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[实用新型]一种蒸发源组件和蒸发镀膜设备-CN202122617064.4有效
发明人：李梦洁;熊继光;赵志国;赵东明;秦校军;冯笑丹;刘家梁;李新连;张赟 -专利权人：华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸发源组件和蒸发镀膜设备。该蒸发源组件包括分配管，分配管上设有多个蒸发孔；多个沿分配管的长度方向依次排列的蒸发源，并且每个蒸发源均与分配管连通。由于每个蒸发源均与分配管连通，亦即每个蒸发源均通过分配管实现连通，各个蒸发源之间的蒸气能够流通，使得正对蒸发源的位置处与相邻蒸发源之间位置处的蒸气更加均匀，提高了同一基板上不同位置处的膜层均匀性；同时，由于各个蒸发源之间的蒸气能够流通，使得其中一个蒸发源中的原料蒸发完毕后，其他蒸发源中的蒸气能够通过分配管进入该蒸发源，减少蒸发源干耗现象的发生，减少蒸发镀膜设备宕机次数，延长蒸发镀膜设备的镀膜周期。
一种蒸发组件镀膜设备

[实用新型]蒸镀装置-CN201822007055.1有效
发明人：星野孝雄 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：该蒸镀装置具有：收容蒸镀材料的蒸发源、以及载置所述蒸发源以使所述蒸发源在腔室内移动的蒸发源移动机构，其特征在于，在所述腔室内存在蒸镀位置和维护位置，所述蒸镀位置是向基板上形成蒸镀膜的位置，仅在所述蒸发源移动机构位于所述维护位置时，能够从所述蒸发源移动机构拉出所述蒸发源。根据本实用新型的如上所述的结构，能够防止作业者在维护位置之外的其他位置处向外拉出蒸发源而导致基体板或操作手柄与腔室内的隔壁接触而产生破损。
蒸发源蒸发源移动维护位置蒸镀装置本实用新型蒸镀室内操作手柄室内移动蒸镀材料基体板位置处蒸镀膜基板拉出外拉载置隔壁破损收容

[发明专利]一种监测蒸发源内部温度的方法-CN201710110190.6有效
发明人：吴建鹏;梁逸南;罗昶;嵇凤丽;杨忠英 -专利权人：成都京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： C23C14/54 文献下载
摘要：本发明提供一种监测蒸发源内部温度的方法。所述方法包括：根据当前蒸镀状态下蒸发源的喷嘴口处的内、外壁温度，计算当前蒸镀状态下所述蒸发源进行热传导的热传导系数；根据在当前蒸镀状态下所述蒸发源的外壁上第一位置的温度和所述热传导系数，计算当前蒸镀状态下所述蒸发源内部一第二位置的温度；其中所述第二位置为所述第一位置在所述蒸发源的内壁上的投影位置。所述方法通过监测蒸发源的喷嘴口处的内、外壁温度，能够获得蒸发源在当前状态的热传导系数，在此基础上根据蒸发源外壁上一位置点处的检测温度，能够获得对应位置的内部温度，从而解决现有技术无法获得蒸发源的内部温度的问题
一种监测蒸发内部温度方法

[发明专利]一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备-CN201910562480.3在审
发明人：庞浩;何嘉 -专利权人：北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种蒸发源的匹配方法及其装置、镀膜设备，用以实现自动匹配蒸发源和镀膜设备的目的，从而避免采用人工进行匹配造成工作量大，且工作效率较低的问题。一种蒸发源的匹配方法，包括：确定第一标识信息，以及与所述第一标识信息对应的蒸发源设置位置，所述第一标识信息用于标识镀膜设备中蒸发源设置位置；根据所述第一标识信息，以及预设的标识信息之间的对应关系，确定与所述第一标识信息对应的第二标识信息，所述第二标识信息用于标识蒸发源；根据所述第二标识信息，确定与所述第二标识信息对应的蒸发源，并控制将所述蒸发源匹配在所述蒸发源设置位置。
一种蒸发匹配方法及其装置镀膜设备

[发明专利]真空蒸发系统-CN201110424150.1有效
发明人：张志林;张建华;蒋雪茵;刘立宁;李俊 -专利权人：上海大学
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种真空蒸发系统，包括真空腔室、蒸发源、电磁感应圈以及托架；托架设置在真空腔室的底部，电磁感应圈设置在托架上方，与托架相对，蒸发源为多个，真空蒸发系统还包括移动支架，多个蒸发源排列放置在移动支架上，移动支架将蒸发源送至托架上方，托架将蒸发源托送至电磁感应圈中通过电磁感应加热进行蒸发，并在蒸发结束后返回初始位置，将蒸发源放回移动支架上的初始位置。移动支架在蒸发源放回到初始位置时，进行移动将下一蒸发源送至托架上方，进行下一次蒸发。本发明通过移动支架的移动来更换蒸发源，实现连续生产，大大简化了系统的结构，降低了能量消耗，大幅度的提高生产效率和可控性，保证了产品质量。
真空蒸发系统

