“薄膜形成”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3704636个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]薄膜形成装置、薄膜形成方法和薄膜形成系统-CN200380106602.5有效
发明人：伊藤宪和;高木朋子;上田仁 -专利权人：石川岛播磨重工业株式会社
申请日： 2003-10-15 - 公布日： 2006-02-01 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用等离子体CVD，即化学气相生长法在配置于成膜室(15)内的衬底(300)上形成薄膜的薄膜形成装置(6)，成膜室(15)设置有分别配置了等离子体生成用的电极(40)的多个薄膜形成区(17u、17v、17w)，设有向该电极(40)供给电力的电力供给系统(36)、和有选择地将电力连接在各薄膜形成区(17u、17v、17w)的各个电极(40)上的切换装置(34)。通过这样的结构来提供合适的电力供给系统、气体供给系统和排气系统，同时，提供一种薄膜形成装置、薄膜形成方法和薄膜形成系统，通过调整薄膜形成装置的工作状态，从而可以降低薄膜形成装置和薄膜形成系统的成本，而不降低积层膜形成工序的生产效率
薄膜形成装置方法系统

[发明专利]薄膜形成基板及其薄膜形成装置-CN200710079688.7无效
发明人：泷泽力;中山贵道;柏木邦宏;坂本雄一 -专利权人：微电子株式会社
申请日： 2007-03-02 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： C23C14/08 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜形成基板及其薄膜形成装置，该薄膜形成基板为达到液晶显示装置的透明电极等可使用程度的、将电阻率减少的ZnO薄膜的形成基板。形成如下的ZnO薄膜的形成基板及其薄膜形成装置，将作为成膜材料的Zn材料蒸发，将蒸发的Zn材料用微波氧等离子体氧化，将ZnO化合物在基板上堆积形成薄膜，进一步，将形成薄膜的ZnO薄膜曝于微波氢等离子体中
薄膜形成及其装置

[发明专利]薄膜形成设备和薄膜形成方法-CN201410355905.0在审
发明人：李正浩;金善浩;赵喆来;许明洙 -专利权人：三星显示有限公司
申请日： 2014-07-24 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： H01L21/312 文献下载
摘要：提供了一种薄膜形成设备和一种薄膜形成方法。该薄膜形成设备包括第一储存单元、第一喷嘴单元、第一光照射单元、第二储存单元、第二喷嘴单元和第二光照射单元。第一储存单元被构造为储存第一有机材料。
薄膜形成设备方法

[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置-CN201410341806.7在审
发明人：冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2014-07-17 - 公布日： 2015-02-11 - 主分类号： H05K3/30 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置，所述薄膜形成方法中，即使基板的表面为憎液性，也能够使薄膜材料覆盖应涂布的区域的整个区域。本发明的薄膜形成方法中，在憎液性的表面一边移动着落地点一边重复进行使光固化性的薄膜材料着落的处理、和着落后向表面上的薄膜材料照射光而使其固化的处理，由此在表面的应涂布薄膜材料的区域形成第1膜。通过在第1膜上涂布液状的薄膜材料，来形成液状的第2膜。在形成第2膜之后，照射光而使第2膜固化。
薄膜形成方法装置

[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置-CN201811099484.4在审
发明人：柿村崇;北村嘉孝;高田令;A·诺伊曼;C·布林克默勒 -专利权人：株式会社斯库林集团;赢创德固赛有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： C23C18/14 文献下载
摘要：本发明提供一种形成具有良好的电特性的包含氧化铟的薄膜的薄膜形成方法及薄膜形成装置。在清洗后的基板的表面上涂布包含氧化铟前驱体的涂布液，从而在基板上形成涂布膜。对基板进行冷却，不对涂布膜进行加热而向该涂布膜照射紫外线，从而能够形成具有良好的电特性的包含氧化铟的薄膜。
氧化铟涂布膜基板薄膜形成装置薄膜形成电特性前驱体紫外线薄膜加热冷却照射紫外线照射大气环境光学活化前驱体热对基板涂布液活化清洗

[发明专利]薄膜形成装置和薄膜形成方法-CN201410203311.8有效
发明人：川岸秀一朗;山下照夫;中村修 -专利权人： HOYA株式会社
申请日： 2014-05-14 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： C23C14/28 文献下载
摘要：本发明提供薄膜形成装置和薄膜形成方法，该装置能够在成膜对象部件的表面形成致密薄膜，其用于使蒸镀材料蒸镀在玻璃基板(2)的表面而在玻璃基板(2)的表面形成薄膜，具备安装有玻璃基板(2)的保持部件(10)；
阴极玻璃基板蒸镀材料等离子体薄膜形成装置阳极薄膜形成保持部件阴极电源离子枪蒸发部电位差表面形成薄膜表面形成并联连接成膜对象供给单元供给气体施加电压阳极电源致密薄膜离子束灯丝蒸镀照射蒸发

[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置-CN201810805310.9有效
发明人：朴巨星;朴培浣 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： B05B9/04 文献下载
摘要：一种薄膜形成装置，能够通过喷嘴向基板上供应化学制剂，能够利用驱动部件移动所述基板或/及所述喷嘴，能够利用压力调节部件在向所述基板上供应所述化学制剂期间使所述喷嘴保持实质上正压的状态。
薄膜形成方法装置

