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- [发明专利]蚀刻废液中铜回收及再生方法-CN202110875914.2在审
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李豪;姜伟
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宏俐(汕头)电子科技有限公司
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2021-07-30
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2021-11-02
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C23F1/46
- 一种蚀刻废液中铜回收及再生方法,包括以下步骤:对酸性蚀刻废液及碱性蚀刻废液进行分类收集,分别对酸性蚀刻废液及碱性蚀刻废液进行预处理操作;将预处理后的酸性蚀刻废液加入第一电解槽中,并通入直流电,进行电解操作;将预处理后的碱性蚀刻废液加入第二电解槽中,并通入直流电,进行电解操作;向第一电解后液中加入第一补充剂,得到再生酸性蚀刻液;向第二电解后液中加入第二补充剂,得到再生碱性蚀刻液。通过先对酸性蚀刻废液及碱性蚀刻废液进行预处理操作,有利于保证电解操作的正常进行,可以大大提高电解得到的铜的纯度,可以分别得到再生酸性蚀刻液及再生碱性蚀刻液,实现酸性蚀刻废液及碱性蚀刻废液的再生利用,工艺简单
- 蚀刻废液回收再生方法
- [实用新型]一种太阳能硅片表面蚀刻装置-CN202022906899.7有效
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张传祥;刘超
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合肥畅阳新能源科技有限公司
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2020-12-07
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2021-06-15
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种太阳能硅片表面蚀刻装置,包括蚀刻外壳体、液管、输液软管,所述蚀刻外壳体的下端四角处均固定连接设置有支撑脚,所述蚀刻外壳体的内部下端倾斜固定连接设置有蚀刻倾斜底板,所述蚀刻外壳体的下端固定安装设置有废液出管,所述蚀刻外壳体的上端设置有蚀刻液罐,所述蚀刻外壳体的上端固定连接设置有液泵,所述液泵的输入端通过液管与蚀刻液罐相连接。本实用新型通过蚀刻外壳体的下端设置蚀刻倾斜底板,并且在蚀刻外壳体的下端设置有废液出管,使用过后的蚀刻液可流入蚀刻倾斜底板内,并在倾斜的蚀刻倾斜底板内流入废液出管处,通过废液出管可对蚀刻废液进行集中处理,便于对蚀刻废液进行收集。
- 一种太阳能硅片表面蚀刻装置
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