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- [实用新型]对心装置-CN202222162493.1有效
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请求不公布姓名
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无锡光导精密科技有限公司
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2022-08-17
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2023-02-14
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H01L21/68
- 本申请涉及一种对心装置,对心装置包括:主体;对心机构及载台,对心机构安装于主体上,载台安装于对心机构上,载台被构造能够承载并带动工件同步运动或释放工件至主体上;安装于主体上的视觉机构,视觉机构受控拍摄工件及载台,对心机构受控根据视觉机构拍摄的信息调整载台与工件的相对位置,以使工件与载台的圆心重合,且使工件的定位部周向转动至目标位置。对心装置不但能够定位非透明状的晶圆的定位缺口,还能够定位透明状的晶圆的定位缺口,相对于现有技术不能适用定位透明状晶圆的定位缺口的情况,扩大了对心装置的应用范围。
- 对心装置
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