|
钻瓜专利网为您找到相关结果 9509423个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]镍铂合金靶材及其制备方法-CN201410286746.3有效
-
邵玲;王广欣;赵学义
-
昆山海普电子材料有限公司
-
2014-06-24
-
2014-09-03
-
C23C14/14
- 本发明涉及镍铂合金靶材的制备方法,包括依次进行的如下步骤:采用镍和铂作为原料,原料在坩埚中进行高温熔炼成镍铂合金锭;采用真空电子束将镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭;对高纯镍铂合金锭进行径向热锻和退火处理;对高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗和退火处理;对高纯镍铂合金锭进行热轧、冷轧和再结晶退火处理,形成镍铂合金靶坯;对镍铂合金靶坯进行机械加工,形成镍铂合金靶材。本发明通过高温熔炼、真空电子束熔炼、径向热锻和退火处理、纵向墩粗和退火处理、热轧冷轧和再结晶退火处理等步骤,获得了成分均匀、纯度高、晶粒细小、氧含量低的镍铂合金靶材。这样的靶材利于获得厚度均匀、颗粒少的高质量的薄膜。
- 合金及其制备方法
|