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[发明专利]组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法-CN202310760019.5有效
发明人：范方宇;严大 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2023-06-27 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及一种组合舟、单舟、处理设备、载片方法及处理方法，组合舟包括：外舟体，设有具有开口的容纳空间；独立于外舟体设置的单舟，用于放置基片；单舟能够经开口移入容纳空间内或者经开口从容纳空间移出。当需要进行水平载片时，将硅片放入单舟，将单舟移入外舟体内；而当需要进行竖直载片时，对外舟体的结构做适应性调整，将硅片放入单舟并旋转90°后放入调整后的外舟体中即可。相对于现有技术中一体设置的载片舟，该组合舟采用分体设置的外舟体与单舟的方式，在水平载片与竖直载片之间切换时，在不改变处理设备其他结构的情况下，不需要改变单舟的结构，只需要调整外舟体的结构即可，便于实现水平载片与竖直载片之间的切换
组合处理设备方法

[实用新型]用于制作背接触异质结单晶硅太阳能电池的磁性载片舟-CN201520684720.4有效
发明人：张振刚;萧生刚;王海波;赵崇亮 -专利权人：深圳市科纳能薄膜科技有限公司
申请日： 2015-09-06 - 公布日： 2016-01-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于制作背接触异质结单晶硅太阳能电池的磁性载片舟，属于太阳能光伏技术领域。该载片舟由永磁体和载片舟外壳组成，所述永磁体置于载片舟外壳内，载片舟上表面放置硅片，硅片上方置有掩膜；永磁体在载片舟表面产生磁场，用以吸附住载片舟上表面放置的硅片上方的具有磁性的掩膜，以达到固定硅片和掩膜之间相对位置的目的；并且永磁体在载片舟上表面产生的磁场开关可控，以方便拆装硅片和掩膜。本实用新型的载片舟，可以方便地调整掩膜相对硅片位置并且牢固固定硅片及掩膜，从而保证载片舟在运动过程中，硅片和掩膜没有相对位移，以实现精确控制电池背面发射极和基极的镀膜图案的目的，提高电池的转换效率。
用于制作接触异质结单晶硅太阳能电池磁性载片舟

[实用新型]一种金属舟移载机构-CN202120128214.2有效
发明人：周军;戴秋喜;潘加永;刘光照 -专利权人：苏州映真智能科技有限公司
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属舟移载机构，包括机架和机械臂，在机架上安装有主舟轨道、副舟轨道、舟交互平台和舟移载模组，所述机械臂转移前道工序的金属舟至所述舟交互平台上，或转移舟交互平台上的金属舟至后道工序；所述舟移载模组在所述舟交互平台、主舟轨道及副舟轨道之间转移金属舟；金属舟在所述主舟轨道、副舟轨道上输入至工艺处理工位或自工艺处理工位输出。该金属舟移载机构，结构紧凑，占用空间小，通过所述舟移载模组、舟交互平台实现了金属舟在机械臂、主舟轨道及副舟轨道之间的移载搬运，使ALD工序中太阳能电池片的上下料非常便利，整个移载过程无需人工操作，提高了太阳能电池片转移效率并可有效防止太阳能电池片的损坏
一种金属舟移载机构

[实用新型]一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟-CN202222597232.2有效
发明人：夏新中;孟庆超;王红芳;潘明翠;翟金叶;郎芳 -专利权人：英利能源发展有限公司;英利能源发展（天津）有限公司
申请日： 2022-09-29 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，属于半导体器件技术领域。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，包括舟体，舟体的上端面设置有插片槽组，多组插片槽组以舟体的轴线为圆心呈圆周分布，插片槽组包括多组适于硅片插入的插片槽，插片槽贯穿舟体的上端面与下端面设置，插片槽平行于舟体的轴线设置，同一插片槽组内的插片槽相互平行设置，插片槽的宽度大于硅片的厚度。本实用新型提供的一种消除太阳能电池绕扩、绕度的载片舟，硅片插入插片槽中，硅片的背面贴紧插片槽远离舟体中心一侧的舟壁上，转动载片舟，硅片在离心力的作用下紧贴在载片舟的舟壁上，硅片背面不会与气流接触，避免绕扩或绕镀的发生
一种消除太阳能电池载片舟

