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[发明专利]溅射钽环件的制备工艺-CN201010258806.2有效
发明人：张春恒;李桂鹏;同磊;汪凯;赵红运;李兆博;张全 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种溅射钽环件的制备工艺，其工艺过程为：首先制备环件用钽条，卷圆后将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，切断焊口，进行端头滚花，然后在环件表面加工焊接槽口，酸洗，将凸台焊接在上述环件表面的焊接槽口上通过本发明制备的溅射钽环件各项性能指标满足半导体行业的使用要求，本发明工艺简单，加工难度小，加工效率高。
溅射钽环件制备工艺

[发明专利]一种溅射钽环件用钽条及其制备方法-CN202211199256.0在审
发明人：姚力军;李桂鹏;袁玉博 -专利权人：同创（丽水）特种材料有限公司;丽水元能电子材料研究院有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： B21J5/00 文献下载
摘要：本发明涉及了一种溅射钽环件用钽条及其制备方法，所述制备方法包括：将钽锭依次进行预热、锻造、第一热处理、第二热处理、酸洗和第三热处理，得到所述钽条；所述第一热处理的温度高于第二热处理的温度。本发明通过热锻、热轧、热处理及酸洗相结合的方法，且控制第一热处理的温度高于第二热处理的温度，能有效破坏钽锭心部粗大的铸晶组织，使钽条内部晶粒趋向于等轴晶粒，制备的钽条内部晶粒分布均匀、平均晶粒为90‑110μm，保证钽条内部织构的稳定性，满足溅射靶材的要求；所述制备方法无需复杂工艺条件，制备成本较低，适用性广。
一种溅射钽环件用钽条及其制备方法

[实用新型]一种钽衬筒制作结构-CN202121945129.1有效
发明人：韩正泰;盛轶晖 -专利权人：上海齐达重型装备有限公司
申请日： 2021-08-18 - 公布日： 2022-02-11 - 主分类号： B21D5/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种钽衬筒制作结构，该钽衬筒制作结构包括：钽衬内筒结构和在制作时钽衬内筒结构外包覆的外筒体；外筒体上设置有氩气通道，氩气通道包括环氩气通道和纵缝氩气通道，环氩气通道位于相邻的两条钽衬板之间；钽衬内筒结构包括若干条钽衬板，若干条钽衬板上下焊接在一起后，首尾弯折成圆柱状的钽衬内筒，氩气通道经过钽衬板焊接处，在钽衬板焊接时，在氩气通道内通入氩气。本实用新型成品刚性好，通过用模具折边以及模具卷制相应增强了钽衬筒的刚性，抗负压能力强，在设备操作过程中不会产生钽衬筒出现鼓包情况。
一种钽衬筒制作结构

[发明专利]一种溅射钽环件内外表面的卷圆焊接滚花工艺-CN201010258812.8无效
发明人：张春恒;李桂鹏;同磊;赵兵;王莉;赵红运;李兆博;汪凯;郭丛喜 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆焊接滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，卷圆，将钽条两端焊接，热处理，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边圆弧滚花，切断焊口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
一种溅射钽环件内外表面焊接工艺

[发明专利]溅射钽环件用钽条的制备工艺-CN201010258809.6有效
发明人：李桂鹏;张春恒;同磊;赵兵;赵红运;李兆博 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种溅射钽环件用钽条的制备工艺，其工艺过程为：首先将钽料采用先打方再拍扁的方式锻造，随后在1000℃～1100℃温度条件下热处理，保温时间60min～120min，采用换向轧制发开坯轧制，在1000
溅射钽环件用钽条制备工艺

[发明专利]一种80TPI钽环件修复再利用的方法-CN202110190365.5在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈林华 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-18 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： B23P6/00 文献下载
摘要：本发明提供一种80TPI钽环件修复再利用的方法，所述方法包括以下步骤：将所述80TPI钽环件固定于机床的专用夹具上，对所述80TPI钽环件的内圈圆度进行确认；对所述80TPI钽环件的内圈附着物进行车削抛光处理；对所述80TPI钽环件的内圈进行滚花处理。所述方法可以对80TPI钽环件进行高效修复，修复后的80TPI钽环件的性能基本可以达到新80TPI钽环件的同等水平。
一种 80 tpi 钽环件修复再利用方法

