专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种深层杂质元素的探测方法-CN201610212541.X在审
  • 袁立军;赖朝荣;苏俊铭 - 上海华力微电子有限公司
  • 2016-04-07 - 2016-08-17 - H01L21/66
  • 一种深层杂质元素的探测方法,包括:步骤S1:提供具有功能膜层之待探测晶圆;步骤S2:通过二次离子质谱仪表征待探测晶圆之杂质元素的深度;步骤S3:减薄功能膜层,直至杂质元素所在深度与待探测晶圆之表面的距离属于电感耦合等离子质谱仪的可探测深度范围;步骤S4:通过电感耦合等离子质谱仪探测杂质元素的含量。本发明首先通过二次离子质谱仪表征待探测晶圆之杂质元素的深度,然后减薄功能膜层厚度,直至杂质元素所在深度与功能膜层减薄后之待探测晶圆表面的距离属于电感耦合等离子质谱仪的可探测深度范围,最后通过电感耦合等离子质谱仪探测杂质元素的含量
  • 一种深层杂质元素探测方法
  • [发明专利]一种质谱仪的进出样装置及质谱仪-CN202110382673.8在审
  • 宣兆康;章贤骏;凌建鸿;张发科 - 杭州安誉科技有限公司
  • 2021-04-09 - 2021-06-25 - H01J49/04
  • 本发明公开了一种质谱仪的进出样装置及质谱仪,包括主体,所述主体上设置有舱门,所述主体内开设有空腔,所述空腔内固定有分隔板,所述分隔板上设置有对其进行封闭的封闭机构,所述分隔板一侧设置有放置检测样品的放置板,所述放置板上设置有传动机构,所述分隔板另一侧设置有对样品进行定位的定位机构,此质谱仪的进出样装置及质谱仪,区别于现有技术,通过分隔板将质谱仪内部分割成两个空间,其中一侧始终保持真空状态,在抽真空时只需要将另一侧进行抽真空,能够大大减少样品进出质谱仪的时间,且通过设置传动机构,能够方便快捷的将样品进行传递,且通过定位机构和传动机构的配合能够实现样品的固定检测以及收回。
  • 一种质谱仪进出装置
  • [发明专利]一种避免线束受力脱落的质谱仪-CN202211434933.2在审
  • 叶辉;吴华华;卢雷;何艳芬 - 上海美析仪器有限公司
  • 2022-11-16 - 2023-05-09 - H01R13/639
  • 本发明公开了一种避免线束受力脱落的质谱仪,包括质谱仪本体,其质谱仪本体的外侧开设有预留插线端,且预留插线端的内表面粘接连接有第一对接气囊组件;所述预留插线端内端嵌套安装有预留导向块,且预留导向块与质谱仪本体的内端相互对接该避免线束受力脱落的质谱仪,随着外置插线对接至预留插线端内部,对应内移的预留导向块将随之配合牵引对接绳,带动2个定位辅助件相互靠拢实现对插头外侧自限位的工作状态,避免了普通的插接结构存在的局限性,因外力的影响不会导致质谱仪的检测线路出现松动或脱落的状态
  • 一种避免线束受力脱落质谱仪
  • [发明专利]上置式极坐标调节装置-CN201410528902.2有效
  • 董晓峰;陈焕文;王姜;顾海巍 - 东华理工大学
  • 2014-10-09 - 2017-08-22 - H01J49/04
  • 该装置可精确定量调节离子源喷头与质谱仪进样口的角度α、离子源喷头与质谱仪进样口的Z向距离a1、离子源喷头与质谱仪进样口的Y向距离b1、样品台与质谱仪进样口的Z向距离a2、样品台与质谱仪进样口的Y向距离b2该装置适用于研究与优化配置离子源喷头、样品台与质谱仪进样口之间的空间位置参数与信号强度的关系,特别适用于快速批量检测固体样品以及对连续分布的样品进行质谱成像。
  • 上置式极坐标调节装置
  • [发明专利]一种用于气体检测的真空电离非连续性进样方法-CN201810027278.6有效
  • 余泉;王晓浩;李曼;倪凯;钱翔 - 清华大学深圳研究生院
  • 2018-01-11 - 2020-03-06 - H01J49/26
  • 一种用于气体检测的真空电离非连续性进样装置和方法,该装置包括包括进气管、设置在所述进气管上的脉冲阀、质谱仪腔体、与所述质谱仪腔体相连的真空泵、以及位于所述质谱仪腔体内的离子阱与电离源,待测样品气体样品进入所述进气管,经过脉冲阀后非连续地进入到所述质谱仪腔体内,并在所述离子阱内进行气体样品电离,其中所述离子阱的内部具有可透过电场的非金属套管,并经设置使得离子的出射路径通过所述非金属套管,延长离子存留在所述离子阱内的时间,提高离子的电离效率,另外,提高小型化质谱仪进入腔体的气体样品的占空比、保持腔体的真空度,减小真空泵的压力,同时在腔体内进行电离有助于减小离子传输损耗,提高小型化质谱仪的灵敏度。
  • 一种用于气体检测真空电离连续性方法

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