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[发明专利]双模态谐振器及其制备方法-CN202310718823.7在审
发明人：雷永庆;舒赟翌;李岩岩;朱雁青;李明 -专利权人：麦斯塔微电子（深圳）有限公司
申请日： 2023-06-16 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： H03H3/007 文献下载
摘要：本发明提供一种双模态谐振器及其制备方法，该方法包括：提供叠层结构；采用刻蚀工艺，于叠层结构的半导体器件层中形成间隙互相隔开的内、外谐振体，内、外谐振体驱动电极，内、外谐振体检测电极；外谐振体设置于内谐振体外周且通过耦合部嵌套连接，内、外谐振体驱动电极，内、外谐振体检测电极设置于外谐振体之内且相对环绕于内谐振体之外；基于内谐振体及外谐振体各自外侧的间隙，采用湿法腐蚀法去除其各自下方的绝缘层，以释放内谐振体及外谐振体。该方法可降低内嵌电极失效率，还可减小内、外谐振体双模态谐振器的总尺寸；同时避免降低内、外谐振体的Q值，提高其阻抗；另外，制备工艺简单，易于实现，降低制造成本。
双模谐振器及其制备方法

[实用新型]压电体声波滤波器-CN202121489772.8有效
发明人：李丽;张仕强;李宏军;王胜福;王磊;于江涛;李亮;梁东升;韩易;颜闽冀;岳晓平;田鹏程;白璐;范媚媚 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种压电体声波滤波器，包括串联连接在输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第八薄膜体声波谐振器至第十一薄膜体声波谐振器，其一端并联连接在第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器和第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器至第七薄膜体声波谐振器之间的节点上，多个并联的薄膜体声波谐振器的另一端分别连接接地端子。
压电声波滤波器

[发明专利]体声波滤波器及滤波器组件-CN202110740553.0有效
发明人：张仕强;李丽;王胜福;李宏军;宋学峰;于江涛;张韶华;李亮;梁东升;王小维;汪晓龙;韩易;王晓晶;尹少腾 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本发明涉及滤波器技术领域，提供一种体声波滤波器及滤波器组件，包括串联连接在输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器；多个并联的薄膜体声波谐振器的一端并联连接在第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器至第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器之间的节点上，多个并联的薄膜体声波谐振器的另一端分别连接接地端子。
声波滤波器组件

[实用新型]体声波滤波器及滤波器组件-CN202121477976.X有效
发明人：张仕强;李丽;王胜福;李宏军;宋学峰;于江涛;张韶华;李亮;梁东升;王小维;汪晓龙;韩易;王晓晶;尹少腾 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种体声波滤波器及滤波器组件，包括串联连接在输入端子和输出端子之间的第一薄膜体声波谐振器、第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器、第四薄膜体声波谐振器、第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器；多个并联的薄膜体声波谐振器的一端并联连接在第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器、第三薄膜体声波谐振器至第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器之间的节点上，多个并联的薄膜体声波谐振器的另一端分别连接接地端子。
声波滤波器组件

[发明专利]薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件-CN202110743238.3在审
发明人：李丽;张仕强;李宏军;王胜福;王磊;张韶华;李亮;梁东升;韩易;闫晓亮;张璇;郭宝生;安静;罗军艳 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本发明涉及滤波器技术领域，提供一种薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件，包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一薄膜体声波谐振器至第四薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器，第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器的一端分别连接在多个串联的薄膜体声波谐振器中相邻两个薄膜体声波谐振器之间的节点上
薄膜声波谐振器滤波器组件

[发明专利]空气腔型薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件-CN202110743224.1有效
发明人：张仕强;李丽;李宏军;王胜福;李增路;潘海波;王磊;于江涛;杨亮;李亮;梁东升;李明武;韩易;王静;张根壮 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本发明涉及滤波器技术领域，提供一种空气腔型薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件，该滤波器包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一至第六薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子之间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第七至第十薄膜体声波谐振器，第七、第八和第十薄膜体声波谐振器的一端分别连接在第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器之间、第三薄膜体声波谐振器和第四薄膜体声波谐振器之间、第五薄膜体声波谐振器和第六薄膜体声波谐振器之间的节点上，第九薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器串联，可允许特定频率的信号通过。
空气薄膜声波谐振器滤波器组件