[实用新型]蒸发源装置以及溅射镀膜设备-CN201820020691.5有效
发明人：徐旻生;庄炳河;龚文志;张永胜;满小花;王应斌 -专利权人：爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司
申请日： 2018-01-03 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型属于真空溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种蒸发源装置以及溅射镀膜设备，其中，蒸发源装置包括第一蒸发源机构、与所述第一蒸发源机构水平错位的第二蒸发源机构以及用于驱动所述第二蒸发源机构上下运动的升降驱动机构由于将蒸发源装置分为第一蒸发源机构和第二蒸发源机构，第一蒸发源机构和第二蒸发源机构能够单独供应，且还由于第二蒸发源机构与第一蒸发源机构水平错位，升降驱动机构能够驱动第二蒸发源机构上下运动，这样，当出现出料量不同时，则可通过升降驱动机构驱动第二蒸发源机构上下运动，以改变第一出料口与第二出料口之间的出料位置，能够调整镀膜的厚度，从而提高镀膜的均匀性。
蒸发源机构蒸发源装置升降驱动机构上下运动溅射镀膜设备水平错位出料口镀膜驱动真空溅射镀膜本实用新型出料位置出料量均匀性

[实用新型]一种线性蒸发源装置及蒸镀装置-CN202023104913.8有效
发明人：颜志敏;李灏;刘俊伟;苏圣勋;刘亚伟 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种线性蒸发源装置，至少包括：第一蒸发源、第二蒸发源、移动机构和控制系统，所述第一蒸发源和第二蒸发源的蒸发材料不相同；移动机构包括安装于各蒸发源上的齿轮，齿轮由电机驱动带动蒸发源在导轨上移动；控制系统与所述移动机构电连接，用于调节所述蒸发源的移动速度和相对位置。本实用新型的控制系统根据获取的膜厚信息，调节蒸发源的移动速度和相对位置，从而可有效控制梯度掺杂比的范围，有效的保证了梯度掺杂器件在量产时的可调范围，确保蒸镀膜层的厚度均一性。
一种线性蒸发装置

[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法以及电子设备的制造方法-CN201810579012.2在审
发明人：小泽雅基;住谷利治;相泽雄树 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2019-12-17 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种能够在闭合了蒸发源挡板的情况下防止蒸镀材料从蒸发源挡板之间的间隙泄漏的蒸镀装置(1)。该蒸镀装置(1)具有蒸发源(3)和配置在所述蒸发源(3)上方的蒸发源遮挡组件(4)，所述蒸发源遮挡组件(4)包括至少两个挡板部件，至少一个挡板部件可在遮挡位置和开启位置之间运动，当处于遮挡位置时，所述至少两个挡板部件拼合成挡板，以便在所述蒸发源(3)和被蒸镀的基板(2)之间形成屏障；所述蒸镀装置(1)的特征在于，在拼合状态下互相邻近的至少一对挡板部件之间设置有遮蔽部(5)。
蒸发源挡板部件蒸镀装置蒸发源挡板遮挡位置遮挡组件闭合挡板间隙泄漏开启位置拼合状态蒸镀材料遮蔽基板蒸镀合成邻近屏障配置

[实用新型]蒸镀装置-CN201820876134.3有效
发明人：小泽雅基;住谷利治;相泽雄树 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-06-07 - 公布日： 2019-04-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种能够在闭合了蒸发源挡板的情况下防止蒸镀材料从蒸发源挡板之间的间隙泄漏的蒸镀装置(1)。该蒸镀装置(1)具有蒸发源(3)和配置在所述蒸发源(3)上方的蒸发源遮挡组件(4)，所述蒸发源遮挡组件(4)包括至少两个挡板部件，至少一个挡板部件可在遮挡位置和开启位置之间运动，当处于遮挡位置时，所述至少两个挡板部件拼合成挡板，以便在所述蒸发源(3)和被蒸镀的基板(2)之间形成屏障；所述蒸镀装置(1)的特征在于，在拼合状态下互相邻近的至少一对挡板部件之间设置有遮蔽部(5)。
蒸发源挡板部件蒸镀装置蒸发源挡板遮挡位置遮挡组件本实用新型闭合挡板间隙泄漏开启位置拼合状态蒸镀材料遮蔽基板蒸镀合成邻近屏障配置

