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[发明专利]光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法-CN202010752075.0在审
发明人：金在植;张成根;林锺吉;贺晓彬;杨涛;李俊峰;王文武 -专利权人：中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法，涉及半导体制造技术领域，其中光刻胶回吸装置包括监测器、通断回吸机构以及控制器，监测器安装在光刻胶涂布设备上，用于监测光刻胶涂布设备中光刻胶喷嘴内的光刻胶液柱；通断回吸机构设置在光刻胶涂布设备的光刻胶管路上，通断回吸机构中的调节组件用于调节光刻胶管路中光刻胶的回吸量，以控制与光刻胶管路连通的光刻胶喷嘴内的光刻胶液柱的位置；控制器分别与监测器和通断回吸机构信号连接，用于接收监测器反馈的信号，以及控制通断回吸机构的开闭。本发明公开的光刻胶回吸装置能够避免光刻胶因距离光刻胶喷嘴的开口过近而发生凝结或滴落。
光刻胶回吸装置布设胶涂布方法

[实用新型]一种可转动的点胶管装置-CN201821353437.3有效
发明人：庞建峻;李海燕;邹兴聪;赵维为;庞建峰 -专利权人：成都艾之尚科技有限公司
申请日： 2018-08-21 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型属于点胶技术领域，具体涉及一种可转动的点胶管装置，包括点胶管和点胶管固定架，所述点胶管包括压力筒、回吸阀、转动连通机构、针筒和针管，所述回吸阀固定连接在点胶管固定架上，所述回吸阀上设置有回吸阀加热治具，所述压力筒通过压力筒固定块固定连接在点胶管固定架上，所述回吸阀上设置有回吸阀入口，所述压力筒通过回吸阀入口与回吸阀连通，所述针筒通过转动连通机构与回吸阀连通，所述回吸阀与转动连通机构之间连接有连接管，本实用新型通过设置转动连通机构，可以使针筒及针管相对其他部件作回转运动，实现了点胶管可转动点胶的功能，整体结构简单，操作方便。
回吸点胶连通机构压力筒针筒转动固定架可转动针管连通本实用新型阀入口管装置点胶技术回转运动加热治具针管末端出口端固定块连接管倾斜状

[实用新型]可控制回吸时间点胶机-CN200420022894.6无效
发明人：李丕民 -专利权人：昆山信亿塑胶制品有限公司
申请日： 2004-05-19 - 公布日： 2005-10-26 - 主分类号： B05B12/00 文献下载
摘要：一种可控制回吸时间点胶机，包括点胶机本体，它连接于点胶针筒，其特征在于：在所述的点胶机本体内设有的点胶时间控制电磁阀的排气出口上连接一回吸时间控制电磁阀。本实用新型在控制点胶机时间电磁阀的排气出口加上另一控制回吸时间的电磁阀，当点胶时两组电磁阀同时打开，点胶结束时，控制点胶的电磁阀关闭，点胶结束；控制回吸时间的电磁阀延后关闭，回吸开始，其延长时间即为回吸的时间，控制回吸时间的电磁阀关闭后会造成点胶针筒内的微真空状。因此本实用新型不仅拥有点胶和回吸双重功能外，还具备回吸时间的控制功能，可在点胶后瞬间回吸，保持密闭微真空进而增加控制力、点胶精度，并且不造成滴漏。
控制时间点胶机

[发明专利]一种使用电控回吸阀的胶嘴清洗系统及其清洗方法-CN201711159619.7在审
发明人：耿克涛;高晓旭 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2017-11-20 - 公布日： 2019-05-28 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明属于半导体行业中对晶圆匀胶工艺用液体处理领域，具体地说是一种使用电控回吸阀的胶嘴清洗系统及其清洗方法，清洗系统包括胶头、胶嘴、胶嘴清洗槽、胶嘴清洗管、通断阀、胶路保温管、电控回吸阀及电控回吸阀控制器，胶嘴通过升降组件驱动进入胶嘴清洗槽，通过电控回吸阀在电控回吸阀控制器的作用下，再配合通断阀的控制，在胶嘴清洗槽的洗净腔室中，能高精度回吸胶嘴清洗液，进而实现对胶嘴清洗的目的。本发明通过精确控制的电控回吸阀，能更有效地对胶嘴残留光刻胶进行清洗，并能绝对阻断胶路内光刻胶与空气接触，从而减少光刻胶浪费，为企业节省成本。
胶嘴回吸电控清洗系统清洗光刻胶清洗槽阀控制器通断阀胶路半导体行业空气接触升降组件液体处理保温管清洗管清洗液有效地胶头腔室洗净残留驱动配合

