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- [发明专利]高频接地装置和具有高频接地装置的真空阀-CN202210517864.5在审
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A·比谢尔;A·魏特瑙尔
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VAT控股公司
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2022-05-13
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2022-11-22
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F16K3/02
- 本发明涉及一种高频接地装置和具有高频接地装置的真空阀。高频接地装置(40)与用于关闭和打开真空室系统的阀开口的真空阀连用,具有由用于排走在真空阀上出现的电荷的传导性材料制造的接地带(42),其中该接地带具有第一端(41)和第二端(43)并且为了接地真空阀而被设计成在第一端连接至真空阀的阀闭合件并在第二端连接至该真空室系统的部件,其中高频接地装置具有校正阻抗,其中该接地带被接合至该校正阻抗而得到包括接地带和校正阻抗的谐振电路,该校正阻抗具有用于偏移谐振电路的谐振频率的第一元件和/或用于降低谐振电路的质量的第二元件。本发明还涉及真空阀和具有这样的高频接地装置的真空室系统。
- 高频接地装置具有真空
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