[实用新型]蒸发源的附着防止构造-CN201822006966.2有效
发明人：星野孝雄 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-11-30 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸发源的附着防止构造，其具备：旋转型蒸发源，设有多个用于收纳蒸镀材料的坩锅；以及附着防止板，以覆盖所述旋转型蒸发源的方式安装于该旋转型蒸发源，且具有开口部，其特征在于，在所述旋转型蒸发源和所述附着防止板上分别设有用于对合所述旋转型蒸发源和所述附着防止板的安装位置的位置对合机构通过具有上述构造，能够快速且准确地以正确的组合方式将附着防止板安装到与其对应的旋转型蒸发源上，从而提高生产率。
蒸发源旋转型附着防止板对合本实用新型收纳蒸镀材料组合方式开口部坩锅覆盖

[实用新型]一种镀膜均匀的真空镀膜装置-CN202220487402.9有效
发明人：林腾光 -专利权人：江西光腾微纳材料有限公司
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种蒸镀用蒸发源装置，包括镀膜机，所述真空腔体内底部呈环形等距设置多组工位，所述工位内均设置蒸发源机构；所述蒸发源机构包括载盘以及底盘，所述底盘固定设置在冷却罩内底部，所述载盘上侧面上呈环形等距设置第一蒸发源、第二蒸发源、第三蒸发源以及第四蒸发源，所述第一蒸发源包括蒸发源环形导环，所述蒸发源环形导环与外接公用导环电性连接，且蒸发源环形导环滑动套接在外接公用导环上，所述外接公用导环设置在底盘上侧面，所述载盘底部设置用于驱动载盘转动的旋转机构，本实用新型能够对多组蒸发源的位置进行自动调节，保证镀膜持续性，提高镀膜效率，镀膜均匀性佳。
一种镀膜均匀真空镀膜装置

[实用新型]蒸镀装置-CN201821224079.6有效
发明人：笔山弘章 -专利权人：佳能特机株式会社
申请日： 2018-07-31 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸镀装置，其具备：真空容器，所述真空容器具有可开关的门；蒸发源，布置在所述真空容器中，用于对蒸镀材料进行加热；以及蒸发源挡板，用于对从所述蒸发源蒸发的蒸镀材料进行遮挡，所述蒸发源挡板配置成在遮挡位置和非遮挡位置之间可动，其特征在于，至少一个蒸发源挡板安装在所述门上，当所述门打开时，所述至少一个蒸发源挡板位于所述真空容器之外。在工作人员打开门进入真空容器中进行作业时，能够尽可能地减少蒸发源挡板对工作人员的妨碍。
蒸发源挡板真空容器遮挡位置蒸镀材料蒸镀装置蒸发源本实用新型可开关门打开可动加热遮挡蒸发配置

[实用新型]蒸发源及具有该蒸发源的蒸镀设备-CN201620341052.X有效
发明人：张峰杰 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-04-21 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蒸发源及具有该蒸发源的蒸镀设备。该蒸发源包括具有容置空间的外壳体，其中所述外壳体上设置有喷射口；用于设置蒸发材料的蒸发源本体，所述蒸发源本体设置于所述容置空间内与所述喷射口相对的位置，且所述蒸发源本体与所述喷射口之间形成有蒸发材料所蒸发气体的流动空间所述蒸发源通过在蒸发源本体上方设置流动空间，且流动空间中设置第一加热丝用于为所通过的蒸发材料进行二次加热，使蒸气温度提高，从而不易在喷射口形成结晶，避免堵塞问题。
蒸发具有设备

[发明专利]一种蒸发源-CN201710706267.6有效
发明人：邹新 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2017-08-17 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本发明提供一种蒸发源，包括由导电材料制成的蒸发源本体；所述蒸发源本体包括：主体，所述主体内部开设有材料腔室；其中，所述主体外侧的任意位置设置有第一电极连接端，以及与所述第一电极连接端极性相反的第二电极连接端，所述第一电极连接端与所述第二电极连接端通电后，所述主体自身导电产生热量以加热所述材料腔室内的材料；相较于现有的蒸发源，本发明所提供的蒸发源，自身采用导电材料制成，通过在蒸发源的相应位置设置正、负电极即可实现蒸发源的自发热
一种蒸发

[实用新型]带感应片的真空镀膜室-CN201621233491.5有效
发明人：许峰 -专利权人：苏州市博飞光学有限公司
申请日： 2016-11-17 - 公布日： 2017-04-26 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及带感应片的真空镀膜室，包括真空泵、导气管、反应室、蒸发源、镀膜支架、感应片，其特征在于真空泵通过导气管与反应室连通，反应室中央位置设置有蒸发源，镀膜支架设置在蒸发源上方，镀膜支架顶部位置设置有感应片，镀膜支架顶部朝上方突起，蒸发源位于镀膜支架顶部突起的正下方。由于本实用新型所述的带感应片的真空镀膜室的镀膜支架顶部朝上方突起，蒸发源位于镀膜支架顶部突起的正下方，因此蒸发源与镀膜支架上不同位置的直线距离差极小，尽量减小了镀膜支架上工件的镀膜速率差，而且通过在镀膜支架上方顶部中央位置设置感应片
感应真空镀膜

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