[实用新型]空气腔型薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件-CN202121483370.7有效
发明人：张仕强;李丽;李宏军;王胜福;李增路;潘海波;王磊;于江涛;杨亮;李亮;梁东升;李明武;韩易;王静;张根壮 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种空气腔型薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件，该滤波器包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一至第六薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子之间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第七至第十薄膜体声波谐振器，第七、第八和第十薄膜体声波谐振器的一端分别连接在第一薄膜体声波谐振器和第二薄膜体声波谐振器之间、第三薄膜体声波谐振器和第四薄膜体声波谐振器之间、第五薄膜体声波谐振器和第六薄膜体声波谐振器之间的节点上，第九薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器串联，可允许特定频率的信号通过。
空气薄膜声波谐振器滤波器组件

[发明专利]体声波谐振器组、制备方法及体声波滤波器、通信器件-CN202210387327.3有效
发明人：丁焱昆;陈小军;赖志国;杨清华 -专利权人：苏州汉天下电子有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本发明提供了一种体声波谐振器组、制备方法及体声波滤波器、通信器件。该体声波谐振器组包括：若干体声波谐振器，体声波谐振器包括底电极、压电层和顶电极的叠层结构；体声波谐振器位于衬底的表面，且体声波谐振器和衬底围成空腔结构；若干体声波谐振器在竖直方向堆叠，外层体声波谐振器和衬底围成的空腔结构中设置有至少一个内层体声波谐振器本发明实施例提供的技术方案，减小了体声波谐振器组的尺寸，增加了体声波谐振器组的品质因数。
声波谐振器制备方法滤波器通信器件

[实用新型]阶梯型薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件-CN202121483741.1有效
发明人：李丽;张仕强;王胜福;李宏军;王磊;于江涛;张韶华;杨亮;李亮;梁东升;韩易;胡斌;温鹏浩;齐明岩 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种阶梯型薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件，包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一薄膜体声波谐振器至第四薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器、第七薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器，第五薄膜体声波谐振器至第八薄膜体声波谐振器的一端分别连接在多个串联的薄膜体声波谐振器中相邻两个薄膜体声波谐振器之间的节点上
阶梯薄膜声波谐振器滤波器组件

[实用新型]薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件-CN202121478363.8有效
发明人：李丽;张仕强;李宏军;王胜福;王磊;张韶华;李亮;梁东升;韩易;闫晓亮;张璇;郭宝生;安静;罗军艳 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种薄膜体声波谐振器滤波器及滤波器组件，包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一薄膜体声波谐振器至第四薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器，第五薄膜体声波谐振器、第六薄膜体声波谐振器和第七薄膜体声波谐振器的一端分别连接在多个串联的薄膜体声波谐振器中相邻两个薄膜体声波谐振器之间的节点上
薄膜声波谐振器滤波器组件

[实用新型]一种FBAR滤波器-CN202121477979.3有效
发明人：李丽;张仕强;李宏军;王胜福;王磊;于江涛;张韶华;杨亮;李亮;梁东升;韩易;王茜龙;田思源 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种FBAR滤波器，包括输入端子、输出端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；多个串联的薄膜体声波谐振器包括第一薄膜体声波谐振器至第五薄膜体声波谐振器，串联连接在输入端子和输出端子间；多个并联的薄膜体声波谐振器包括第六薄膜体声波谐振器第七薄膜体声波谐振器、第八薄膜体声波谐振器和第九薄膜体声波谐振器，第六薄膜体声波谐振器至第九薄膜体声波谐振器的一端分别连接在多个串联的薄膜体声波谐振器中相邻的两个薄膜体声波谐振器之间的节点上
一种 fbar 滤波器

