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- [发明专利]激光加工装置-CN200710154434.7有效
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能丸圭司
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株式会社迪思科
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2007-09-12
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2008-03-19
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B23K26/04
- 本发明提供一种激光加工装置，其通过形成深度均匀的激光加工孔，能够在晶片的基板上高效地形成到达电极的激光加工孔，而不会在电极上开孔。激光加工装置具有：保持被加工物的卡盘工作台；和向保持在卡盘工作台上的被加工物上照射激光光束的激光光束照射单元，激光光束照射单元具有：振荡脉冲激光光束的脉冲激光光束振荡器；对从脉冲激光光束振荡器振荡出的脉冲激光光束进行聚光的聚光器；激光光束扫描单元，其配置在脉冲激光光束振荡器和聚光器之间，用于使入射向该聚光器的脉冲激光光束偏转；以及激光光束整形单元，其配置在脉冲激光光束振荡器和激光光束扫描单元之间，用于将从脉冲激光光束振荡器振荡出的脉冲激光光束的能量分布整形为礼帽形状
- 激光加工装置
- [发明专利]激光清洗头-CN201710716390.6有效
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张志研;林学春;梁浩;王奕博;刘燕楠;马文浩
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中国科学院半导体研究所
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2017-08-18
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2021-01-29
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B08B7/00
- 一种激光清洗头，包括：脉冲激光源，用于输出脉冲激光光束；传能光纤，其一端与脉冲激光源连接，用于传输脉冲激光光束；准直器，与传能光纤的另一端连接，用于准直脉冲激光光束；反射镜，用于将准直后的脉冲激光光束反射至清洗样件的表面本发明通过采用传能光纤和反射镜，使脉冲激光光束射入至清洗样件的表面，因此，激光清洗头的结构简单，操作便捷。反射镜采用可调谐聚焦光束反射镜，在反射激光光束的同时能够对光束聚焦整形，可使得射出的光束为高功率矩形光束，从而射到清洗物件表面的光束为线光束，形成线斑面，因此清洗范围大，且避免了传统清洗方式中点斑衔接时存在的微小缝隙
- 激光洗头
- [发明专利]红外探测器瞬态响应特性的测试系统-CN202310841344.4在审
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窦秀明;丁琨;孙宝权
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中国科学院半导体研究所
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2023-07-10
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2023-10-13
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G01J5/90
- 本发明提供了一种红外探测器瞬态响应特性的测试系统，涉及光电探测领域，包括：红外光源单元，用于发射红外脉冲激光光束；可见光源单元，包括：可见激光器，用于发射可见激光光束；可见中性密度衰减片，用于衰减可见激光光束的强度；光纤耦合器，用于耦合可见激光光束；可见光纤，用于传输可见激光光束；准直对准单元，包括：反射式光纤准直器，用于准直红外脉冲激光光束和可见激光光束为平行光；光阑，用于准直红外脉冲激光光束和可见激光光束至光路统一高度；白光成像单元，用于可见激光光束聚焦光斑的成像；红外探测器，用于将红外脉冲激光光束光信号转换为电信号；光电信号处理单元，用于根据电信号测试红外探测器的瞬态特性。
- 红外探测器瞬态响应特性测试系统
- [发明专利]激光加工装置-CN201510789075.7有效
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能丸圭司
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株式会社迪思科
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2015-11-17
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2019-05-31
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B23K26/067
- 提供激光加工装置，不使每1脉冲的功率密度减半地将激光光线分支成多个而形成多个聚光点。激光加工装置的光学系统包含：以规定的重复频率振荡激光光线的脉冲激光振荡器；主偏振光束分光器；1/4波长板；将穿过1/4波长板的脉冲激光光线调制成P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线的光弹性调制元件；将由光弹性调制元件调制后的P偏振光脉冲激光光线和S偏振光脉冲激光光线分支的辅偏振光束分光器。光学系统还包含：使相对于由辅偏振光束分光器分支的P偏振光的脉冲激光光线的往路光路稍微倾斜的返路光路逆行的第1反射镜；使相对于由辅偏振光束分光器分支的S偏振光的脉冲激光光线的往路光路稍微倾斜的返路光路逆行的第
- 激光加工装置
- [发明专利]飞秒激光实时动态定位聚焦系统及方法-CN202110238947.6有效
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周辉
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季华实验室
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2021-03-04
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2021-06-18
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A61F9/008
- 本发明涉及飞秒激光实时动态定位聚焦系统及方法，采用两种光学相干成像系统对全眼的三维图像信息进行实时采集，以能够实现对飞秒脉冲激光光束精准的实时动态定位聚焦，并能够对由飞秒脉冲激光光束诱导发出的飞秒激光诱导等离子体光信号进行分析处理，进一步判断飞秒脉冲激光光束在眼组织的实时定位信息，提高了飞秒脉冲激光光束的实时动态定位聚焦的精确度。本发明的所述飞秒激光实时动态定位聚焦系统构成一个动态循环的测量和调节系统，能够实时测量和动态调节飞秒脉冲激光光束在眼组织的聚焦位置，确保手术进行过程中的安全性和精确度。
- 激光实时动态定位聚焦系统方法
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