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[发明专利]一种钛铝合金靶材与铝合金背板的钎焊方法-CN202310089613.6在审
发明人：姚力军;潘杰;廖培君;陈石;周友平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： B23K1/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛铝合金靶材与铝合金背板的钎焊方法，所述钎焊方法包括如下步骤：(1)钛铝合金靶材的焊接面依次经喷砂处理与镀镍处理，得到预处理钛铝合金靶材；(2)将净化铝合金背板与步骤(1)所得预处理钛铝合金靶材分别独立地进行浸润处理，得到浸润铝合金背板与浸润钛铝合金靶材；(3)将步骤(2)所得浸润钛铝合金靶材与浸润铝合金背板扣合，在加压条件下冷却后得到钛铝合金靶材组件。本发明通过对钛铝合金靶材的焊接面进行预处理，搭配合理的浸润工艺参数与冷却方式，所得钛铝合金靶材组件的焊接结合率与结合强度较高，可以满足作为溅射材料的高品质要求。
一种铝合金背板钎焊方法

[发明专利]一种高铬铝合金靶材及制备方法-CN202210092184.3有效
发明人：王新锋;刘李旭;向长淑;陈斌科;姚甜;孙恒超;肖成桥;苏腾飞;郭栋 -专利权人：西安赛隆金属材料有限责任公司
申请日： 2022-01-26 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B22F3/15 文献下载
摘要：本公开实施例是关于一种高铬铝合金靶材及制备方法。该方法包括：根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围；根据铬铝合金靶材的性能参数的数值范围确定制备铬铝合金靶材的工艺方法；利用工艺方法进行铬铝合金靶材的制备；其中，两相结构由铬相和铬铝合金相组成，且相互穿插均匀分布，铬铝合金靶材的性能参数数值范围为：铬相的面积占比为10%～35%，铬铝合金相的面积占比为65%～90%。本公开实施例通过根据铬铝合金靶材的两相结构要求确定铬铝合金靶材的性能参数的数值范围，利用制备工艺制备出符合具有两相结构的铬铝合金靶材，提高了镀膜的均匀性及机械加工性能。
一种铝合金制备方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材及其焊接的方法-CN202010953029.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;冯新印;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明提供一种钛铝合金靶材及其焊接的方法，所述钛铝合金靶材组件焊接的方法通过在钛铝合金靶材与背板之间设置一层纯铝中间层，并在钛铝合金靶材远离背板的一侧设置纯铝盖板，降低了扩散焊接的难度，提高了钛铝合金靶材与背板的焊接强度并减少了焊接过程中钛铝合金靶材开裂的情况
一种铝合金及其焊接方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材的制备方法-CN202011231607.2在审
发明人：黄永香 -专利权人：湖南七点钟文化科技有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种钛铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将钛粉和铝粉置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物采用滚动加热熔炼工艺制备钛铝合金靶材生坯，将所述钛铝合金靶材生坯进行热压烧结，得到钛铝合金靶材粗品；C)将所述钛铝合金靶材粗品进行退火，得到钛铝合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的钛铝合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
一种铝合金制备方法

[发明专利]复合钛铝合金靶及其制备方法-CN200710120869.X无效
发明人：谢元锋;吕宏;王玉民;赵昌森;李屹民 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2007-08-28 - 公布日： 2008-01-30 - 主分类号： C23C14/14 文献下载
摘要：生产成本低、导热性能好的复合钛铝合金靶及其制备方法。技术方案是：复合钛铝合金靶，其特征在于：钛铝合金靶材的形状为在上或下表面上设置有凹槽的圆柱体，背靶的形状包括一圆柱体底座，圆柱体底座的上表面与钛铝合金靶材的下表面面积相同。制备方法包括下列步骤：将钛铝合金靶面在超声清洗器中清洗后，在钛铝合金表面涂覆金属化材料，然后放入真空炉中，在高于合金熔点的温度保温一定时间，然后冷却至室温；将Al、Cu、Mo或它们的合金背靶在超声清洗其中清洗干净；将钛铝合金靶面与背靶中间夹上焊料装配，根据溅射工艺条件在真空炉中或大气中焊接。
复合铝合金及其制备方法

