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- [发明专利]用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液及测试方法-CN201310232747.5有效
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徐蕊
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深圳市华星光电技术有限公司
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2013-06-13
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2013-09-18
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G01N33/00
- 本发明提供了一种用于测试光阻剥离液中水分含量的溶液,所述光阻剥离液中包含有有机脂肪胺,所述测试溶液为芳香族有机酸,其中,通过芳香族有机酸中和有机脂肪胺,使得光阻剥离液呈弱酸性。芳香族有机酸的质量为其当量质量的1.2~1.5倍,所述有机脂肪胺为单乙醇胺,所述芳香族有机酸为苯甲酸或水杨酸。在有机脂肪胺类的剥离液中加入过量的芳香族有机酸类,控制芳香族有机酸与剥离液的比例,在惰性溶剂中预先中和有机脂肪胺,既能保证有机脂肪胺与芳香族有机酸能完全反应,又不会使得芳香族有机酸过量太多以至于影响溶液的PH值,过量的芳香族有机酸不会破坏体系的平衡,避免副反应的发生,量测准确快速,操作简便快速,能节约测试成本和测试时效。
- 用于测试剥离水分含量溶液方法
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