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- [发明专利]半导体装置的制造方法-CN200510092709.X无效
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福水裕之;本田真悟
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株式会社东芝
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2005-08-18
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2006-02-22
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H01L21/768
- 半导体装置的制造方法,包括如下工序:在半导体基板上依次堆积第1导电性阻挡膜、铝或铝合金的膜和第2导电性阻挡膜,形成层压结构的布线材料膜的工序;在第2导电性阻挡膜表面上依次形成有机材料膜、硅氧化膜和抗蚀膜的工序;通过平版印刷术形成抗蚀图形,以该抗蚀图形为掩模,采用至少含有氟的加工气体对硅氧化膜进行蚀刻加工,在有机材料膜表面上形成氧化硅膜图形的工序;在以氧化硅膜图形为掩模,采用含有H和N的加工气体对上述有机材料膜进行蚀刻加工,在导电性阻挡膜表面上形成有机材料膜图形的工序;在曝露于大气中之前,进行含有C的加工气体、含有H的加工气体或者含有O的加工气体的等离子体处理的工序;以及以上述各图形为掩模,对布线材料膜进行蚀刻加工形成布线的工序
- 半导体装置制造方法
- [发明专利]一种复合正渗透膜及其制备方法-CN201610255580.8在审
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宗同强;何其伟;彭力;朱婷
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嘉兴中科检测技术服务有限公司
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2016-04-20
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2016-07-20
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B01D69/12
- 本发明提供了一种复合正渗透膜,所述复合正渗透膜由膜材料和支撑材料复合而成,所述膜材料主要由负载纳米银的纳米管材料和三醋酸纤维素复合而成,所述纳米管材料选自具有亲水基团的碳化硼纳米管、具有超亲水性的二氧化钛纳米管和具有亲水基团羧基化的碳纳米管中的一种或多种本发明的复合正渗透膜能提高水通量,并达到很高的截盐率,并具有抗菌作用。本发明还提供了所述复合正渗透膜的制备方法,包括以下步骤:1)对纳米管材料进行表面修饰,引入亲水基团;2)在经表面修饰后的纳米管材料上负载纳米银;3)对支撑材料进行预处理;4)制备膜溶液;5)将所述膜溶液铺展到支撑材料上,刮制成膜,挥发溶剂后再于表面包覆凝胶,制备复合膜。
- 一种复合渗透及其制备方法
- [发明专利]金属抛光方法-CN202010144071.4在审
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邓辉;易蓉
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南方科技大学
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2020-03-04
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2020-06-05
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C23F3/00
- 该金属抛光方法包括以下步骤:(1)在金属材料表面形成钝化膜;(2)将表面形成钝化膜的金属材料浸入刻蚀液并施加电场。本发明的金属抛光方法在对金属材料进行抛光前预先在金属材料表面形成纳米尺度的钝化膜。当形成钝化膜的金属材料浸入刻蚀液并施加电场时,钝化膜上较薄处在电场作用下被击穿,金属基体在电场和强氧化性酸的共同作用下发生各向同性刻蚀,刻蚀孔不断生长并融合,初始的粗糙表面逐渐被光滑的刻蚀孔内表面所取代随着刻蚀孔的不断生长,整个表面的起伏逐渐消失,表面粗糙度可以降低到几个纳米,从而实现较好的抛光效果。
- 金属抛光方法
- [发明专利]一种防霉膜-CN201410603034.X在审
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郭江明
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杭州安普鲁薄膜科技有限公司
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2014-10-30
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2016-08-24
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B01D69/10
- 本发明公开了一种防霉膜,包括膜主体、支撑材料和基材。其中膜主体为ePTFE膜,其表面经过超疏水处理,形成微米级的凸起,增加了所述防霉膜表面的粗糙度,使防霉膜表面与水的接触角大于150°,滚动角小于10°,超疏水处理后的膜片疏油等级达到7~8级,防霉等级达到1或0级,使孢子无法在表面生长;支撑材料可以采用PET、PP、PE、PP与PE复合材料、PP与PET复合材料、PET与PE复合材料;基材可以是无纺布、网格、机织布。该防霉膜的过滤精度范围在0.02μm~5μm内,厚度在0.5~15μm内,透气量在80~100L/m2·s范围内。
- 一种防霉
- [发明专利]具有特定表面形状的物品的制造方法-CN02800188.5无效
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堀雅宏;中村浩一郎;山本博章
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日本板硝子株式会社
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2002-01-25
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2003-11-12
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B29C39/10
- 一种脱模性优良、表面形状精度高地涂覆物品的高效制造方法。该方法中,将成形模的成形表面向上保持水平,在该成形表面上供给溶胶凝胶材料液,形成膜状,加热,然后,使基材与前述膜接触,再加热,其后脱成形模,必要时再加热,形成基材表面涂覆有成形模的成形表面形状翻转的表面的凝胶化膜,得到有特定表面形状的物品。该方法特征在于,沿前述成形模的成形表面的外周部分,比前述成形模的成形表面低的位置设有溶胶凝胶材料液的膜边缘部分维持区域,将前述溶胶凝胶材料液供给前述溶胶凝胶的成形表面,使前述溶胶凝胶材料液的膜边缘部分超过前述成形模的成形表面,到达前述膜边缘部分维持的区域形成前述膜。
- 具有特定表面形状物品制造方法
- [发明专利]表膜组件和其制造方法-CN201510860072.8有效
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许倍诚;林志诚;李信昌;连大成;严涛南
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台湾积体电路制造股份有限公司
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2015-11-30
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2020-07-10
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G03F7/20
- 本发明提供一种表膜组件和其制造方法,所述方法包含制造包含侧壁的表膜框架,所述侧壁具有多孔材料。在一些实施例中,所述表膜框架经受阳极化过程以形成所述多孔材料。所述多孔材料包含在垂直于所述侧壁的外部表面的方向上从所述侧壁的所述外部表面延伸到内部表面的多个孔隙通道。在各种实施例中,形成表膜薄膜,且所述表膜薄膜附接到所述表膜框架使得所述表膜薄膜由所述表膜框架悬置。本文中所揭示的一些实施例进一步提供包含薄膜和表膜框架的系统,所述表膜框架固定跨越所述表膜框架的所述薄膜。在一些实例中,所述表膜框架的一部分包含多孔材料,其中所述多孔材料包含所述多个孔隙通道。
- 组件制造方法
- [发明专利]鞋体制作方法及鞋体制作设备-CN201810040205.0有效
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萧瑞芬
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大力卜股份有限公司
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2018-01-16
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2021-03-26
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A43D8/00
- 一种鞋体的制作方法,包含有:叠合并固定一张力膜和一热融材料膜,移动呈立体状的一鞋面层使该鞋面层的表面抵压该热融材料膜,并使该张力膜和该热融材料膜具一预定的张力;以非接触的方式对该热融材料膜加热,使该热融材料膜与该鞋面层的表面结合后,再将该张力膜移离该热融材料膜。一种用于实施上述鞋体制作方法的鞋体制作设备,包含有:一治具用以固定该张力膜和该热融材料膜、一鞋面层固定件供该鞋面层设置其上、一驱动装置用以驱动该鞋面层固定件或该治具,以及一非接触式加热装置用以对该热融材料膜加热
- 体制方法设备
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