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[发明专利]一种治理污泥恶臭的除臭剂及其除臭方法-CN201410431190.2有效
发明人：李菠 -专利权人：四川吉奥安欣环保科技有限公司;重庆安碧捷高新技术产业集团有限公司;重庆安欣环保节能科技有限公司
申请日： 2014-08-28 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： A61L9/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种治理污泥恶臭的除臭剂及其除臭方法，除臭剂原料包括活性自由基源、活性激发剂、平衡稳定剂、持效促进剂，自由基源为卤素自由基源、SR自由基源、羟基自由基源的混合物；可用于污泥除臭，除臭剂中卤素自由基源的加入解决了单一SR自由基源、过氧化氢自由基源难以解决的腐殖胺恶臭。产品水溶活化后产生的SR自由基、羟基自由基、卤素自由基等极高的氧化电位可分解污泥中几乎所有的硫氰化物、含硫有机物、腐殖胺等难于生物降解的臭味化合物及有毒有机物，可彻底转化为无害无机物，如无机硫酸盐、二氧化碳
一种治理污泥恶臭除臭剂及其除臭方法

[发明专利]一种速度可调氢自由基束源的产生方法-CN201911282585.X在审
发明人：王兴安;赵敏 -专利权人：中国科学技术大学
申请日： 2019-12-13 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： G02F1/35 文献下载
摘要：本发明提供了一种速度可调氢自由基束源的产生方法，包括：利用脉冲阀超声射流产生母体分子束源，所述母体分子束源包括氢卤酸分子；利用激光器产生波长连续可调的真空紫外光解光，以通过所述光解光对所述母体分子束源进行光解，形成第一氢自由基束源和第二氢自由基束源，所述光解光与所述母体分子束源垂直交叉作用，所述第一氢自由基的主要分布方向与所述光解光的偏振方向垂直，所述第二氢自由基的主要分布方向与所述光解光的偏振方向平行；所述氢自由基速度可调是通过光解波长连续可调来实现的；利用漏勺对所述第一氢自由基束源或第二氢自由基束源进行准直，从而可以获得所需的高质量的氢自由基束源。
一种速度可调自由基产生方法

[发明专利]一种薄膜固化方法-CN202211563399.5在审
发明人：吕秋雨;薛国标 -专利权人：拓荆科技（上海）有限公司
申请日： 2022-12-07 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜固化方法，所述方法包括：向腔体内通入氧源，用以对硅氮聚合物薄膜中的硅氮键进行替换；将水蒸气通入远程等离子源；所述远程等离子源将水蒸气解离为羟基自由基和氧自由基；将解离出的羟基自由基和氧自由基通入所述腔体；所述羟基自由基与氧自由基协助所述氧源对硅氮聚合物薄膜进行固化。
一种薄膜固化方法

[发明专利]极紫外光设备与其运作方法-CN202011592548.1在审
发明人：苏彦硕;谢佳颖;陈彦勳;叶承翰;张汉龙;傅中其;刘恒信;陈立锐 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种极紫外光设备与其运作方法，极紫外光设备包括腔室、极紫外光源以及自由基源。极紫外光源设置向腔室内发射出极紫外光束。自由基源位于腔室内并邻近于极紫外光束通过的路径上。自由基源设置以向路径发射多个自由基。
紫外光设备与其运作方法

[发明专利]一种治理垃圾恶臭的除臭剂及其除臭方法-CN201410431103.3有效
发明人：李菠 -专利权人：重庆安碧捷高新技术产业集团有限公司;四川吉奥安欣环保科技有限公司;重庆安欣环保节能科技有限公司
申请日： 2014-08-28 - 公布日： 2017-02-15 - 主分类号： A61L9/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种治理垃圾恶臭的除臭剂及其除臭方法，除臭剂原料包括活性自由基源、活性激发剂、平衡稳定剂、持效促进剂，自由基源为卤素自由基源、SR自由基源、羟基自由基源的混合物；可用于垃圾除臭，经过本工艺处理的垃圾能消除或减轻臭味二至三天
一种治理垃圾恶臭除臭剂及其除臭方法

[发明专利]成膜装置-CN202210985436.5在审
发明人：佐藤英儿;坂本仁志 -专利权人：新烯科技有限公司
申请日： 2022-08-17 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：提供一种成膜装置，其能够高效地产生通过ALD在反应容器内的对象物形成金属氧化膜或金属氮化膜所需的反应性高的OH自由基或NH自由基，能够提高成膜效率。成膜装置(10)将金属化合物气体和OH自由基或NH自由基交替地导入反应容器(20)内，通过原子层沉积形成金属氧化膜或金属氮化膜，该成膜装置(10)包括：第1气体源(40)，其供给氧或氮；第2气体源(50)，其供给氢；第3气体源(60)，其供给载气；第1配管(32)，其使第1气体源和第3气体源与反应容器连通；第1等离子体生成部(44)，其生成包含从氧或氮解离的氧自由基或氮自由基的等离子体；第2配管(52)，其使第2气体源和第3气体源与上述反应容器连通；和第2等离子体生成部(54)，其生成包含从氢解离的氢自由基的等离子体。
装置