[发明专利]一种照明灯生产用点胶设备-CN201810473031.7在审
发明人：管庆芬 -专利权人：管庆芬
申请日： 2018-05-17 - 公布日： 2018-08-17 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种照明灯生产用点胶设备，其结构包括：输送链带、回吸点胶阀、针管回吸吊架、点胶针管、输送软管、热熔胶箱体、滑板工作台、配电控制台、支撑立柱、横梁滑轨柱，输送链带插嵌在回吸点胶阀的右上角，针管回吸吊架焊接在回吸点胶阀的底部并且相互贯通，本发明回吸点胶阀设有压降杆支架体、连杆旋转装置、球轮支撑装置、棘轮卷绕机构、丝杆伸缩机构、活塞杆顶推装置、水轮传送装置、螺旋桨传输机构，实现了照明灯生产用点胶设备的回吸机械操作效果强，增设这一传动结构，可以有效控制点胶量，也配合点胶位置移动限位高效，着重对点胶的针头进行保护，回吸残留堵塞的胶质，进行回收利用，节约资源且延长部件使用寿命。
回吸点胶阀点胶设备照明灯输送链带吊架针管丝杆伸缩机构滑板工作台控制点控制台传动结构传输机构传送装置点胶针管横梁滑轨回收利用活塞杆顶机械操作节约资源卷绕机构使用寿命输送软管旋转装置延长部件移动限位支撑立柱支撑装置胶质杆支架胶位置配合点热熔胶右上角螺旋桨插嵌点胶棘轮胶量配电球轮水轮压降针头焊接生产残留贯通增设堵塞

[发明专利]点胶阀-CN201910766725.4在审
发明人：王静;周自强 -专利权人：鸿富锦精密电子（成都）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种可回吸的点胶阀，其包括出胶头、胶量控制阀、回吸调整机构、气缸、活塞及推杆。回吸调整机构设有控制活塞回弹行程的螺旋调杆，胶量控制阀侧面有进胶口，胶量控制阀内带有阀门块，气缸缸体侧面有控制吸胶的第二气孔，回吸调整机构侧面有控制出胶的第一气孔。当进胶口注入胶水后，可由气压控制活塞位移并带动推杆打开阀门出胶；点胶完毕后，改变气压使活塞反向位移并吸胶，同时带动推杆使阀门关闭。实际操作中避免了点胶阀回位过程的拉丝现象，使胶水不会滴落在产品上，也防止胶水凝固后堵塞出胶针口。
点胶阀

[发明专利]胶水回吸装置及具有其的点胶装置-CN202010102745.4有效
发明人：郭智;刘鲁亭 -专利权人：青岛歌尔微电子研究院有限公司
申请日： 2020-02-19 - 公布日： 2021-12-28 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明涉及点胶技术领域，具体涉及一种胶水回吸装置及具有其的点胶装置。本发明主要解决现有点胶装置在清洗残胶时操作复杂的技术问题。为此目的，本发明提供了一种胶水回吸装置，胶水回吸装置包括：吸胶针头，吸胶针头设置于点胶装置的热控组件上，且吸胶针头指向热控组件的底部出胶针头；残胶存储装置，残胶存储装置与吸胶针头连通；真空发生器，真空发生器的吸气口依次与残胶存储装置和吸胶针头连通，吸胶针头吸收的残胶流至残胶存储装置内。本发明的胶水回吸装置能够与出胶针头同步进行，从而不需要通过操作台上的真空吸嘴吸收残胶，以此减少真空吸嘴清洁残胶所浪费的时间，同时也可减少真空吸嘴清洁残胶频率不合理导致产品出现不良现象。
胶水装置具有