[发明专利]一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺-CN201010258810.9有效
发明人：李桂鹏;张春恒;同磊;赵兵;王莉;汪凯;赵红运;李兆博 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的平板滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，圆弧铣削，上下表面滚花，圆周滚花，卷圆即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
一种溅射钽环件内外表面平板工艺

[发明专利]钽复合板设备的制造方法-CN201110400651.6有效
发明人：邓宁嘉;李勇;杨龙进;王益贵 -专利权人：南京宝泰特种材料股份有限公司
申请日： 2011-12-06 - 公布日： 2012-06-27 - 主分类号： B23K31/02 文献下载
摘要：钽复合板设备的制造方法，采用钽-钛-钢或钽-铜-钢复合板作为钽设备的主体材料，接管采用钢内衬钽，密封面采用钛焊钽环翻边的结构，采用钽衬垫衬外翻焊接在在接管的内钽层上，法兰焊接在接管的钢管上，法兰先焊接后再以银钎焊焊接法兰与接管的焊缝，钽环翻边焊在银钎焊上，确保钽与钢之间不直接焊接；钽设备纵环焊缝焊接的方式：二块钽复合板主体对接时，二块钽-钛-钢或钽-铜-钢复合板焊接处的钽钛或钽铜去掉一窄条，垫一铜板或钛板焊接在钢板上，二块钢基板互相焊接，再用宽于焊缝的钽贴条与二块钽板焊接。本发明保证钽复合板设备中钽与钢之间不直接焊接，解决了钽与钢的连接问题。
复合板设备制造方法

[发明专利]一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺-CN201010258811.3有效
发明人：张春恒;李桂鹏;王莉;同磊;汪凯;赵红运;李兆博 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司;国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2010-12-22 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种溅射钽环件内外表面的卷圆机械连续滚花工艺，其工艺过程为：首先制备钽条，切割连接豁口，酸洗，卷圆，将连接豁口连接，整形，内外表面滚花，车削侧边圆弧，进行侧边滚花，去除连接豁口即可。通过本发明可实现开口溅射钽环件的内外表面及侧边形成均匀一致的80TPI凸菱形花纹，从而满足半导体用户的使用要求。
一种溅射钽环件内外表面机械连续工艺

[发明专利]一种钽粉的制备方法-CN201810665315.6在审
发明人：贺卫卫;陈斌科;汤慧萍;向长淑;邱沙;孙念光;凤治华;郭瑜 -专利权人：西安赛隆金属材料有限责任公司
申请日： 2018-06-26 - 公布日： 2018-10-09 - 主分类号： B22F9/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种钽粉的制备方法，涉及高品质金属粉末制备技术领域。该方法包括：将钽条以电子束熔炼制备成满足第一条件的第一钽棒，所述第一条件包括：O≤150ppm，C≤100ppm，N≤50ppm，H≤15ppm；将所述第一钽棒加工为直径介于50mm～60mm，长度介于300mm～400mm的第二钽棒；将所述第二钽棒的第一端伸入雾化室内，所述第二钽棒的第二端与等离子旋转电极制粉设备的电主轴连接；所述第二钽棒通过等离子旋转电极制粉设备形成钽粉。
钽棒钽粉制备等离子旋转电极第一条件制粉设备金属粉末制备电子束熔炼第一端电主轴高品质伸入雾化钽条室内加工