[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置-CN201310697905.4有效
发明人：山本和弥;伊藤勇一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-12-18 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： H01L21/31 文献下载
摘要：本发明提供薄膜形成方法及薄膜形成装置。该薄膜形成方法用于在收容于反应室内的被处理体上形成薄膜，包括：第1工序，将第1原料气体和第2原料气体供给到上述反应室内；以及第2工序，停止供给上述第1原料气体，将上述第2原料气体供给到上述反应室内，使上述反应室内的压力高于上述第
薄膜形成方法装置

[发明专利]薄膜形成装置及薄膜形成方法-CN201210594007.1有效
发明人：冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2012-12-31 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜形成装置及薄膜形成方法，其目的在于要求缩减用于在阻焊抗蚀剂等薄膜上印字的工序数。本发明的薄膜形成装置及薄膜形成方法中，第1喷头及第2喷头对置于对象物。控制装置控制第1喷头及移动机构而在对象物上以第1色液状材料形成第1薄膜，且控制第2喷头及移动机构而在对象物上以第2色液状材料形成第2薄膜。
薄膜形成装置方法

[发明专利]薄膜形成装置以及薄膜形成方法-CN201210182134.0有效
发明人：德安良纪;山本英明;渡濑直树;松井淳一;中村秀男 -专利权人：株式会社日立工业设备技术
申请日： 2012-06-05 - 公布日： 2012-12-19 - 主分类号： C03C17/22 文献下载
摘要：本发明提供一种能够进行高精度且均匀的涂敷的薄膜形成装置以及薄膜形成方法。本发明中，是具备吸附保持涂敷对象物（100）的吸附工作台（9）、一面从喷墨式喷嘴向被吸附保持在吸附工作台（9）上的涂敷对象物（100）的表面排出涂敷材，一面进行薄膜形成的多个涂敷头（4）、使涂敷头（4）在涂敷对象物（100）的上方位置移动的龙门架（3）的薄膜形成装置（1），其中，龙门架（3）还具备将涂敷对象物（100）的表面加热的热源装置（31）。
薄膜形成装置以及方法

[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置-CN201210234561.9有效
发明人：礒圭二 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2012-07-06 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： B05D1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置，其不会导致降低吞吐量就能够固化基板上附着的薄膜材料。本发明的薄膜形成方法中，在载物台上保持基板，从喷头吐出光固化性薄膜材料的液滴，并使薄膜材料的液滴着落于基板的表面。从临时固化用光源对着落于基板上的薄膜材料照射光，使薄膜材料的表层部固化。着落液滴的工序及固化薄膜材料的表层部的工序之后，从载物台搬出基板。
薄膜形成方法装置

[发明专利]薄膜形成方法及薄膜形成装置-CN201110448722.X有效
发明人：池内俊之;周保华;山本和弥;世良贤太郎 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-12-28 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜形成方法及薄膜形成装置。该薄膜形成装置的控制部在控制升温用加热器而将反应管内加热到装载温度之后，在反应管内收容半导体晶圆。接着，控制部在控制升温用加热器而将收容有半导体晶圆的反应管内加热到成膜温度之后，自处理气体导入管向反应管内供给成膜用气体而在半导体晶圆上形成薄膜。另外，控制部将装载温度设定为比成膜温度高的温度。
薄膜形成方法装置

[发明专利]薄膜形成装置和薄膜形成方法-CN02104561.5有效
发明人：山崎舜平;濑尾哲史;柴田典子 -专利权人：株式会社半导体能源研究所
申请日： 2002-02-08 - 公布日： 2002-09-18 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于形成包括多个功能区的有机化合物薄膜的薄膜形成装置。在一个形成室(210)内包括多个蒸气源(203a至203c),按顺序形成由各种有机化合物构成的功能区,并且可以在各功能区之间的界面中进一步形成一个混合区。另外,如果在这样的薄膜形成室中设置一个装置,为有待在一个分子激活区(213)中形成薄膜的一种有机化合物施加能量,就能形成致密的薄膜。
薄膜形成装置方法

[发明专利]薄膜形成装置及薄膜形成方法-CN94191803.3无效
发明人：桥村康广;野口哲;正木健一;赤井隆广 -专利权人：日本写真印刷株式会社
申请日： 1994-04-15 - 公布日： 2000-09-20 - 主分类号： B41F31/00 文献下载
摘要：一种薄膜形成装置，包括带有多个着墨孔的凹版辊（Ａ）；设有刮墨片（Ｂ２）的向着墨孔内充填油墨的供墨装置（Ｂ）；在其印版滚筒表上卷附有将上述凹版辊的油墨进行转移的弹性印版（７）的印刷辊（Ｄ）；以及具有印刷台上述薄膜形成装置还设有多关节机器人（６）；安装在上述多关节机器人的臂（６０）上的实现上述弹性印版向上述印刷辊的安装或拆卸的动作、上述凹版辊印版滚筒表面的擦拭动作以及上述刮墨片的擦拭动作中的至少一项动作的印刷准备作业实施装置
薄膜形成装置方法

[发明专利]薄膜形成装置及薄膜形成方法-CN94115986.8无效
发明人：桥村康广;野口哲;正木健一;赤井隆广 -专利权人：日本写真印刷株式会社
申请日： 1994-07-18 - 公布日： 1996-09-04 - 主分类号： B41F35/00 文献下载
摘要：并向油墨槽中充填油墨的供油墨装置(B)、在印版筒体表面上卷绕着把上述凹版辊上的油墨转移到其上的弹性印刷版(7)的印刷辊(C)及固定着把印刷辊上的油墨转移到其上的被印刷体(D2)的印刷台(D)的印刷装置的薄膜形成装置中
薄膜形成装置方法

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条