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- [发明专利]具有滑动导向机构的闸阀-CN202080014250.4有效
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M·内策
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VAT控股公司
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2020-02-12
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2023-10-03
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F16K3/18
- 本发明涉及用于基本气密关闭限定出开口轴线的开口的真空阀(10)，包括具有关闭侧的关闭件(14)和布置在与关闭侧相对的后侧的联接单元以及具有围绕开口的阀座(12a)的阀壁。该阀还包括线性驱动单元，关闭件(14)可借此沿调节轴线在基本垂直于开口轴线的至少两个调节方向上被调节，因此关闭件(14)可在露出开口的打开位置、推移到开口上方的中间位置和关闭开口的关闭位置之间被调节。真空阀(10)包括用于与开口相关的关闭件(14)的导向机构。关闭件(14)包括在从打开位置调节到关闭位置和返回的期间与导向机构相互作用的导向件(25)，导向机构和导向件(25)如此形成和相互作用，在从中间位置调节到关闭位置的过程中，关闭件(14)横向于调节轴线的倾斜在第一部分运动中被启动和/或实现。
- 具有滑动导向机构闸阀
- [发明专利]阀、特别是真空阀-CN202280013509.2在审
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汉斯彼得·弗雷纳;马丁·内策尔
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VAT控股公司
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2022-01-25
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2023-09-29
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F16K51/02
- 阀(1)，其中阀盘(5)布置在阀壳体(2)的阀壳体内部空间(6)中并且固定在轴(7)上，其中，阀盘(5)与轴(7)一起沿平行于轴纵向轴线(9)的方向(8)在关闭位置和中间位置之间来回移动，并且可通过使得轴(7)绕轴纵向轴线(9)旋转而在中间位置和最大打开位置之间来回枢转，其中，为了将轴(7)相对于阀壳体(2)密封，轴衬套(10)具有波纹管(11)，该波纹管可在平行于轴纵向轴线(9)的方向(8)上延展和收缩，该波纹管以其第一波纹管端部(12)固定在阀壳体(2)上，并且其中，在第二波纹管端部(13)上设有轴密封圈(14)，轴(7)可旋转地安置在该轴密封圈中。
- 特别是真空
- [发明专利]用于真空密封地封闭壁上的开口的封闭装置的阀板-CN202280012906.8在审
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菲比安·布切尔;菲利普·沃尔文德
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VAT控股公司
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2022-01-26
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2023-09-19
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F16K51/02
- 一种用于真空密封地封闭壁(3)上的开口(2)的封闭装置的阀板，所述阀板(1)在其前侧具有用来相对于所述壁(3)密封的密封圈(8)，并且在其后侧具有用于与所述封闭装置的阀杆(4)连接的凹陷(29)。布置在所述阀板(1)的后侧上的所述凹陷(29)，至少在所述凹陷(29)的两个相对侧壁的区域中，分别连接上加宽部(30)。对于相应的加宽部(30)存在有螺纹孔(31)，该螺纹孔在相应的所述加宽部(30)的侧壁上通入所述加宽部(30)，其中，通过相应的保持螺栓(39)—所述保持螺栓旋入相应的所述螺纹孔(31)中并且以端部部分从所述螺纹孔(31)突伸到所述加宽部(30)中，通过所述保持螺栓(39)的端部部分与凹槽(32a)的配合作用，所述阀杆(4)可与所述阀板(1)连接，所述凹槽设置在连接部件(32)上，该连接部件与所述阀杆(4)的端部连接或者在所述阀杆(4)的端部与其一体地构造。
- 用于真空密封封闭壁上开口装置
- [发明专利]阀-CN202310102930.7在审
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托马斯·迈耶
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VAT控股公司
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2023-02-10
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2023-08-15
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F16K3/02
- 本发明涉及阀，所述阀具有阀壳和阀开口并且具有关闭机构和至少一个阀驱动器，其中所述阀附加地具有两个彼此相对布置的法兰，每个法兰具有通孔，其中所述法兰能够通过所述至少一个阀驱动器朝向彼此和远离彼此地移动，并且在所述关闭机构沿着所述第一移动方向的移动方面与所述关闭机构强制耦合，在所述关闭机构的最大释放位置压靠在所述阀壳的彼此相对的壁区域上并且在此过程中所述法兰的通孔将所述阀开口彼此连接，其中两个法兰分别具有一系列指状物和布置在每两个相邻指状物之间的凹部，其中指状物包围通孔，并且一个法兰的指状物相应地啮合到另一个法兰的凹部中。
- [发明专利]升降装置-CN202310091291.9在审
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克莱门斯·库恩
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VAT控股公司
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2023-02-06
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2023-08-08
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H01L21/687
