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- [实用新型]一种半导体硅片手动酸腐蚀装置-CN201420268828.0有效
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孙智武;陈卫群;寇文杰
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洛阳单晶硅有限责任公司
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2014-05-26
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2014-11-12
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H01L21/67
- 一种半导体硅片手动酸腐蚀装置,用于采用化学方法去除硅片表面在切片、磨片等机加过程中产生的损伤层和油污,获得洁净光亮、几何参数完善的腐蚀硅片。本装置的腐蚀槽(1)分隔成硅片腐蚀区(2)、热交换区(6)、循环区(9)、循环排气区(11)即相互独立又相互连通的四个区,混酸在腐蚀槽(1)内部循环流动。待腐蚀硅片放在腐蚀滚柱(14)的凹槽15中,驱动装置(16)驱动两根腐蚀滚柱(14)转动。混酸在压空的驱动下,从热交换区(6)到循环区(9)、循环排气区(11)再到硅片腐蚀区(2)。硅片全部浸没到硅片腐蚀区(2)的混酸内发生化学反应,通过调整混酸供应管(7)的流量、压空进气管(10)的流量和压力、冷却水管(8)的流量和温度,可有效控制硅片反应温度、反应速度、腐蚀去除量的控制。
- 一种半导体硅片手动酸腐装置
- [实用新型]一种混凝土加速侵蚀试验装置-CN202020828614.X有效
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杨静;杨林
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郑州市规划勘测设计研究院
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2020-05-18
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2021-02-02
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G01N17/00
- 本发明公开了一种混凝土加速侵蚀试验装置,装置由负压容器和储液容器两部分组成,其中包括负压容器、储液容器、真空泵、电磁阀、压力传感器、STC12C5A16S2单片机控制器、装置体、钢制密封盖、连接管路;采用了负压进行加速腐蚀,大大缩短腐蚀周期,腐蚀试验时间缩短75%左右;负压条件加速腐蚀液进入混凝土内部,常压浸泡的迁移动力是毛细吸附和浓度差,而通过负压浸泡能使腐蚀液进入一定深度,而不是停留在表面;通过大量试验发现,由于腐蚀层腐蚀产物停留在混凝土表面,阻止了腐蚀液的进入,使混凝土的受腐蚀过程逐渐变缓;本实用新型可使腐蚀液在短期内进入到混凝土内部,结合干燥过程,使内外同步发生腐蚀反应,速度大大加快。
- 一种混凝土加速侵蚀试验装置
- [发明专利]一种材料腐蚀检测装置和方法-CN201410311454.0有效
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焦正;李俊豪;程伶俐;李敏通
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上海大学
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2014-07-02
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2017-10-24
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G01N29/11
- 本发明涉及一种材料腐蚀检测装置和方法,装置包括声发射传感器,前置放大器,过滤器,主放大器,缓冲存储器,信号探测装置、信号处理单元以及显示装置;所述发射传感器依次连接前置放大器,过滤器,主放大器,缓冲存储器,信号探测装置、信号处理单元,所述信号处理单元通过多路通道连接到显示装置。本方法在不损坏被检测材料的情况下,监测其内部释放出的能量,通过此能量信号来判断材料的腐蚀断裂的特性。本发明装置和方法通过感应腐蚀诱导破裂中释放的能量和释放能量的特征,检测材料的腐蚀状况。通过所测量信号的频率和振幅可判断材料是否发生腐蚀以及腐蚀所形成的产物。通过V2s数值的测定可反应材料的腐蚀速率及腐蚀量。
- 一种材料腐蚀检测装置方法
- [发明专利]一种旋转弯曲腐蚀疲劳实验装置-CN200810057159.1无效
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钱桂安
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中国科学院力学研究所
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2008-01-30
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2008-07-16
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G01N3/36
- 本发明公开了一种旋转弯曲腐蚀疲劳实验装置,该装置包括旋转弯曲疲劳实验装置及腐蚀液供给系统,其中,旋转弯曲疲劳实验装置用于试件的装卡,并在驱动试件旋转过程中对其施加弯曲载荷,以及实现对试件疲劳数据的测试;腐蚀液供给系统包括储液罐、输液泵、流量调节阀及连接管道,腐蚀液供给系统通过其输出口实时向测试中的试件输送腐蚀液。本发明在已有的旋转弯曲疲劳试验机的基础上,通过增加腐蚀液供给系统,从而实现了对材料的中、高周、超高周腐蚀疲劳性能的测试。由于试验装置的设计和工程实际接近,因而使用该装置所测结果对工程设计有较大的参考价值。本发明腐蚀疲劳实验装置结构简单,操作简便,可得到规范化的实验结果。
- 一种旋转弯曲腐蚀疲劳实验装置
- [发明专利]一种间歇性浸没旋转腐蚀实验装置-CN202111474968.4在审
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孙政
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山东核电有限公司
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2021-12-03
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2022-04-12
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G01N27/416
- 本发明公开了一种间歇性浸没旋转腐蚀实验装置,间歇性浸没旋转腐蚀实验装置包括旋转轴、轴瓦组件、支撑组件和导电组件,旋转轴为绝缘件,旋转轴的一端用于连接驱动件,旋转轴具有沿其轴向延伸的走线通道,轴瓦组件连接在旋转轴的两端,且用于支撑旋转轴,过滤网为多个,支撑组件的一端与旋转轴相连,另一端与过滤网相连,导电组件连接在旋转轴的远离驱动件的一端,旋转轴、过滤网及支撑组件中的至少一个上设有腐蚀试片或者参比电极。该间歇性浸没旋转腐蚀实验装置,通过使金属腐蚀试样间歇性的浸没于腐蚀介质中,使金属腐蚀试样之间构成腐蚀电偶,并且能够向腐蚀试样上施加极化电流以获得金属腐蚀试样在间歇性的浸没于腐蚀介质下的腐蚀学信息。
- 一种间歇性浸没旋转腐蚀实验装置
- [发明专利]动态循环腐蚀速率测试装置及测试方法-CN202111059338.0在审
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刘罡
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刘罡
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2021-09-10
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2022-01-11
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G01N17/00
- 本发明涉及一种测试装置以及测试方法,具体涉及一种动态循环腐蚀速率测试装置及测试方法。该测试装置及测试方法通过挂片取放装置将测试管片安装在测试罐中,通过多相流闭环循环对其腐蚀,且在实验过程中多次对腐蚀速率进行检测。该测试装置及测试方法能完全模拟多相流管道内腐蚀环境,提高实验结果的准确性;能在带压情况下完成测试管片的取放,从而能通过称重法连续对测试管片进行腐蚀检测,或能对测试管片的腐蚀速率进行在线检测,大大增加实验科学性和可操作性,能在实验过程中对各阶段的腐蚀速率进行检测;解决了现有评价模型不准确,且不能对各阶段的腐蚀速率进行检测的问题。
- 动态循环腐蚀速率测试装置方法
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