[发明专利]蚀刻废液回收系统、控制方法及存储介质有效
| 申请号： | 202211292457.5 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN115558930B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 代超;叶翔;廖蔚峰;齐洪广;邓良德;戴荣富;夏云龙;彭军;赵凯;甘艾鑫;李嘉豪;毛宇;徐勇智 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷晶科技股份有限公司;深圳市中天环保技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/46;G05D27/02 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 周翀 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街道高新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了蚀刻废液回收系统、控制方法及存储介质，控制方法包括：通过在线监测装置实时获取废液输送装置输入的蚀刻废液的金属含量、以及蒸发回收装置输出的固体金属盐的重量；根据蚀刻废液的金属含量和固体金属盐的重量调节蒸发回收装置的工作参数，以使固体金属盐的重量与蚀刻废液中的金属含量动态平衡。本发明通过废液输送装置向蒸发回收装置持续输送蚀刻废液，根据蚀刻废液的金属含量和固体金属盐的重量调节蒸发回收装置的工作参数，以使固体金属盐的重量与蚀刻废液中的金属含量动态平衡，能够有效调节废液回收速率，从而实现蚀刻液在线回收，蚀刻废液的回收效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 废液 回收 系统 控制 方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市捷晶科技股份有限公司;深圳市中天环保技术有限公司，未经深圳市捷晶科技股份有限公司;深圳市中天环保技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211292457.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种自生酸酸岩反应速率测试方法
- 下一篇：一种石英管的制造方法及石英管