[实用新型]一种水平载片舟及其托架结构-CN201822256311.0有效
发明人：李丙科 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水平载片舟及其托架结构，所述水平载片舟包括载片舟本体，所述载片舟本体上端面设有若干内凹的凹槽，所述凹槽尺寸略大约硅片的尺寸；所述水平载片舟托架结构包括托架本体，所述托架本体包括左右设置的侧板本实用新型通过将载片舟及其托架结构设计为水平结构，能够使得放置在载片舟本体内凹槽内的硅片的背面不会被镀上Al2O3膜的工艺
一种水平载片舟及其托架结构

[实用新型]自动插片机移载托片装置-CN202020487560.5有效
发明人：季徐华;杨海波 -专利权人：无锡森顿智能科技有限公司
申请日： 2020-04-03 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种自动插片机移载托片装置，包括托片装置和石英舟移载装置，所述托片装置与所述石英舟移载装置的相邻且可将石英舟移载装置中承载的硅片向上托起；通过设置石英舟移载装置实现硅片统一移动至后续工位，移载过程中空的石英舟可以快速取出并换上放满硅片的石英舟，从而提高了工作效率。
自动插片机移载托片装置

[实用新型]光伏电池工艺炉内的载片舟-CN202021144105.1有效
发明人：陈庆敏;吴晓松;李丙科;朱加杰;李建新 -专利权人：无锡松煜科技有限公司
申请日： 2020-06-19 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光伏电池工艺炉内的载片舟，包括舟体架、活动分流板和若干个载片架单元，舟体架沿长度方向包括左右两个侧栏，两个侧栏的两端通过横向栏杆或者固定分流板固定连接，若干个载片架单元成一排放置在舟体架上，载片架单元内安装硅片；在相邻载片架单元之间和/或载片架单元与舟体架的端部之间插入活动分流板；固定分流板和活动分流板均开设有多个均匀分布的气孔，对气体进行均匀分流。本实用新型通过舟体架上的固定分流板或活动分流板保证气流的均匀性，提高硅片的成品质量。而且载片舟上的载片架单元和活动分流板的组合形式多样，安装灵活，可适用于不同尺寸的硅片规格或者不同的工艺要求。
电池工艺载片舟

[实用新型]一种提高LPCVD沉积膜均匀性的载片舟-CN201420764916.X有效
发明人：丁波;李轶;陈瀚;侯金松 -专利权人：上海微世半导体有限公司
申请日： 2014-12-05 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开一种提高LPCVD沉积膜均匀性的载片舟，包括载片支架，所述载片支架位于一壳体内，所述壳体上均匀分布有通孔。本实用新型的这种载片舟可使LPCVD反应腔中的气体均匀的进入载片舟中，使得沉积薄膜厚度一致。
一种提高 lpcvd 沉积均匀载片舟

[实用新型]石墨舟清洗载具-CN201921269057.6有效
发明人：王骏明;杨伟;胡政春;黄飞 -专利权人：无锡市瑞能科技有限公司
申请日： 2019-08-07 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种石墨舟清洗载具，属于太阳能电池片技术领域，包括舟片夹板、夹板支撑板、提拉把手，舟片夹板上有22根齿横向排列，可放23片舟片，每一个清洗载具上两块舟片夹板与夹板支撑板相互连接，提拉把手安装于夹板支撑板上，本实用新型用于将整体石墨舟拆分成石墨舟舟片再进行清洗，提升清洗洁净度。
石墨清洗

[实用新型]一种电池片载具-CN202221142212.X有效
发明人：刘赖生 -专利权人：通威太阳能（眉山）有限公司
申请日： 2022-05-11 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种电池片载具，属于太阳能光伏发电技术领域。电池片载具包括连接杆和多组卡齿，每组卡齿穿设于连接杆外。并且，每组卡齿均包括第一舟齿和第二舟齿，第一舟齿和第二舟齿之间用于固定电池片。第一舟齿和第二舟齿中的一者或两者可滑动地穿设或固定于连接杆外，进而实现第一舟齿与第二舟齿之间距离的调节。在电池片载具多次使用后用于插入电池片的齿间距变窄时，可以通过调节第一舟齿和第二舟齿中的一者或两者沿连接杆的滑动并固定于连接杆的相关位置处来调整齿间距，提高电池片载具的耐用性。
一种电池片载具

