高纯铝铸锭制备得到内部无缺陷、组织致密、均匀性好、平均晶粒度＜100μm的旋转铝靶材，能够满足客户法使用需求，适于工业化批量生产。
旋转铝靶材及其制备方法

[实用新型]一种钛铝管靶夹持加工装置-CN201821544410.2有效
发明人：王雷;戚甫伟 -专利权人：唐山凯莱新材料有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： B23Q3/06 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种钛铝管靶夹持加工装置，包括固定板，固定板的上端中部贯穿有连接孔，固定板的上端固定连接有固定环，固定环的外侧固定连接有连接片，固定环的外侧下方焊接有固定片，固定环的环体均螺纹连接有固定柱通过固定环和连接片，能够使固定环拆分呈4片固定板，使人们在需要纵向固定管靶时，方便将管靶进行固定，通过防磨柱，使连接柱在与管靶接触时，能够有效的防止连接柱将管靶的表面刮伤，导致管靶不能够正常使用，通过固定柱与固定环螺纹连接，能够将不同直径的管靶进行固定适用于钛铝合金领域，具有良好的发展前景。
固定环管靶固定板固定柱防磨加工装置螺纹连接连接片连接柱夹持钛铝本实用新型上端固定一端设置纵向固定钛铝合金固定片连接孔贯穿上端刮伤环体焊接橡胶

[发明专利]一种高纯铝管溅射靶材的制备方法-CN202210792478.7在审
发明人：唐智勇;唐安泰 -专利权人：株洲火炬安泰新材料有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种高纯铝管溅射靶材的制备方法，所述高纯铝管溅射靶材的制备方法具体步骤如下：原材料准备、真空冶炼、真空浇注、冷等静压、热加工、退火处理、冷却、机械加工以及包装入库，涉及溅射靶材技术领域，其中，本发明中在溅射靶材生产流程中采用了热加工处理以及退火处理工艺，可以使得待加工材料内部的孔隙降低，而且对粉末进行冷等静压操作时，将坯料在1600℃下烧结，同时在烧结时要适当保持一定的氧分压，可防止靶材中的物料分解
一种高纯溅射制备方法

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