[发明专利]使用独立离子源与自由基源进行衬底处理的装置以及技术-CN202080083233.6在审
发明人：安东尼·雷诺;约瑟·C·欧尔森;彼得·F·库鲁尼西 -专利权人：应用材料股份有限公司
申请日： 2020-11-21 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01J37/305 文献下载
摘要：一种系统可包括用以支撑衬底的衬底载台及多个束源。所述多个束源可包括：离子束源，所述离子束源被布置成将离子束引导到所述衬底；以及自由基束源，所述自由基束源被布置成将自由基束引导到所述衬底。所述系统可包括控制器，所述控制器被配置成控制所述离子束源及所述自由基束源在至少一个方面彼此独立地运行，其中所述至少一个方面包括束组成、束入射角以及束源相对于所述衬底的相对扫描。
使用独立离子源自由基进行衬底处理装置以及技术

[发明专利]用于等离子体加工的三阶段脉冲系统和方法-CN202080055216.1在审
发明人：彼得·文特泽克;阿洛科·兰詹;大幡光德 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种等离子体加工方法包括执行反应性物质控制阶段、执行离子/自由基控制阶段以及执行副产物控制阶段。反应性物质控制阶段包括以脉冲方式向加工室施加源功率以在等离子体中生成离子和自由基。在反应性物质控制阶段之后执行离子/自由基控制阶段。离子/自由基控制阶段包括降低到加工室的源功率并且以脉冲方式向加工室中的衬底施加偏置功率。在离子/自由基控制阶段之后执行副产物控制阶段。副产物控制阶段包括相对于反应性物质控制阶段降低到加工室的源功率并且相对于离子/自由基控制阶段降低到衬底的偏置功率。
用于等离子体加工阶段脉冲系统方法

[发明专利]含有等离子体的自由基源-CN201980029558.3在审
发明人：巴顿·莱恩;彼得·文特泽克 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-05-01 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明描述了与自由基源相关的技术，该自由基源具有壳体，该壳体包括等离子体腔，该等离子体腔被设计为容纳由等离子体发生器产生的等离子体。该等离子体由喷射到该等离子体中的气体产生自由基。该腔中形成有出口或开口，该出口或开口将这些自由基从该腔中喷出。所喷出的自由基可以被引导向自由基源下面的主体晶片衬底。
含有等离子体自由基

[发明专利]带温度控制的多室喷头-CN201410052998.X有效
发明人：帕特里克·G·布莱琳;巴德里·N·瓦拉达拉简;詹妮弗·L·彼得拉利亚;巴特·J·范施拉芬迪克;卡尔·F·利泽;曼迪阿曼吉·斯利拉姆;雷切尔·E·巴策尔 -专利权人：诺发系统公司
申请日： 2014-02-17 - 公布日： 2018-06-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明涉及带温度控制的多室喷头，提供了与自由基源一起使用以在半导体处理操作过程中供应自由基的装置。该装置可包括形成面板组件的成堆的板或部件。面板组件可包括自由基扩散板、前驱体输送板和插在自由基扩散板和前驱体输送板之间的热隔离器。面板组件可具有成图案的自由基通孔，自由基通孔具有大体上垂直于自由基扩散板的中心线。热隔离器可被配置来调节自由基扩散板和前驱体输送板之间的热流。
自由基扩散板面板组件前驱体输送板喷头热隔离器多室通孔半导体处理操作自由基源热流垂直图案配置

[发明专利]增加甲烷化学自然源排放的大气污染模拟预测算法-CN201810020064.6在审
发明人：谢旻;王体健 -专利权人：南京大学
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2018-06-19 - 主分类号： G06F19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种增加甲烷化学变化的中尺度大气光化学污染模拟预测算法，其基于CALGRID化学模式，考虑大气化学反应、大气输送与扩散、沉降、地面面源和高架排放源的影响，在该基础上，将OH自由基和CH4作为变量，考虑甲烷的自然源排放，引入OH自由基和甲烷(CH4)的化学反应，根据OH自由基和CH4的化学反应列表计算OH自由基和CH4的浓度变化。本发明利用空气质量模式模拟OH自由基和CH4的时空分布，不仅有利于了解模拟区域的大气氧化能力，而且有利于深入了解光化学反应的细节。
甲烷化学反应预测算法自然源空气质量模式大气光化学光化学反应大气输送化学变化化学模式模拟区域浓度变化时空分布氧化能力排放源中尺度沉降排放面源扩散引入污染