[发明专利]一种铜靶材与铝合金背板焊接的方法-CN202211056052.1在审
发明人：姚力军;潘杰;陈石;周友平;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B23K26/342 文献下载
摘要：本发明提供了一种铜靶材与铝合金背板焊接的方法，所述方法包括以下步骤：(1)铝合金背板表面激光熔覆铜增材，得到覆铜铝合金背板；(2)所述覆铜铝合金背板的铜增材部分加工出螺纹，对覆铜铝合金背板和铜靶材进行表面处理；(3)所述铜靶材与所述覆铜铝合金背板的熔覆面进行扣合，扣合后整体置于包套，进行热等静压，完成所述铜靶材和铝合金背板的焊接；所述方法通过先在铝合金背板上熔覆铜材料，铜材料之间能在低温焊接下进行高强度结合，实现了铜靶材与铝合金背板焊接同时满足铜靶材具有小的晶粒尺寸和高的结合强度这两个要求。
一种铜靶材铝合金背板焊接方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材的焊接方法-CN202011099163.1在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;江胜君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种钛铝合金靶材的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：(1)对钛铝合金靶材和背板分别进行表面预处理，所述表面预处理为喷砂镀镍处理和/或抛光处理；(2)对经过表面预处理的钛铝合金靶材进行加热，然后将焊料分布在钛铝合金靶材的焊接面上；(3)对经过表面预处理的背板进行加热，然后将焊料分布在背板的焊接面上；(4)将分布有焊料的钛铝合金靶材与分布有焊料的背板贴合并进行钎焊焊接，冷却后得到钛铝合金靶材组件；其中，步骤(2)与步骤(3)不分先后顺序本发明提供的焊接方法适用于钛铝合金靶材的焊接，实现了低温环境下即可提高钛铝合金靶材的焊接结合率和焊接强度。
一种铝合金焊接方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材的再生方法-CN202310089614.0在审
发明人：姚力军;潘杰;廖培君;陈石;周友平 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C22B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种钛铝合金靶材的再生方法，所述再生方法包括如下步骤：(1)钛铝合金残靶经预处理，得到钛铝合金靶块；(2)步骤(1)所得钛铝合金靶块依次经酸洗、水洗以及有机溶剂清洗，干燥处理后得到除杂靶块；(3)电磁感应熔炼步骤(1)所述除杂靶块，所得熔体经超声波处理与冷却，得到所述钛铝合金靶材。本发明采用电磁感应熔炼耦合超声波处理，实现了晶粒再结晶，促进了细小等轴晶的生成，制得的钛铝合金靶材成分和组织均匀、晶粒细小且杂质含量低，可作为溅射材料再利用。
一种铝合金再生方法

[发明专利]一种氧化锌铝合金靶材的制备方法-CN202011232513.7在审
发明人：黄永香 -专利权人：湖南七点钟文化科技有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明提供了一种氧化锌铝合金靶材的制备方法，包括以下步骤：A)将氧化锌和氧化铝置于真空滚动混料机中混合，得到混合物；B)将所述混合物抽真空后冷等静压，得到粗坯，将所述粗坯进行二次压制，得到合金靶材生坯；C)将合金靶材生坯进行真空热压烧结，得到氧化锌铝合金靶材粗品；D)将所述氧化锌铝合金靶材粗品进行退火，将步骤A)的混合物等离子喷涂至退火后的氧化锌铝合金靶材粗品表面，得到氧化锌铝合金靶材。本申请制备了具有组织均匀晶粒细小、高耐热冲击性能的氧化锌铝合金靶材，该种合金靶材作为旋转靶真空镀膜，可得到高电阻、抗电磁干扰、防静电、抗磨损的优质薄膜，可增加膜层的均匀性，提高靶材的利用率。
一种氧化锌铝合金制备方法

[发明专利]一种铝靶材与铝合金背板的装配方法-CN202011305209.0有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈石;廖培君 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-11-19 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供一种铝靶材与铝合金背板的装配方法，所述方法包括以下步骤：(1)对所述铝合金背板进行固溶处理和时效处理，得到硬度增强铝合金背板；(2)对步骤(1)得到的所述硬度增强铝合金背板的焊接面进行车削螺纹，并对所述铝靶材以及铝合金背板进行酸洗处理，得到预处理后的铝靶材以及铝合金背板；(3)将所述预处理后的铝靶材以及铝合金背板进行装配并置于包套中，抽真空后进行热等静压焊接。所述装配方法在不影响铝靶材晶粒大小的同时有效提高了铝合金背板的硬度，也可以保证背板和铝靶材有较高的焊接结合强度。
一种铝靶材铝合金背板装配方法