[发明专利]一种光刻胶保湿系统及其保湿方法-CN201610974285.8有效
发明人：程虎 -专利权人：沈阳芯源微电子设备股份有限公司
申请日： 2016-11-07 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明属于半导体处理系统中对半导体工艺用液体处理领域，具体地说是一种光刻胶保湿系统及其保湿方法，供胶部到胶管进口端之间有两个阀，靠近供胶部的是通断回吸阀，靠近胶管出口的是回吸阀，这两个阀的动作由控制部控制；胶管的升降由升降部控制；溶剂盒外有两个液位传感器，监测溶剂盒内液位并控制供液阀通断使溶剂盒内液位处于设定位置；方法为供胶部停止供胶之后，通断回吸阀先动作，停止供胶并进行回吸，结束之后升降部降下，带动胶管出口下降至溶剂盒内溶剂液位以下，回吸阀再进行回吸动作，可在胶管出口处吸入溶剂，这段溶剂可隔离光刻胶与大气，达到保湿的效果。本发明可以自动进行胶嘴的保湿，保湿效果好，且有效节省光刻胶的使用量。
一种光刻保湿系统及其方法

[实用新型]带有回吸式点胶针的点胶装置-CN201620259500.1有效
发明人：赵娜娜;苏哲 -专利权人：昆山龙腾光电有限公司
申请日： 2016-03-30 - 公布日： 2016-08-17 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有回吸式点胶针的点胶装置，包括点胶筒本体、与所述点胶筒本体连接的弹簧帽以及与所述点胶筒本体连通的正压连接管和进胶管，还包括：回吸式点胶针、排胶管和排胶桶，所述回吸式点胶针分别与所述点胶筒本体和所述排胶管连接并相通；所述排胶管的一端与所述回吸式点胶针相连通，另一端与接厂负气压相连通；所述排胶桶连通在所述排胶管上；本实用新型解决了现有技术中回吸顶针式点胶阀的溢胶和空气泡难题，大大提高了点胶精度质量，且可以回收利用点胶针头内残留的胶水
带有回吸式点胶针装置

[实用新型]一种回吸式撞针阀-CN202120531663.1有效
发明人：罗志伟;杨鹏;陈炳庆;陈勇庆 -专利权人：厦门丛蔚科技有限公司
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： F16K1/32 文献下载
摘要：本实用新型提供一种回吸式撞针阀，包括阀体、撞针以及撞针驱动机构，阀体内依次形成有相连通的进胶口、进胶腔、回吸腔和出胶嘴，进胶腔和回吸腔之间还设有一密封块，密封块具有一连通进胶腔和回吸腔的流通过道，流通过道具有一定长度且等径设置；撞针密封穿设于阀体内并进入进胶腔，且撞针的头部通过一细柱连接有呈等径设置的密封柱，密封柱的直径与流通过道的内径相同，撞针驱动机构驱动连接撞针，并能够驱动撞针头部的密封柱在进胶腔、流通过道和回吸腔之间往复移动具有密封性好、无残胶流出的特点。
一种回吸式撞针

[实用新型]真空吸胶机-CN201420278108.2有效
发明人：周慎 -专利权人：上海名冠滤材有限公司
申请日： 2014-05-28 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： D06B15/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空吸胶机，包括吸胶口、吸胶管路、出胶口、回胶桶和风机，所述吸胶口与吸胶管路上表面连通，所述出胶口与吸胶管路下表面连通，所述回胶桶与出胶口连接，所述风机与吸胶口连接，采用本实用新型结构的真空吸胶机可以将经过浸胶处理的纤维网棉内多余的胶水吸出，从而使得最终的纤维网棉成品质量既柔软又蓬松，特别的在回胶桶内装有一气液分离器可以将流入其内的胶液和空气分离，对分离后的胶液重新再利用，更进一步改进可以在风机外接一个变频器，根据吸胶管路中的压力适时调整风机所需功率，达到更好的吸胶性能。
真空吸胶机