[实用新型]体声波滤波器及半导体器件-CN202121478326.7有效
发明人：李宏军;张仕强;李丽;王胜福;王磊;杨亮;李亮;梁东升;韩易;章慧文;王晓娟;刘雪敬;孙立群;董同超 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及滤波器技术领域，提供一种体声波滤波器及半导体器件。该体声波谐振器滤波器包括输入端子、输出端子、接地端子、多个串联的薄膜体声波谐振器和多个并联的薄膜体声波谐振器；第六薄膜体声波谐振器的一端连接输入端子，第一薄膜体声波谐振器至第四薄膜体声波谐振器之间相邻的两个谐振器之间的节点，分别依次并联连接第七薄膜体声波谐振器和第八薄膜体声波谐振器、第九薄膜体声波谐振器和第十薄膜体声波谐振器、第十一薄膜体声波谐振器和第十二薄膜体声波谐振器的一端，多个并联的薄膜体声波谐振器的另一端连接接地端子
声波滤波器半导体器件

[发明专利]一种体声波滤波器芯片-CN201811444995.5在审
发明人：张智欣;史向龙;苏波;王琦;段斌 -专利权人：北京航天微电科技有限公司
申请日： 2018-11-29 - 公布日： 2019-01-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种体声波滤波器芯片，涉及滤波器领域。包括：体声波谐振器组、至少一个调谐谐振器和至少三个焊盘，体声波谐振器组分别与每个调谐谐振器、每个焊盘连接，每个调谐谐振器与体声波谐振器组连接，或分别与体声波谐振器组和任一焊盘连接，每个调谐谐振器的谐振频率均小于或大于体声波谐振器组中任一体声波谐振器的谐振频率本发明提供的体声波滤波器芯片，利用谐振器在非谐振频段的电容特性，通过设置谐振频率远小于或远大于体声波谐振器组的调谐谐振器，使其实现电容的电学特性，不占用封装基板的尺寸，在封装基板上不需要额外再设置调谐用的电容
体声波谐振器调谐谐振器谐振频率焊盘声波滤波器封装基板电容芯片种体体声波滤波器滤波器调谐滤波器芯片声波谐振器电容特性电学特性非谐振谐振器组连接频段封装占用

[发明专利]体声波谐振器滤波器和体声波谐振器模块-CN202211237322.9在审
发明人：李泰京;金性泰;金光洙;严在君 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H03H9/56 文献下载
摘要：本公开提供一种体声波谐振器滤波器和体声波谐振器滤波器模块。体声波谐振器滤波器包括：多个体声波谐振器，连接在第一射频端口与第二射频端口之间以形成频带，其中多个体声波谐振器中的每者包括第一电极、第二电极和设置在第一电极与第二电极之间的压电层，多个体声波谐振器包括第一体声波谐振器和第二体声波谐振器，第一体声波谐振器的谐振频率与反谐振频率之差不同于第二体声波谐振器的谐振频率与反谐振频率之差并且第一体声波谐振器的压电层的厚度与第一电极和第二电极的总厚度的比率不同于第二体声波谐振器的压电层的厚度与第一电极和第二电极的总厚度的比率，和/或第一体声波谐振器的压电层的厚度不同于第二体声波谐振器的压电层的厚度。
声波谐振器滤波器模块

[发明专利]一种镜体插入检测电路-CN202310359562.4在审
发明人：黄尊维 -专利权人：深圳英美达医疗技术有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01R23/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种镜体插入检测电路，当镜体未插入至所述镜体插入口时，所述振荡电路的谐振频率与所述谐振电路的谐振频率不同，所述谐振电路输出镜体未插入信号；当镜体插入至所述镜体插入口时，所述振荡电路的谐振频率与所述谐振电路的谐振频率相同，所述振荡电路与所述谐振电路谐振，所述谐振电路输出镜体插入信号。与采用直接短路等检测方法相比，本发明通过电感值的变化来识别镜体是否插入，抗干扰性能更强。
一种插入检测电路

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