[发明专利]一种铝合金靶材及其制备方法-CN201811470627.8在审
发明人：温艳玲;惠知;张学智 -专利权人：河北冠靶科技有限公司
申请日： 2018-12-04 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明属于材料加工技术领域，具体涉及一种铝合金靶材及其制备方法。所述的铝合金靶材，以相应原子百分比的铜、硅和稀土元素为原料，制备铝合金靶材，改善所述铝合金靶材的导电性、抗腐蚀性能和抗氧化性能。具体地，铜的加入，使所述铝合金靶材的导电性能提高，硅的加入改变所述铝合金靶材的热膨胀系数，消除薄膜中产生的压缩残余应力，从而消除膜层起包现象，改善溅射镀膜膜层的表面质量。本发明的铝合金靶材的制备方法，先以全部的铜、硅、稀土元素和部分铝混合熔融制成母合金，所述母合金的制备过程使铜、硅和稀土元素更好地与铝熔融混合，再以熔融混合好的铝‑硅‑铜‑稀土合金与剩余部分的铝熔融铸锭，以解决硅、铜难熔融及成分均匀等问题，获得成分均匀的铝合金靶材。
铝合金靶制备稀土元素熔融熔融混合母合金膜层材料加工技术抗腐蚀性能抗氧化性能热膨胀系数原子百分比导电性残余应力导电性能溅射镀膜稀土合金制备过程铸锭薄膜压缩

[发明专利]靶材用铝合金铸锭及其制备方法、铝合金靶材-CN202110635037.1有效
发明人：大岩一彦;姚科科;广田二郎;林智行;山田浩 -专利权人：浙江最成半导体科技有限公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C22C21/02 文献下载
摘要：本申请涉及靶材制造技术领域，具体而言，涉及一种靶材用铝合金铸锭及其制备方法、铝合金靶材。该靶材用铝合金铸锭含有铝和一种添加元素。其中，铝合金铸锭中添加元素满足以下条件：添加元素在铝合金铸锭中的目标含量值为a wt％，在铝合金铸锭的横截面上多点取样检测多个样品中添加元素的含量得到多个添加元素含量值，多个添加元素含量值均在0.9a～该靶材用铝合金铸锭的组织均匀，能够达到抑制溅射靶材在溅射工艺中异常放电的目的。
靶材用铝合金铸锭及其制备方法

[发明专利]铝合金靶材及其制造方法-CN201980036620.1有效
发明人：中村亮太;永田智啓;赤松泰彦;小林大士;氏原祐辅;中台保夫;新田纯一 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2019-03-28 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供能够形成耐弯曲性以及耐热性优异的铝合金膜的铝合金靶材以及铝合金靶材的制造方法。为了达成上述目的，本发明的一个方式的铝合金靶材在Al纯金属中含有从Zr、Sc、Mo、Y、Nb以及Ti的组中选择的至少一种的第一添加元素。上述第一添加元素的含量在0.01原子％以上1.0原子％以下。若是使用这样的铝合金靶材形成的铝合金膜，则铝合金膜具有优异的耐弯曲性并具有优异的耐热性。另外，铝合金膜也能够蚀刻。
铝合金及其制造方法

[发明专利]一种硅靶材与铝合金背板的钎焊方法-CN202211235810.6在审
发明人：姚力军;潘杰;周鹏飞;宋阳阳 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-10 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B23K1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种硅靶材与铝合金背板的钎焊方法，所述钎焊方法分别对硅靶材和铝合金背板进行预处理，得到处理后硅靶材和处理后铝合金背板；之后，处理后硅靶材进行第一超声浸润处理，得到半成品硅靶材；处理后铝合金背板依次经钢刷浸润处理、第二超声浸润处理、涂抹铟焊料处理和第三超声浸润处理，得到半成品铝合金背板；最后，将熔化后的铟焊料放置在半成品铝合金背板的表面后，依次放置铜丝和半成品硅靶材进行扣合组装，得到成品靶材组件。本发明所述的钎焊方法得到的靶材组件抗拉强度高且焊接结合率高，适合大规模工业化推广应用。
一种硅靶材铝合金背板钎焊方法

[发明专利]一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法-CN200710303869.3有效
发明人：张凤戈;姚伟;唐培新;李群;姜海;张路长;穆健刚;于宏新;鲍学进;孙继洲 -专利权人：安泰科技股份有限公司
申请日： 2007-12-26 - 公布日： 2008-07-09 - 主分类号： B22F1/00 文献下载
摘要：本发明属于粉末冶金制备领域，特别涉及钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法。该钛铝合金靶材成分(原子比)为：Ti∶Al＝80％∶20％～Ti∶Al＝20％∶80％。上述钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法是采用雾化方法得到的钛铝合金粉末或将钛粉和铝粉进行混料，然后经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热等静压压制成形，最后进行烧结过程和加工得到钛铝合金靶材。本发明钛铝合金靶材与现有熔铸靶材相比具有致密性好，无气孔、无疏松和偏析，成分均匀、晶粒细小，规格尺寸大等优点，适用于各种工模具所需的硬质涂层。
一种铝合金粉末冶金制备方法

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