[发明专利]匀胶显影设备用胶泵-CN200610046529.2无效
发明人：程金胜;于海川;张军 -专利权人：沈阳芯源先进半导体技术有限公司
申请日： 2006-05-10 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明涉及应用于光刻工艺中的光刻胶涂敷装置，具体为一种轨道式匀胶显影设备用胶泵，包括在管路上依次设置的隔膜泵、通断阀、回吸阀，隔膜泵与胶瓶连通，回吸阀与出胶口连通。本发明用气控隔膜泵配合通断阀和回吸阀来完成整个的吸胶打胶工作，能够顺利的完成喷胶－关断－回吸功能，控制模块和胶泵模块能够可靠的相互连接、协调完成工作，在达到使用性能的前提下大大的降低了生产成本，实现了胶泵的国产化
显影备用

[实用新型]匀胶显影设备用胶泵-CN200620090739.7无效
发明人：程金胜;于海川;张军;侯宪华;孟祥军 -专利权人：沈阳芯源先进半导体技术有限公司
申请日： 2006-05-10 - 公布日： 2007-07-18 - 主分类号： F04B43/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及应用于光刻工艺中的光刻胶涂敷装置，具体为一种轨道式匀胶显影设备用胶泵，包括在管路上依次设置的隔膜泵、通断阀、回吸阀，隔膜泵与胶瓶连通，回吸阀与出胶口连通。本实用新型用气控隔膜泵配合通断阀和回吸阀来完成整个的吸胶打胶工作，能够顺利的完成喷胶－关断－回吸功能，控制模块和胶泵模块能够可靠的相互连接、协调完成工作，在达到使用性能的前提下大大的降低了生产成本，实现了胶泵的国产化本实用新型胶泵系统主要适用于半导体生产领域。
显影备用

[实用新型]机器人涂胶工装-CN202321348466.1有效
发明人：赵鹏 -专利权人：苏州桐润智能科技有限公司
申请日： 2023-05-30 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B05C9/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种机器人涂胶工装，涉及涂胶领域，包括用于带动工件转动的转盘机构，所述转盘机构的一侧设置有用于供胶的供胶机构，所述供胶机构的一侧通过管道连接有用于稳压的稳压机构。所述稳压机构的一侧设置有机器人和回吸阀，所述回吸阀与稳压机构通过管道连接，且所述回吸阀设置在机器人上。所述供胶机构、稳压机构和回吸阀均设置有两组，其中一个供胶机构、一个稳压机构和一个回吸阀通过管路构成一组胶流动的线路。本申请中机器人能够同时带动两个回吸阀移动和转动，从而使得本涂胶工装可以带动两个回吸阀进行涂胶，相比传统的使用两个涂胶设备涂两种胶本申请降低了设备成本，同时本申请中涂两种胶不会发生干涉、碰撞等情况。
机器人涂胶工装

[实用新型]一种新型胶路卸压控制装置-CN202220520597.2有效
发明人：粟练生;王龙庆;汪钊 -专利权人：深圳市世椿智能装备股份有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及胶路卸压技术领域，公开了一种新型胶路卸压控制装置，包括：供胶机构、螺杆阀、回吸阀以及旋转机构，所述供胶机构与所述螺杆阀通过供胶管道连接，所述回吸阀的一端连接有用于侧面点胶的侧面点胶头，所述旋转机构用于驱动所述侧面点胶头进行旋转通过回吸阀的一端连接有用于侧面点胶的侧面点胶头，旋转机构用于驱动侧面点胶头进行旋转，可进行360度侧面点胶，通过回吸阀控制侧面点胶头的出胶量，进而提供了一种新型胶路卸压控制装置，可对其胶路进行卸压控制。
一种新型胶路卸压控制装置

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