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- [发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN201810203165.7有效
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小林健司;奥谷学
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斯克林集团公司
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2015-03-25
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2022-12-02
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H01L21/02
- 本发明提供能抑制或防止图案的倒塌并使基板的表面良好地干燥的基板处理方法及装置。该方法包括:有机溶剂置换工序,将表面张力比在保持为水平姿势的基板的上表面附着的冲洗液的表面张力低的液体的有机溶剂向基板的上表面供给,以在基板上形成覆盖基板的上表面的有机溶剂的液膜,利用有机溶剂置换冲洗液;基板高温化工序,在形成有机溶剂的液膜后,使基板的上表面到达比有机溶剂的沸点更高的规定的第一温度,由此,在有机溶剂的液膜的整个区域,在有机溶剂的液膜和基板的上表面之间形成有机溶剂的蒸发气体膜,并且使有机溶剂的液膜浮起在有机溶剂的蒸发气体膜的上方;有机溶剂排除工序,将浮起的有机溶剂的液膜从基板的上表面的上方排除。
- 处理方法以及装置
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