[发明专利]非均相催化剂均相化增强电晕放电处理废气方法和装置-CN200610154819.9有效
发明人：吴祖成;康颖;李明波;高翔;骆仲泱 -专利权人：浙江大学
申请日： 2006-11-23 - 公布日： 2007-06-06 - 主分类号： B01D53/74 文献下载
摘要：在雾化室内将催化剂溶液雾化，随自由基源气体一同进入电晕放电反应器的中空喷嘴电晕极，并经金属喷嘴喷出进入等离子体电晕区，实现非均相催化剂的均相化，在电晕放电等离子体反应器中发挥催化作用；在电晕放电反应器内通过电晕放电激发自由基源气体分子产生大量高活性自由基，与进入反应器的污染物气体分子发生氧化或还原反应，使污染物得到降解，非均相催化剂均相催化可增强电晕放电激发自由基源气体的效率，使自由基的产率大大增加，使进入与自由基更充分接触被氧化或被还原，达到显著提高污染物的降解效率
均相催化剂增强电晕放电处理废气方法装置

[实用新型]非均相催化剂均相化增强电晕放电处理废气装置-CN200620140281.1无效
发明人：吴祖成;康颖;李明波;高翔;骆仲泱 -专利权人：浙江大学
申请日： 2006-11-23 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：在雾化室内将催化剂溶液雾化，随自由基源气体一同进入电晕放电反应器的中空喷嘴电晕极，并经金属喷嘴喷出进入等离子体电晕区，实现非均相催化剂的均相化，在电晕放电等离子体反应器中发挥催化作用；在电晕放电反应器内通过电晕放电激发自由基源气体分子产生大量高活性自由基，与进入反应器的污染物气体分子发生氧化或还原反应，使污染物得到降解，非均相催化剂均相催化可增强电晕放电激发自由基源气体的效率，使自由基的产率大大增加，使进入与自由基更充分接触被氧化或被还原，达到显著提高污染物的降解效率
均相催化剂增强电晕放电处理废气装置

[发明专利]一种基于氧化性自由基处理涂装自动生产线废气系统-CN201910260114.2在审
发明人：杜长明;宋世炜;陈浩卓 -专利权人：广州尚洁环保科技有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2019-07-09 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于氧化性自由基处理涂装自动生产线废气系统，包括按气流方向依次布置的自由基多相氧化塔和自由基气相氧化箱，所述自由基多相氧化塔与所述自由基气相氧化箱连通，所述自由基多相氧化塔通过注入活性氧分子来产生氧化性自由基，所述自由基气相氧化箱通过光解来产生氧化性自由基。VOCs污染物于自由基多相氧化塔内同时发生气‑气、气‑液、液‑液、气‑固和气雾多相氧化反应，被强烈快速降解，且塔内形成多相氧化‑水溶液注入活性氧分子再生‑激发强氧化性自由基源‑多相氧化的良性循环。未降解或未完全降解的污染物随后被自由基气相氧化箱中紫外灯产生的氧化性自由基和催化剂的复合活性组分高效捕获，并彻底氧化降解，无二次污染，环保节能。
氧化性自由基气相氧化氧化塔自由基活性氧分子自动生产线废气系统自由降解涂装污染物强氧化性自由基无二次污染复合活性环保节能快速降解良性循环氧化反应氧化降解依次布置液气紫外灯光解箱中催化剂捕获连通再生激发

[实用新型]一种基于氧化性自由基处理涂装自动生产线废气系统-CN201920434946.7有效
发明人：宋世炜;陈浩卓;杜长明 -专利权人：广州尚洁环保科技有限公司
申请日： 2019-04-01 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于氧化性自由基处理涂装自动生产线废气系统，包括按气流方向依次布置的自由基多相氧化塔和自由基气相氧化箱，所述自由基多相氧化塔与所述自由基气相氧化箱连通，所述自由基多相氧化塔通过注入活性氧分子来产生氧化性自由基，所述自由基气相氧化箱通过光解来产生氧化性自由基。VOCs污染物于自由基多相氧化塔内同时发生气‑气、气‑液、液‑液、气‑固和气雾多相氧化反应，被强烈快速降解，且塔内形成多相氧化‑水溶液注入活性氧分子再生‑激发强氧化性自由基源‑多相氧化的良性循环。未降解或未完全降解的污染物随后被自由基气相氧化箱中紫外灯产生的氧化性自由基和催化剂的复合活性组分高效捕获，并彻底氧化降解，无二次污染，环保节能。
一种基于氧化自由基处理自动生产线废气系统

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