- 一种升降装置，用于在工艺腔室中将衬底降低到衬底载体上以及将衬底抬离衬底载体，其中，升降装置具有升降杆和使升降杆沿直线升降运动路径来回运动的升降杆线性驱动器，并且具有多个调节螺栓，用于调节升降运动路径的位置，其中，升降装置具有用于升降杆线性驱动器的驱动器壳体和驱动器壳体法兰以及由驱动器壳体法兰包围的通孔，其中，升降杆被引导穿过通孔并且这些调节螺栓分别旋拧穿过驱动器壳体法兰中的调节螺栓容纳开口，其中，这些调节螺栓容纳开口彼此间隔开地布置在驱动器壳体法兰中，并且能够通过将各个调节螺栓以不同的深度旋拧穿过相应的调节螺栓容纳开口来调整各个调节螺栓超出驱动器壳体法兰的超出段。
- 升降装置
- [发明专利]用于真空输送系统的模块化真空阀系统-CN202180071252.1在审
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H·弗雷纳;M·内策;D·德莫西尔;P·M·芬克;F·A·杜波依斯
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VAT控股公司
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2021-10-15
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2023-07-14
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F16K3/316
- 本发明涉及一种用于以基本上气密的方式闭合真空输送系统的第一阀开口(31)的真空阀系统(10)，真空阀系统具有：阀座组件(30)，其具有限定了开口轴线的第一阀开口(31)和围绕第一阀开口(31)的第一密封面；闭合部件(20)，其用于以基本上气密的方式闭合第一阀开口(31)，包括对应于第一密封面的第二密封面(21)；以及驱动单元(50)，其用于提供闭合部件(20)相对于阀座组件(30)的移动。阀座组件(30)可以与输送管组合，使得在阀座组件(30)与输送管之间提供气密过渡并且第一阀开口(31)对应于管横截面。至少阀座组件(30)和闭合部件(20)被设计为在组合状态下相互作用的单独的可模块化组合的系统部件，并且闭合部件(20)可以以模块化方式与阀座组件(30)组合，使得可以通过可以由驱动单元提供的移动来提供闭合部件(20)的打开位置和闭合位置。
- 用于真空输送系统模块化
- [发明专利]用于真空输送系统的真空阀-CN202180066854.8在审
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H·弗雷纳;M·内策;弗洛里安·埃尔内;F·A·杜波依斯
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VAT控股公司
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2021-10-15
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2023-06-06
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F16K51/02
- 本发明涉及一种真空阀，所述真空阀用于以气密方式关闭用于真空输送系统的阀开口。所述真空输送系统具有输送管，所述输送管具有用于沿所述输送管在内部输送车辆的多个输送管段，并且所述阀开口限定开口轴线。所述真空阀还具有：环绕所述阀开口的密封表面；用于以气密方式关闭所述阀开口的关闭部件，所述关闭部件包括单件密封件，所述单件密封件具有闭合圆周并被设计成与所述密封表面相互作用；以及驱动单元，所述驱动单元用于提供所述关闭部件相对于所述阀开口的如下运动，即：使得所述关闭部件能够平行于关闭轴线从打开位置移动到关闭位置并返回，其中，在所述打开位置，所述关闭部件至少部分地释放所述阀开口，在所述关闭位置，所述密封件接触所述密封表面并以气密方式关闭所述阀开口。所述关闭轴线垂直于所述开口轴线，并且所述密封表面和所述密封件分别发展为具有第一主部分和第二主部分以及两个侧部分。所述两个主部分位于与所述开口轴线成直角定向且彼此间隔开的平面上，并且所述两个主部分借助所述侧部分中的一者而在主部分的两个相应的相对面处连接。
- 用于真空输送系统
- [发明专利]连接装置-CN202211470528.6在审
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卡尔·海因茨·弗拉斯特
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VAT控股公司
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2022-11-23
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2023-05-26
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H01R13/631
- 用于由带电粒子穿过的线路系统的连接装置，其中所述连接装置具有第一法兰和第二法兰以及波纹管，其中所述第一法兰和所述第二法兰通过所述波纹管的中间连接而彼此连接，并且所述第一法兰和所述第二法兰为了补偿在所述线路系统中在纵向方向上和在至少一个与所述纵向方向成角度的横向方向上的位移而能够相对于彼此移动，其中在所述波纹管内布置了线路元件，所述线路元件将法兰彼此导电连接，其中所述线路元件可移动地支承在两个连接元件中或两个连接元件上，和/或其中所述线路元件具有至少一个环形弹簧或具有至少一个螺旋弹簧或由至少一个环形弹簧或至少一个螺旋弹簧组成。
- 连接装置
- [发明专利]阀板-CN202211428581.X在审
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马蒂亚斯·施顿;伯恩哈德·利切尔;马力欧·莫泽;艾伦·弗兰尼克;格雷戈尔·贝克
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VAT控股公司
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2022-11-15
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2023-05-19
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F16K1/36
- 一种阀板具有板区段，在板区段的正侧上安装了由弹性体材料制成的密封件，所述阀板还具有布置在所述板区段的背侧上的连接装置，用于将所述阀板与真空阀的承载装置连接。所述连接装置包括纵向延伸的第一和第二连接区段，其中第一连接区段位于所述板区段的纵向中心的一侧，第二连接区段位于所述纵向中心的另一侧，并且每个连接区段利用其在纵向方向上间隔开的两个端部与所述板区段连接。在板区段和相应的连接区段之间形成有相应的狭缝的情况下，这些连接区段分别在其两个端部之间的区域中与所述板区段间隔开，并且每个连接区段在其纵向伸展部的中心区域中具有用于与所述真空阀的承载装置的相应阀杆的端部连接的连接结构。
- 阀板
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