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- [发明专利]于接触形成中防止接触孔宽度增加的方法-CN200480033777.2无效
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D·M·霍珀;H·木下;C·吴
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先进微装置公司
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2004-10-08
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2006-12-20
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H01L21/768
- 依照一个范例实施例，一种在半导体芯片中的硅化物层(214)之上形成接触的方法，包括步骤：在接触孔(208)侧壁(206、207)上和在位于接触孔(208)底部的自生氧化物层(210)上沉积阻挡层(202)，其中该侧壁(206、207)由介电层(204)中的接触孔(208)所界定。该沉积(150)阻挡层(202)于接触孔(208)的侧壁(206、207)和于自生氧化物层(210)上的步骤(150)能够最优化，而使得阻挡层(202)在接触孔(208)的顶部具有较在该接触孔(208)依照此范例实施例，本方法复包括移除(152)阻挡层(202)的一部分(219)和位于在接触孔(208)底部的自生氧化物层(210)，以暴露硅化物层(214)的步骤。
- 接触形成防止宽度增加方法
- [发明专利]一种难降解有机废水的处理方法和装置-CN201610300823.5在审
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薛罡;高品;陈红;张文启;李响;陈畅愉;张禾
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东华大学
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2016-05-09
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2016-07-27
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C02F1/28
- 本发明涉及一种难降解有机废水的处理方法和装置，方法包括以下步骤：将废水注入活性炭自生——再生反应器，活性炭自生——再生反应器内装填颗粒活性炭吸附床；投加过氧化氢溶液，密闭升温至150～200℃，反应5～装置包括投料池和活性炭自生——再生反应器，活性炭自生——再生反应器与废水输送管连通，投料池通过投料管与活性炭自生——再生反应器连通，活性炭自生——再生反应器通过加热器进行加热，活性炭自生——再生反应器内部、近下部位置从上自下依次设有颗粒活性炭吸附床、砾石承托层和滤板，底部设有出水反冲管、上部设有释气管和溢流管。本发明的方法和装置能够对难降解有机废水进行处理，实现颗粒活性炭原位自生及再生，运行成本低。
- 一种降解有机废水处理方法装置
- [发明专利]铝基复合材料表面耐蚀涂层的制备方法-CN200610147646.8无效
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孙焕焕;王浩伟;马乃恒;陈东;李险峰
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上海交通大学
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2006-12-21
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2007-06-27
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C23C28/00
- 一种材料工程技术领域的铝基复合材料表面耐蚀涂层的制备方法，步骤如下：复合材料表面预处理：采用抛光、除油和酸性活化，获得阳极氧化预处理表面；复合材料阳极氧化：采用硫酸、草酸和硼酸的混合溶液作为电解液，对原位自生TiB2颗粒增强铝基复合材料进行阳极氧化，在其表面生成一层非晶氧化铝膜；氧化膜封孔和稀土化合物沉积：采用稀土盐添加氧化剂和添加剂的混合溶液对氧化铝膜进行封闭处理，利用溶液中的化学反应封闭氧化铝膜的多孔层，同时在氧化铝膜表面沉积一层均匀、致密的非晶稀土化合物膜。本发明提高了TiB2颗粒增强铝基复合材料表面抗腐蚀性能，技术简单、操作方便、扩大了原位自生TiB2颗粒增强铝基复合材料的应用范围。
- 复合材料表面涂层制备方法
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