[实用新型]一种用于立式炉的载片装置-CN202220051532.8有效
发明人：吴志明 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2022-01-10 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于立式炉的载片装置，包括升降组件、炉门组件、载片组件和石英舟，升降组件与炉门组件相连，载片组件设置在炉门组件的上方，载片组件用于承托石英舟，还包括导向支撑组件，导向支撑组件包括支撑导向柱和导向块，支撑导向柱设置在载片组件的顶部，导向块设置在石英舟上，支撑导向柱与导向块配合用于实现对石英舟安装时进行导向及安装后的支撑作用。本实用新型具有电能利用率高、送舟稳定性高、可靠性高等优点。
一种用于立式装置

[实用新型]一种镀膜用载具结构-CN202020505379.2有效
发明人：张春成;郭艳;吴得轶;成秋云 -专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
申请日： 2020-04-08 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种镀膜用载具结构，包括底座和多个载具舟片，底座上设有至少两个绝缘支撑杆，多个载具舟片层叠等间隔固定在各绝缘支撑杆上，底座的上表面为与水平面一定角度的斜面，各载具舟片均与底座的上表面平行，所述载具舟片上设有容纳载片的凹槽。本实用新型无需卡点固定基片，放置基片时，基片不与载具舟片接触，避免造成基片表面划伤而引起基片镀膜外观缺陷；减少因卡点固定基片带来的外观问题，如卡点脏污、卡点烧焦、边缘绕镀，从而提高成品良率提高成品良率；同时，相对水平面倾斜一定角度的载具舟片，便于基片滑入凹槽内，无需机械手精准的对接，或者由于机械手放不稳带来的二次推片入槽的情况，减少机械手的操作次数。
一种镀膜用载具结构

[发明专利]载片机构、移载机构和半导体工艺设备-CN202310744559.4在审
发明人：史哲;李建国;王旸;赵佳彬 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种载片机构、移载机构和半导体工艺设备，涉及基片加工技术领域，为解决石英舟无法适应较大的基片承载量的问题而设计。载片机构包括子舟，用于承载基片，子舟的数量为至少两个，至少两个子舟沿高度方向分布。本发明提供的载片机构可以增加基片承载量。
机构半导体工艺设备

[发明专利]一种舟脚、载具和沉积设备-CN202211015818.1在审
发明人：严大;张胜;李挺 -专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供一种舟脚、载具和沉积设备，载具包括：交替间隔排布的若干第一导电舟片和若干第二导电舟片；第一导电舟片包括第一连接凸件；第二导电舟片包括第二连接凸件；部分第一导电舟片和第二导电舟片构成第一舟片组，第一舟片组中的第一导电舟片还包括位于前侧的第一补充连接凸件；第一舟脚导电块，第一舟脚导电块中具有第一隔离槽；第一隔离槽中具有第一主绝缘件；第一舟片组中第二连接凸件通过第一主绝缘件与第一舟脚导电块电隔离；第一舟片组中的第一补充连接凸件与第一舟脚导电块电连接；第一舟片组之外的第二连接凸件电连接；相邻的第一连接凸件电连接且与第二导电舟片电隔离。所述载具的位置稳定性和镀膜工艺参数稳定性提高。
一种沉积设备

[发明专利]菱形硅片载片舟的冷却装置-CN201910685447.X在审
发明人：王杨阳;王红美;章新良;孙嵩泉 -专利权人：普乐新能源（蚌埠）有限公司
申请日： 2019-07-27 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明给出了一种菱形硅片载片舟的冷却装置；包括底座、风冷组件、两个支架和若干销轴；两个支架分别固定连接在底座上端面两侧，若干销轴分为两组，两组销轴分别固定在两个支架上，两组销轴相对布置，两组轴销与载片舟的底部配合且两组轴销用于支撑载片舟；风冷组件包括若干风冷管，风冷管一端与气源连接，风冷管另一端封闭，风冷管表面开有若干风冷孔，所述风冷孔对准载片舟上的菱形硅片。若干销轴支撑载片舟，气源向风冷组件的风冷管输送冷风介质，再从风冷孔吹出对载片舟上的菱形硅片进行冷却，加速了对菱形硅片的冷却作业，提升了工作效率。
载片舟菱形风冷管硅片两组销轴风冷支架风冷组件冷却装置气源轴销底座上端面工作效率冷却作业相对布置一端封闭孔对准冷风支撑吹出底座冷却配合

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