[发明专利]一种钽环及制备方法、包含钽环的溅射装置及其应用-CN201911000596.4在审
发明人：姚力军;潘杰;蒋云霞;王学泽;邵科科;汪涛 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2019-10-21 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种钽环及制备方法、包含钽环的溅射装置及其应用，所述钽环包括环件以及设置在环件表面的花纹，所述花纹呈锥形凹坑状；锥形凹坑状花纹具有较大的比表面积，当在用于溅射过程中，能够附着较大量的溅射源，并且具有较好的附着力，此外花纹呈现锥形凹坑状，锥形凹坑的顶部朝向环件内部，相邻两个锥形凹坑的底部相连，呈现平面状的结构，而非带有尖端的结构，因此能够避免在通电过程中出现的尖端放电的现象，从而提高钽环的使用寿命钽环的制备方法简单，仅需滚花处理即可，无需进行表面锐化处理，即能保证得到的钽环对溅射源具有较好的吸附能力以及吸附量的前提下，不会出现尖端放电的情况。
钽环锥形凹坑花纹环件尖端放电溅射源制备附着力溅射装置锐化处理使用寿命通电过程吸附能力平面状吸附量滚花溅射附着应用保证

[发明专利]大松装冶金级钽粉的制造方法-CN202010605848.2在审
发明人：钟景明;焦红忠;陈学清;李慧;郑培生;林辅坤;任萍 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： B22F9/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种大松装冶金级钽粉的制造方法。其特点是，包括如下步骤：(1)取钠还原冶金级钽粉或者电容器用钽粉；(2)将钽粉用等静压成型压制成钽条；(3)对得到的钽条进行破碎过筛，得到松装密度在3.0‑5.0g/cm3之间的钽粉；(4)对得到的钽粉进行降氧；(5)对得到的钽粉进行酸洗除杂、烘干和过筛，得到松装密度在3.5‑5.0g/cm3之间，氧含量小于800ppm，D90＜80μm的大松装冶金级钽粉。
大松装冶金级钽粉制造方法

[实用新型]一种钽材表面处理的旋转盐浴设备-CN201621480503.4有效
发明人：刘文国;程钢;郑浩宇 -专利权人：江门富祥电子材料有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： C23C8/42 文献下载
摘要：本实用新型属于钽丝表面处理领域，涉及一种在钽丝生产过程中，表面氧化处理时用的旋转盐浴设备，以及利用该设备进行钽丝表面处理方法。所述的旋转盐浴设备含有旋转料架，与旋转料架相连的移动电机，以及控制柜。采用本实用新型的旋转盐浴设备对钽条进行表面处理，可以控制钽条的表面氧化层厚度，使钽条表面均匀氧化，控制氧化层的氧含量，提高成品钽丝表面光洁度。
一种表面处理旋转设备

[发明专利]一种钽条表面处理的方法-CN201611260609.8有效
发明人：刘文国;程钢;郑浩宇 -专利权人：江门富祥电子材料有限公司
申请日： 2016-12-30 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： C23C8/42 文献下载
摘要：本发明属于钽丝表面处理领域，涉及一种在钽丝生产过程中，钽条表面氧化处理的处理方法。采用本发明的处理方法对钽条进行表面处理，可以控制钽条的表面氧化层厚度，使钽条表面均匀氧化，控制氧化层的氧含量，提高成品钽丝表面光洁度。
一种表面处理旋转设备方法

[发明专利]一种钽带及其制备方法-CN201310200279.3有效
发明人：李桂鹏;张亚军;汪凯;张全;朱军;李瑞莲 -专利权人：宁夏东方钽业股份有限公司
申请日： 2013-05-27 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： B22F3/17 文献下载
摘要：本发明提供了一种钽带及其制备方法，所述钽带的制备方法具体包括：a）将钽粉进行烧结，得到钽棒，将所述钽棒进行锻造；b）将步骤a）得到的钽棒进行轧制，将轧制得到的钽条进行热处理；c）将步骤b）得到的钽条再次进行轧制，将再次轧制得到的钽条再次进行热处理，得到钽带。在制备钽带的过程中，首先经过高温烧结后得到了晶粒均匀细小的初始钽棒，然后将钽棒进行锻造，使其发生变形，最后将钽棒进行了两次轧制，使钽棒在多个方向进行加工，有利于钽棒的各向均匀性；同时本发明在轧制之后进行了热处理，从而消除加工过程的残余应力，使最终制备的钽带为均匀细小的等轴晶。
一种及其制备方法

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