专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]金属膜的蚀刻液组合物及其应用-CN201710438196.6有效
  • 梁承宰;朴升煜;田玹守 - 东友精细化工有限公司
  • 2017-06-07 - 2021-07-09 - H01L21/02
  • 本发明提供铜金属膜的蚀刻液组合物及其应用。上述铜金属膜的蚀刻液组合物相对于组合物总重量包含过氧化氢5~25重量%、含氟化合物0.01~1.0重量%、环状胺化合物0.1~5重量%、磷酸氢0.1~5.0重量%、一个分子内具有氮原子和羧基的水溶性化合物0.1~5.0重量%、多元醇型表面活性剂0.1~5.0重量%和余量的水,上述铜金属膜的蚀刻液组合物对于铜金属膜的微细图案可形成指数为大于0且小于2.0,其中,对于铜金属膜的微细图案可形成指数=侧蚀厚度/铜金属膜的厚度。
  • 金属膜蚀刻组合及其应用

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